技術(shù)總結(jié)
一種透射電鏡樣品桿真空存儲(chǔ)測(cè)試裝置屬于透射電子顯微鏡真空配件領(lǐng)域。在樣品桿存儲(chǔ)的同時(shí)，可對(duì)樣品桿進(jìn)行通電，加熱測(cè)試。該裝置包括可移動(dòng)機(jī)架，真空泵系統(tǒng)，真空測(cè)量與顯示系統(tǒng)，真空罩，閥門系統(tǒng)，樣品桿存儲(chǔ)組件及堵塞。該裝置可同時(shí)存儲(chǔ)多根的樣品桿，并預(yù)留增加窗口。該裝置可在5分鐘內(nèi)將腔體內(nèi)氣壓從空氣氣壓抽到4×10?4Pa，極限真空可達(dá)5×10?5Pa。該裝置可以有效避免樣品桿在外界放置時(shí)受到污染或侵蝕而污染電鏡，可大幅度縮短樣品桿在電鏡中的預(yù)抽時(shí)間，使電鏡更快達(dá)到穩(wěn)定的真空度，增加樣品桿的使用壽命。本裝置操作方便，真空度好，易于添加樣品桿存儲(chǔ)工位，適用于不同類型的透射電鏡樣品桿使用。

技術(shù)研發(fā)人員：韓曉東;翟亞迪;毛圣成
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京工業(yè)大學(xué)
文檔號(hào)碼：201621329397
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.06
技術(shù)公布日：2017.06.06