技術總結
本實用新型涉及一種基板移送裝置，提供一種基板移送裝置，其作為以使得結束化學機械研磨工藝的基板放置的狀態(tài)進行移送的裝置，包括：移動主體；基板放置架，其從移動主體向下方延長并以互相面對的形式折曲且設置有兩個以上的放置面，并且使得所述基板放置于所述放置面；流體供給部，其向所述基板供給液體，在為了清洗工藝而移送基板的期間，通過流體供給部持續(xù)性地供給液體來維持基板的濕潤狀態(tài)，從而即使在清洗工藝中發(fā)生錯誤也能防止基板受損。

技術研發(fā)人員：金大石
受保護的技術使用者：K.C.科技股份有限公司
文檔號碼：201621366061
技術研發(fā)日：2016.12.13
技術公布日：2017.10.03