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      一種在同一襯底上實現(xiàn)藍綠光加紅光熒光粉的發(fā)光LED的制作方法

      文檔序號:11925816閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種在同一襯底上實現(xiàn)藍綠光加紅光熒光粉的發(fā)光LED,其特征在于,包括以下步驟:

      S1:將襯底粗化,在襯底上涂上一層大于10μm耐高溫的光刻膠;將事先做好的藍光鏤空光罩板放置在光刻膠上,通過曝光、顯影、光刻將曝光部分去除掉;

      S2:將光刻后的襯底放到藍光外延爐里磊晶生長,藍光磊晶完成后,再二次涂布一層光刻膠,將事先做好的綠色鏤空光罩板放置在光刻膠上,通過曝光、顯影、光刻將曝光部分去除掉;

      S3:將光刻后的襯底放到綠光外延爐里磊晶生長,最后通過蒸鍍、電極制作、測試工藝將藍綠LED作為一體進行裂片,得到統(tǒng)一襯底的藍綠光LED。

      2.如權(quán)利要求1所述的在同一襯底上實現(xiàn)藍綠光加紅光熒光粉的發(fā)光LED,其特征在于,將藍綠光晶片(2)通過固晶膠將其固定在LED支架(4)碗杯內(nèi),LED正極通過導(dǎo)線(1)與led支架(4)正極引線架連接,LED負極通過導(dǎo)線(1)與led支架(4)負極引線架連接,藍綠光晶片(2)之間通過導(dǎo)線(1)相連,將混合有紅色熒光粉的封裝膠(3)灌注在LED支架(4)碗杯內(nèi),經(jīng)50-150攝氏度2-4小時烘烤固化。

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