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      扇出型封裝結(jié)構(gòu)的制作方法與流程

      文檔序號:12129318閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種扇出型封裝結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,包括以下步驟:

      提供封裝基板,使用液態(tài)油墨在封裝基板上進行印刷,形成基板阻焊層;

      對基板阻焊層進行第一次曝光,曝光區(qū)域包括基板阻焊的設(shè)計位置區(qū)域和基板壩體的設(shè)計位置區(qū)域;

      使用液態(tài)油墨在基板阻焊層上進行印刷,形成壩體阻焊層;

      對壩體阻焊層進行第二次曝光,曝光區(qū)域包括基板壩體的設(shè)計位置區(qū)域;

      對封裝基板進行顯影處理和固化處理,得到基板阻焊和基板壩體;

      利用基板壩體貼裝芯片。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的扇出型封裝結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,基板層通過絲網(wǎng)印刷形成,壩體阻焊層通過輥涂印刷形成。

      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的扇出型封裝結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,所述絲網(wǎng)印刷采用的絲網(wǎng)目數(shù)為100-200,所述輥涂印刷采用的滾輪目數(shù)為250-650。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的扇出型封裝結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,使用液態(tài)油墨在封裝基板上進行印刷,形成基板阻焊層后,先對封裝基板進行第一次預(yù)烘,再對基板阻焊層進行第一次曝光。

      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的扇出型封裝結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,使用液態(tài)油墨在封裝基板上進行印刷,形成壩體阻焊層后,先對封裝基板進行第二次預(yù)烘,再對基板阻焊層進行第二次曝光。

      6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的扇出型封裝結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,所述固化處理包括依次進行的加熱固化和UV固化。

      7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項所述的扇出型封裝結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,所述第一次曝光采用UV曝光機進行曝光。

      8.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項所述的扇出型封裝結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,所述第二次曝光采用UV曝光機進行曝光。

      9.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項所述的扇出型封裝結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,第一次曝光的能量為200-300兆焦耳/平方厘米,第二次曝光的能量為200-300兆焦耳/平方厘米。

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