1.一種執(zhí)行壓印處理的壓印設(shè)備，所述壓印處理通過使用模具使襯底上的壓印材料成型而在所述襯底上形成圖案，所述壓印設(shè)備包括：
測量單元，所述測量單元配置為測量所述模具和所述襯底的相對位置；
光源單元，所述光源單元配置為發(fā)射用于固化所述壓印材料的光；
掃描單元，所述掃描單元配置為在所述襯底上掃描來自所述光源單元的光；以及
控制單元，所述控制單元配置為控制所述壓印處理；
其中所述控制單元通過在基于所述測量單元的測量結(jié)果部分地使所述模具和所述襯底彼此對齊的同時使得所述掃描單元掃描光來執(zhí)行所述壓印處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，其中所述控制單元基于所述測量單元的測量結(jié)果順序地執(zhí)行模具的部分和對應(yīng)于模具的所述部分的襯底的部分之間的對齊，并且通過使得所述掃描單元掃描光來從已執(zhí)行對齊的部分開始執(zhí)行所述壓印處理。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓印設(shè)備，其中所述控制單元在使得所述掃描單元掃描光的同時基于所述測量單元的測量結(jié)果執(zhí)行還未執(zhí)行所述壓印處理的襯底上的部分和對應(yīng)于模具的所述部分的模具的部分之間的對齊。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，進一步包括變形單元，所述變形單元配置為使所述模具變形以使得所述模具在襯底側(cè)具有凸形狀，
其中所述控制單元控制所述模具的由所述變形單元引起的變形，使得所述模具和所述襯底上的壓印材料之間的接觸面從所述襯底的中心部起在徑向上擴展，并且通過根據(jù)所述接觸面的擴展使得所述掃描單元在所述接觸面上順序地掃描光來執(zhí)行所述壓印處理。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，進一步包括變形單元，所述變形單元配置為使所述模具變形，
其中所述控制單元控制所述模具的由所述變形單元引起的變形，使得所述模具和所述襯底上的壓印材料之間的接觸面相對于所述襯底的中心部從一側(cè)的外圍部分向另一側(cè)的外圍部分擴展，并且通過根據(jù)所述接觸面的擴展使得所述掃描單元在所述接觸面上順序地掃描光來執(zhí)行所述壓印處理。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，其中所述測量單元
包括顯微鏡，所述顯微鏡配置為檢測為所述模具設(shè)置的標記和為所述襯底設(shè)置的標記，以及
基于所述顯微鏡的檢測結(jié)果獲得所述相對位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓印設(shè)備，其中為所述模具和所述襯底中的每個設(shè)置由所述測量單元檢測的多個標記，以及
對于所述模具和所述襯底中的每個，所述測量單元根據(jù)所述掃描單元的光的掃描從所述多個標記中選擇充當檢測目標的標記。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，其中所述測量單元
包括配置為分別檢測所述模具的位置和所述襯底的位置的干涉儀，以及
基于所述干涉儀的檢測結(jié)果獲得所述相對位置。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，進一步包括觀察單元，所述觀察單元配置為觀察由來自所述光源單元的光的照射引起的所述襯底上的壓印材料的固化狀態(tài)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，其中所述光源單元包括在垂直于所述掃描單元的掃描方向的方向上排列的多個光源。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的壓印設(shè)備，其中所述多個光源中的每個由燈和配置為引導(dǎo)來自所述燈的光并且使得來自所述燈的光射出的光學(xué)構(gòu)件、或者由LED形成。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，其中所述掃描單元在所述測量單元和所述模具之間移動所述光源單元。
13.一種執(zhí)行壓印處理的壓印設(shè)備，所述壓印處理通過使用模具使襯底上的壓印材料成型而在所述襯底上形成圖案，所述壓印設(shè)備包括：
檢測單元，所述檢測單元配置為檢測為所述模具設(shè)置的標記和為所述襯底設(shè)置的標記；
光源單元，所述光源單元配置為發(fā)射用于固化所述壓印材料的光；以及
掃描單元，所述掃描單元配置為在所述檢測單元和所述模具之間移動所述光源單元。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的壓印設(shè)備，進一步包括控制單元，所述控制單元配置為通過在基于所述檢測單元的檢測結(jié)果部分地對齊所述模具和所述襯底的同時使得所述掃描單元移動所述光源單元來執(zhí)行所述壓印處理。
15.一種制造物品的方法，所述方法包括：
使用壓印設(shè)備在襯底上形成圖案；以及
處理其上已形成圖案的所述襯底；
其中所述壓印設(shè)備執(zhí)行壓印處理，所述壓印處理通過使用模具使所述襯底上的壓印材料成型來在所述襯底上形成所述圖案，并且所述壓印設(shè)備包括：
測量單元，所述測量單元配置為測量所述模具和所述襯底的相對位置；
光源單元，所述光源單元配置為發(fā)射用于固化所述壓印材料的光；
掃描單元，所述掃描單元配置為在所述襯底上掃描來自所述光源單元的光；以及
控制單元，所述控制單元配置為控制所述壓印處理；
其中所述控制單元通過在基于所述測量單元的測量結(jié)果部分地使所述模具和所述襯底彼此對齊的同時使得所述掃描單元掃描光來執(zhí)行所述壓印處理。
16.一種制造物品的方法，所述方法包括：
使用壓印設(shè)備在襯底上形成圖案；以及
處理其上已形成圖案的所述襯底；
其中所述壓印設(shè)備執(zhí)行壓印處理，所述壓印處理通過使用模具使所述襯底上的壓印材料成型來在所述襯底上形成所述圖案，并且所述壓印設(shè)備包括：
檢測單元，所述檢測單元配置為檢測為所述模具設(shè)置的標記和為所述襯底設(shè)置的標記；
光源單元，所述光源單元配置為發(fā)射用于固化所述壓印材料的光；以及
掃描單元，所述掃描單元配置為在所述檢測單元和所述模具之間移動所述光源單元。