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      一種硅片與硅片的加工模具的制作方法

      文檔序號:11686482閱讀:706來源:國知局
      一種硅片與硅片的加工模具的制造方法與工藝

      本實用新型涉及硅片及其加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種硅片與硅片的加工模具。



      背景技術(shù):

      硅片,是制作集成電路的重要材料,通過對硅片進行光刻、離子注入等手段,可以制成各種半導(dǎo)體器件。用硅片制成的芯片有著驚人的運算能力。科學(xué)技術(shù)的發(fā)展不斷推動著半導(dǎo)體的發(fā)展。自動化與計算機等技術(shù)發(fā)展,使硅片(集成電路)這種高技術(shù)產(chǎn)品的造價已降到十分低廉的程度。這使得硅片已廣泛應(yīng)用于航空航天、工業(yè)、農(nóng)業(yè)與國防,甚至悄悄進入每一個家庭。

      目前,現(xiàn)有的硅片大多數(shù)均呈圓環(huán)狀,雖然圓環(huán)狀的硅片在同等條件下可以擁有較高的體積用于安裝集成更多的晶體管,但是圓形硅片也存在著一些問題,那就是脆性高,容易破裂,而且在安裝過程中,容易與外物相互碰撞,導(dǎo)致硅片缺角或破裂,特別是對于一些強度較差的硅片來說,降低了使用壽命,硅片安裝于設(shè)備中,由于脆性較高,不能強行固定,容易松動,導(dǎo)致設(shè)備運行不正常。在現(xiàn)有的硅片加工設(shè)備中,硅片的生產(chǎn)需要經(jīng)過若干個程序,十分繁瑣,包括拉絲,分切,拋光等等一系列的工藝,對于現(xiàn)有的硅片需求來說,目前的生產(chǎn)工藝難以高效率的進行生產(chǎn)硅片。



      技術(shù)實現(xiàn)要素:

      針對以上問題,本實用新型提供了一種硅片與硅片的加工模具,硅片強度大,減弱脆性易碎的性能,提供特殊的固定位置,能牢固的安裝于設(shè)備中,而且還提供加工模具,簡單方便的高效率生產(chǎn)硅片,可以有效解決背景技術(shù)中的問題。

      為實現(xiàn)上述目的,本實用新型提供如下技術(shù)方案:一種硅片,包括硅體,所述硅體中間刻有凹槽,所述凹槽呈雙圓環(huán)狀,且在硅體與凹槽之間還設(shè)有安裝定位孔與第一電位片,所述安裝定位孔與第一電位片之間還通過韌性帶連接,且韌性帶設(shè)于硅體內(nèi)部,所述安裝定位孔呈正交排列,且對立的安裝定位孔之間通過加強條連接,在兩條加強條的連接處設(shè)有第二電位片。

      作為本實用新型一種優(yōu)選的技術(shù)方案,所述凹槽呈倒圓錐形且在倒圓錐形的底部呈弧形與硅體接觸。

      作為本實用新型一種優(yōu)選的技術(shù)方案,所述凹槽的雙圓環(huán)間距與硅體半徑比值為0.2。

      作為本實用新型一種優(yōu)選的技術(shù)方案,所述安裝定位孔與第一電位片的數(shù)量均為四個,且安裝定位孔與第一電位片等間距均勻交叉分布。

      作為本實用新型一種優(yōu)選的技術(shù)方案,所述韌性帶由C60制成,所述加強條由巴基管制成,且韌性帶與加強條的厚度范圍為0.1-0.4mm。

      另外,還提供了一種硅片的加工模具,包括內(nèi)模與外模,所述外模呈圓柱狀,所述內(nèi)模外形也為圓柱狀,且在內(nèi)部呈雙圓環(huán)狀,在內(nèi)模內(nèi)壁上設(shè)有定位孔槽模與電位片插槽,所述定位孔槽模與電位片插槽的數(shù)量與位置分別與安裝定位孔、第一電位片與第二電位片對應(yīng),所述內(nèi)模頂部還設(shè)有韌性帶槽與加強條槽,所述內(nèi)模與外模內(nèi)表面上均涂有納米涂層。

