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      一種氮化物發(fā)光二極管及其制作方法與流程

      文檔序號:12614268閱讀:來源:國知局

      技術特征:

      1.一種氮化物發(fā)光二極管,依次包括襯底,N型氮化物,多量子阱以及P型氮化物,其特征在于:在所述P型氮化物和N型氮化物中插入應力控制層/反射層/電磁場發(fā)生層組成的復合結構。

      2.根據權利要求1所述的一種氮化物發(fā)光二極管,其特征在于:所述反射層用于防止電磁場發(fā)生層和應力控制層材料吸收多量子阱發(fā)出的光。

      3.根據權利要求1所述的一種氮化物發(fā)光二極管,其特征在于:所述電磁場發(fā)生層隨發(fā)光二極管的電流注入引起電磁感應產生磁場,該磁場的大小受電磁發(fā)生層的磁性材料和注入電流大小控制。

      4.根據權利要求1所述的一種氮化物發(fā)光二極管,其特征在于:所述P型和N型氮化物中插入應力控制層的位置一一對應,應力控制層材料為磁致彈性材料,受到磁場作用時,晶格常數會發(fā)生改變,從而對多量子阱產生張應力或壓應力。

      5.根據權利要求1所述的一種氮化物發(fā)光二極管,其特征在于:所述應力控制層的厚度為10~900nm。

      6.根據權利要求1所述的一種氮化物發(fā)光二極管,其特征在于:所述反射層的材料為Al或DBR或ODR或前述組合。

      7.根據權利要求1所述的一種氮化物發(fā)光二極管,其特征在于:所述的電磁場發(fā)生層為磁性材料,選用Ni或Co或Mn或FeCo或Fe3O4或Cr2O3或Fe2CrSi。

      8.根據權利要求7所述的一種氮化物發(fā)光二極管,其特征在于:所述磁性材料的大小為10~900nm。

      9.一種氮化物發(fā)光二極管的制作方法,包含以下步驟:

      (1)在襯底上依次外延生長緩沖層,N型氮化物,形成第一外延片;

      (2)將第一外延片取出反應室,在N型氮化物上蝕刻出第一溝道,然后依次沉積電磁場發(fā)生層,再沉積反射層和磁致彈性材料,形成第一模板;

      (3)將第一模板重新放入MOCVD反應室,進行二次外延生長N型氮化物、多量子阱、P型氮化物,形成第二外延片;

      (4)將第二外延片取出反應室,蝕刻出第二溝道,然后依次沉積應力控制層、反射層和電磁場發(fā)生層,該溝道與第一溝道的坐標一一對應,形成第二模板;

      (5)將第二模板重新放入MOCVD反應室,進行三次外延生長P型氮化物,形成最終的第三外延片。

      10.根據權利要求9所述的一種氮化物發(fā)光二極管的制作方法,其特征在于:所述第一溝道、第二溝道的深度為100~1000nm,長度為1~10μm,寬度為1~10μm 。

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