技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供執(zhí)行壓印處理的壓印設(shè)備，所述壓印處理通過使用模具使襯底上的壓印材料成型而在襯底上形成圖案，所述設(shè)備包括配置為測量模具和襯底的相對位置的測量單元、配置為發(fā)射用于固化壓印材料的光的光源單元、配置為在襯底上掃描來自光源單元的光的掃描單元以及配置為控制壓印處理的控制單元，其中控制單元通過在基于測量單元的測量結(jié)果部分地使模具和襯底彼此對齊的同時使得掃描單元掃描光來執(zhí)行壓印處理。

技術(shù)研發(fā)人員：佐藤浩司
受保護的技術(shù)使用者：佳能株式會社
文檔號碼：201580030048
技術(shù)研發(fā)日：2015.05.15
技術(shù)公布日：2017.02.15