技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種薄片狀工件臨時(shí)鍵合的加工方法，其特征在于：它包括以下步驟：步驟1、選取一載板，在載板的正面設(shè)置一隔離膜；步驟2、在隔離膜上涂覆一層鍵合膠；步驟3、將待加工的工件貼附于鍵合膠上；步驟4、對(duì)帶有載板的工件進(jìn)行加工處理；步驟5、將加工后的工件倒置于承載件上；步驟6、彎曲載板，使載板的任意邊緣形成翹邊，通過(guò)撕扯翹邊至剝離載板；步驟7、彎曲隔離膜，使隔離膜的任意邊緣形成翹邊，通過(guò)撕扯翹邊至剝離隔離膜。本發(fā)明提供一種薄片狀工件臨時(shí)鍵合的加工方法，其無(wú)需專用的鍵合或解鍵合的設(shè)備，即可完成工件的加工，因此加工工序簡(jiǎn)單、生產(chǎn)效率高，由此使加工成本和設(shè)備投入成本小。

技術(shù)研發(fā)人員：唐昊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浙江中納晶微電子科技有限公司
文檔號(hào)碼：201610768468
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.30
技術(shù)公布日：2016.12.07