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      具有高抗短路能力的IGBT器件的制作方法

      文檔序號:12478717閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種具有高抗短路能力的IGBT器件,包括P阱(1)、第一柵極(2)、發(fā)射極(3)、第一絕緣氧化層(4)、P+區(qū)域(5)、金屬層(6)、FS層(7)、集電極(8)、第二柵極(9)、基區(qū)(10)與第二絕緣氧化層(11),其特征是:在集電極(8)上設(shè)有FS層(7),在FS層(7)上設(shè)有基區(qū)(10),在基區(qū)(10)上設(shè)有P阱(1),在P阱(1)上設(shè)有金屬層(6),在金屬層(6)內(nèi)設(shè)有左右兩個(gè)第一絕緣氧化層(4),在左右兩個(gè)第一絕緣氧化層(4)之間的金屬層(6)內(nèi)設(shè)有第二絕緣氧化層(11),在第一絕緣氧化層(4)的下端部連接有第一柵極(2),在第二絕緣氧化層(11)的下端部連接有第二柵極(9),第一柵極(2)與第二柵極(9)的下端部均位于基區(qū)(10)內(nèi),在第一柵極(2)的上端部的左右兩側(cè)以及在第二柵極(9)的上端部的左右兩側(cè)均設(shè)有發(fā)射極(3),位于第二柵極(9)與第一柵極(2)之間的兩個(gè)發(fā)射極(3)之間以及位于第一柵極(2)外側(cè)的發(fā)射極(3)上連接有P+區(qū)域(5)。

      2.如權(quán)利要求1所述的具有高抗短路能力的IGBT器件,其特征是:所述第二柵極(9)的寬度大于第一柵極(2)的寬度。

      3.如權(quán)利要求1所述的具有高抗短路能力的IGBT器件,其特征是:所述第二絕緣氧化層(11)的寬度大于第一絕緣氧化層(4)的寬度。

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