1.一種具有晶圓偵測功能的爐管設(shè)備，其特征在于，包括晶舟、機械手臂、支架和偵測傳感器；
所述晶舟內(nèi)設(shè)置有若干晶圓；
所述支架包括兩個支架臂和連接所述兩個支架臂的固定結(jié)構(gòu)；
所述機械手臂包括設(shè)置有抓手的第一端和相對于所述第一端的第二端，所述固定結(jié)構(gòu)可滑動地安裝于所述機械手臂臨近所述第二端的底部，所述兩個支架臂分別設(shè)置于所述機械手臂的兩側(cè)，且所述兩個支架臂伸展的方向與所述第二端的朝向相同；
所述偵測傳感器設(shè)置于所述兩個支架臂的端部，且當所述機械手臂空閑時，設(shè)置所述機械手臂的第二端朝向所述晶舟，以利用所述偵測傳感器對所述晶舟內(nèi)的晶圓進行偵測。
2.如權(quán)利要求1所述的具有晶圓偵測功能的爐管設(shè)備，其特征在于，所述偵測傳感器為光纖傳感器。
3.如權(quán)利要求1所述的具有晶圓偵測功能的爐管設(shè)備，其特征在于，所述兩個支架臂和所述固定結(jié)構(gòu)為一體式結(jié)構(gòu)。
4.如權(quán)利要求1所述的具有晶圓偵測功能的爐管設(shè)備，其特征在于，所述兩個支架臂均為7字形結(jié)構(gòu)，且所述偵測傳感器均設(shè)置于所述7字形結(jié)構(gòu)水平部分的端部。
5.如權(quán)利要求1所述的具有晶圓偵測功能的爐管設(shè)備，其特征在于，所述固定結(jié)構(gòu)包括一滑塊結(jié)構(gòu)，所述機械手臂的底部設(shè)置有一與所述滑塊結(jié)構(gòu)相適配的滑動平臺。
6.如權(quán)利要求5所述的具有晶圓偵測功能的爐管設(shè)備，其特征在于，當所述機械手臂對位于所述晶舟內(nèi)的晶圓進行偵測時，所述滑塊結(jié)構(gòu)滑至所述滑動平臺臨近所述第二端的盡頭處。
7.如權(quán)利要求5所述的具有晶圓偵測功能的爐管設(shè)備，其特征在于，當所述機械手臂對所述晶圓進行傳送時，設(shè)置所述機械手臂的第一端朝向所述晶舟，且所述滑塊結(jié)構(gòu)滑至所述滑動平臺臨近所述第一端的盡頭處。
8.如權(quán)利要求5所述的具有晶圓偵測功能的爐管設(shè)備，其特征在于，所述滑動平臺的兩端均設(shè)置有鎖緊裝置。
9.如權(quán)利要求1所述的具有晶圓偵測功能的爐管設(shè)備，其特征在于，所述偵測傳感器包括發(fā)送端和接收端，且所述發(fā)送端和所述接收端分別設(shè)置于所述兩個支架臂的端部。
10.如權(quán)利要求1所述的具有晶圓偵測功能的爐管設(shè)備，其特征在于，所述支架的材質(zhì)為金屬。