      作為本實用新型一種優(yōu)選的技術(shù)方案,所述納米涂層由納米Ni-La203制成。

      與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型的有益效果是:該硅片與硅片的加工模具,硅片上安裝的韌性帶與加強條,提高硅體的強度與韌性,在安裝過程中時,由于表面為圓形面,就算碰撞外物,也不會使硅片缺角或破裂現(xiàn)象發(fā)生,整體強度較強,保證了使用壽命,且在硅片本體上設(shè)置了凹槽,該圓形凹槽的底部呈弧形接觸,壓強較小,而且還通過安裝定位孔進行位置定位,防止滑動旋轉(zhuǎn)等情況的出現(xiàn),導(dǎo)致的硅體破碎,進一步保證了硅片的整體強度,保證了使用壽命,同時,硅片能牢固的安裝于設(shè)備中,并且方便安裝,保證了穩(wěn)定性及可靠性,保證了設(shè)備能正常的運行,模具能夠根據(jù)新型的硅片進行定量化的生產(chǎn)與加工,加設(shè)的納米涂層,可以提高產(chǎn)品表面的光滑度,可以不再需要進行拉絲,分切,拋光等等一系列的工藝,簡單方便的高效率生產(chǎn)硅片。

      附圖說明

      圖1為本實用新型硅片結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖2為本實用新型加工模具結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖3為本實用新型外模結(jié)構(gòu)示意圖。

      圖中:1-硅體;2-凹槽;3-安裝定位孔;4-第一電位片;5-韌性帶;6-加強條;7-第二電位片;8-內(nèi)模;9-外模;10-定位孔槽模;11-電位片插槽;12-韌性帶槽;13-加強條槽;14-納米涂層。

      具體實施方式

      下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。

      實施例:

      請參閱圖1-圖3,本實用新型提供一種技術(shù)方案:一種硅片與硅片的加工模具,包括硅體1,其特征在于:所述硅體1中間刻有凹槽2,所述凹槽2呈雙圓環(huán)狀,且在硅體1與凹槽2之間還設(shè)有安裝定位孔3與第一電位片4,所述安裝定位孔3與第一電位片4之間還通過韌性帶5連接,且韌性帶5設(shè)于硅體1內(nèi)部,所述安裝定位孔3呈正交排列,且對立的安裝定位孔3之間通過加強條6連接,在兩條加強條6的連接處設(shè)有第二電位片7。

      優(yōu)選的是,所述凹槽2呈倒圓錐形且在倒圓錐形的底部呈弧形與硅體1接觸;所述凹槽2的雙圓環(huán)間距與硅體1半徑比值為0.2;所述安裝定位孔3與第一電位片4的數(shù)量均為四個,且安裝定位孔3與第一電位片4等間距均勻交叉分布;所述韌性帶5由C60制成,所述加強條6由巴基管制成,且韌性帶5與加強條6的厚度范圍為0.1-0.4mm。

      另外,還提供了一種硅片的加工模具,包括內(nèi)模8與外模9,所述外模9呈圓柱狀,所述內(nèi)模8外形也為圓柱狀,且在內(nèi)部呈雙圓環(huán)狀,在內(nèi)模8內(nèi)壁上設(shè)有定位孔槽模10與電位片插槽11,所述定位孔槽模10與電位片插槽11的數(shù)量與位置分別與安裝定位孔3、第一電位片4與第二電位片7對應(yīng),所述內(nèi)模8頂部還設(shè)有韌性帶槽12與加強條槽13,所述內(nèi)模8與外模9內(nèi)表面上均涂有納米涂層14。

      優(yōu)選的是,所述納米涂層14由納米Ni-La203制成。

      本實用新型的優(yōu)點在于:該硅片與硅片的加工模具,硅片上安裝的韌性帶與加強條,提高硅體的強度與韌性,在安裝過程中時,由于表面為圓形面,就算碰撞外物,也不會使硅片缺角或破裂現(xiàn)象發(fā)生,整體強度較強,保證了使用壽命,且在硅片本體上設(shè)置了凹槽,該圓形凹槽的底部呈弧形接觸,壓強較小,而且還通過安裝定位孔進行位置定位,防止滑動旋轉(zhuǎn)等情況的出現(xiàn),導(dǎo)致的硅體破碎,進一步保證了硅片的整體強度,保證了使用壽命,同時,硅片能牢固的安裝于設(shè)備中,并且方便安裝,保證了穩(wěn)定性及可靠性,保證了設(shè)備能正常的運行,模具能夠根據(jù)新型的硅片進行定量化的生產(chǎn)與加工,加設(shè)的納米涂層,可以提高產(chǎn)品表面的光滑度,可以不再需要進行拉絲,分切,拋光等等一系列的工藝,簡單方便的高效率生產(chǎn)硅片。

      以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已,并不用以限制本實用新型,凡在本實用新型的精神與原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換與改進等,均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。

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