技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種具有晶圓偵測(cè)功能的爐管設(shè)備，通過(guò)設(shè)置爐管設(shè)備包括機(jī)械手臂、支架和光纖傳感器，且該支架可滑動(dòng)地安裝在機(jī)械手臂未設(shè)置抓手的一端上，該光纖傳感器設(shè)置于支架的端部，以在機(jī)械手臂空閑時(shí)利用該光纖傳感器對(duì)晶舟內(nèi)的晶圓進(jìn)行掃描，從而可以提前偵測(cè)晶圓的異常和脫片狀態(tài)，進(jìn)而避免因?yàn)榫A的異常和脫片造成與抓手的撞擊所導(dǎo)致的經(jīng)濟(jì)損失。

技術(shù)研發(fā)人員：趙慶;辛科;周詩(shī)鐸
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢新芯集成電路制造有限公司
文檔號(hào)碼：201611218685
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.26
技術(shù)公布日：2017.05.31