技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種濕法刻蝕工藝中去磷硅玻璃槽的配置方法，其特征在于去磷硅玻璃槽中加入去離子水與氫氟酸、鹽酸混合液，氫氟酸的摩爾濃度為15?20％，同時(shí)通入臭氧。本發(fā)明在去磷硅玻璃槽中加入一定比例的鹽酸，加大HF的濃度，同時(shí)通入一定流量的臭氧，既可起到傳統(tǒng)方法中去磷硅玻璃和殘留堿的作用，又可有效去除硅片表面金屬雜質(zhì)(臭氧對(duì)硅片進(jìn)行氧化生成SiO2，HF再去除SiO2)，這樣可有效提高電池片正面的氫鈍化和背面的鋁背場鈍化效果，從而提高電池片的轉(zhuǎn)換效率。

技術(shù)研發(fā)人員：吳俊清;徐強(qiáng);錢明明;樊華;蔣志強(qiáng);徐建
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東方環(huán)晟光伏（江蘇）有限公司
文檔號(hào)碼：201611235160
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.28
技術(shù)公布日：2017.05.10