技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明屬于和光學(xué)領(lǐng)域和微納系統(tǒng)領(lǐng)域，具體為一種“三明治”型超快光電探測金屬超結(jié)構(gòu)的制作方法。該結(jié)構(gòu)包括表面生長一層二氧化硅的硅基片、在基片上轉(zhuǎn)移的一層石墨烯薄膜、在石墨烯薄膜上沉積的方形孔洞陣列結(jié)構(gòu)金屬Ag薄膜層、電介質(zhì)層、電介質(zhì)層兩端生長的金屬Au電極薄膜層，以及整個結(jié)構(gòu)的石墨烯覆蓋層。利用方形孔洞陣列結(jié)構(gòu)光學(xué)異常透射增強效應(yīng)局域表面等離激元輻射增強效應(yīng)耦合能夠有效增強石墨烯薄膜光吸光性能以及光生載流子的產(chǎn)生，同時，本發(fā)明制得的金屬超結(jié)構(gòu)中夾心層的貴金屬超材料結(jié)構(gòu)具有的納米級間隙能夠使得石墨烯產(chǎn)生的光生載流子在其壽命內(nèi)得到有效的收集，其光響應(yīng)時間可以達到納秒量級，從而實現(xiàn)了超快速的光電探測。

技術(shù)研發(fā)人員：閆樹斌;張志東;趙學(xué)峰;崔建功;薛晨陽;張文棟
受保護的技術(shù)使用者：中北大學(xué)
文檔號碼：201611092921
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.02
技術(shù)公布日：2017.02.15