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      具有高抗短路能力的IGBT器件的制作方法

      文檔序號:12478717閱讀:來源:國知局
      技術(shù)總結(jié)
      本發(fā)明涉及一種具有高抗短路能力的IGBT器件,在集電極上設(shè)有FS層,在FS層上設(shè)有基區(qū),在基區(qū)上設(shè)有P阱,在P阱上設(shè)有金屬層,在金屬層內(nèi)設(shè)有左右兩個第一絕緣氧化層,在左右兩個第一絕緣氧化層之間的金屬層內(nèi)設(shè)有第二絕緣氧化層,在第一絕緣氧化層的下端部連接有第一柵極,在第二絕緣氧化層的下端部連接有第二柵極,第一柵極與第二柵極的下端部均位于基區(qū)內(nèi),在第一柵極的上端部的左右兩側(cè)以及在第二柵極的上端部的左右兩側(cè)均設(shè)有發(fā)射極,位于第二柵極與第一柵極之間的兩個發(fā)射極之間以及位于第一柵極外側(cè)的發(fā)射極上連接有P+區(qū)域。本發(fā)明進而降低器件發(fā)生短路時對空穴載流子的收集能力,從而實現(xiàn)降低短路電流的目的,可以在極小改變器件飽和壓降的前提下,明顯提高器件抗短路能力。

      技術(shù)研發(fā)人員:程煒濤;姚陽;王海軍;葉甜春
      受保護的技術(shù)使用者:江蘇中科君芯科技有限公司
      文檔號碼:201710007163
      技術(shù)研發(fā)日:2017.01.05
      技術(shù)公布日:2017.05.31

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