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      半導(dǎo)體裝置、模塊及電子設(shè)備的制作方法

      文檔序號:11142580閱讀:來源:國知局
      技術(shù)總結(jié)
      提供電特性良好的半導(dǎo)體裝置。該半導(dǎo)體裝置包括:第一絕緣體;第二絕緣體;第一氧化物半導(dǎo)體;第二氧化物半導(dǎo)體;第一導(dǎo)電體;以及第二導(dǎo)電體,其中,第一氧化物半導(dǎo)體位于第一絕緣體上,第二氧化物半導(dǎo)體位于第一氧化物半導(dǎo)體上,第一導(dǎo)電體包括與第二氧化物半導(dǎo)體的頂面接觸的區(qū)域,第二絕緣體包括與第二氧化物半導(dǎo)體的頂面接觸的區(qū)域,第二導(dǎo)電體隔著第二絕緣體位于第二氧化物半導(dǎo)體上,第二氧化物半導(dǎo)體包括第一層及第二層,第一層包括與第一氧化物半導(dǎo)體接觸的區(qū)域,第二層包括與第二絕緣體接觸的區(qū)域,并且,第一層的氧缺陷的比率低于第二層。

      技術(shù)研發(fā)人員:山崎舜平
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:株式會(huì)社半導(dǎo)體能源研究所
      文檔號碼:201580029026
      技術(shù)研發(fā)日:2015.05.20
      技術(shù)公布日:2017.02.15

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