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      一種多孔氧化物包裹電池硅負(fù)極材料的制備方法與流程

      文檔序號(hào):12480259閱讀:來源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種多孔氧化物包裹電池硅負(fù)極材料的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:

      S1、將硅負(fù)極材料放入溫度為60-75℃的烘箱中烘6-10h,再放入試劑瓶中封口備用;

      S2、將步驟S1得到的硅負(fù)極材料放入氣相原子層沉積腔體中,腔體溫度為120-150℃,以乙醇為脈沖前驅(qū)體,以高純氮?dú)鉃檩d氣,乙醇的脈沖時(shí)間為30-50s,再用高純氮?dú)獯档舳嘤嗟囊掖?,得到表面鈍化處理的硅負(fù)極材料;

      S3、將載有表面鈍化處理的硅負(fù)極材料的氣相原子層沉積腔體升溫至200-300℃,加入與氧化物對(duì)應(yīng)的第一前驅(qū)體、第二前驅(qū)體,分別設(shè)定與第一前驅(qū)體、第二前驅(qū)體對(duì)應(yīng)的加熱溫度,設(shè)定循環(huán)周期m,得到一個(gè)循環(huán)周期沉積的氧化物包裹硅負(fù)極材料,且第一前驅(qū)體的脈沖時(shí)間為50-100s、吹掃時(shí)間為90-110 s,第二前驅(qū)體的脈沖時(shí)間為30-60s、吹掃時(shí)間為90-110s;

      S4、按照設(shè)定循環(huán)周期,開始循環(huán)沉積,繼續(xù)完成m-1個(gè)循環(huán)周期,即可。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:步驟S3所述氧化物為三氧化二鎵、五氧化二鈮、五氧化二鉭中的一種。

      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備方法,其特征在于:所述三氧化二鎵對(duì)應(yīng)的第一前驅(qū)體為三甲基鎵、第二前驅(qū)體為氧氣。

      4.據(jù)權(quán)利要求3所述的制備方法,其特征在于:所述三甲基鎵和氧氣對(duì)應(yīng)的加熱溫度均為室溫。

      5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備方法,其特征在于:所述五氧化二鈮對(duì)應(yīng)的第一前驅(qū)體為五乙氧基鈮、第二前驅(qū)體為去離子水。

      6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法,其特征在于:所述五乙氧基鈮對(duì)應(yīng)的加熱溫度為130℃,所述去離子水對(duì)應(yīng)的加熱溫度為室溫。

      7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備方法,其特征在于:所述五氧化二鉭對(duì)應(yīng)的第一前驅(qū)體為五乙氧基鉭、第二前驅(qū)體為去離子水。

      8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制備方法,其特征在于:所述五乙氧基鉭對(duì)應(yīng)的加熱溫度為135℃,所述去離子水對(duì)應(yīng)的加熱溫度為室溫。

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