技術(shù)特征:
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種顯示出優(yōu)良的電特性的半導(dǎo)體器件和該半導(dǎo)體器件的制作方法。或者提供具有該半導(dǎo)體器件的顯示裝置和該顯示裝置的制作方法。本發(fā)明提供的半導(dǎo)體器件包括:第1晶體管,其位于襯底上,具有柵極電極、氧化物半導(dǎo)體膜和柵極電極與氧化物半導(dǎo)體膜之間的柵極絕緣膜;絕緣膜,其位于第1晶體管上,具有第1膜和第1膜上的第2膜;和端子,其通過(guò)絕緣膜內(nèi)的開(kāi)口部與氧化物半導(dǎo)體膜電連接。絕緣膜具有與端子接觸的第1區(qū)域,第1區(qū)域與絕緣膜的其它區(qū)域相比氧的組成大。
技術(shù)研發(fā)人員:大原宏樹(shù)
受保護(hù)的技術(shù)使用者:株式會(huì)社日本顯示器
技術(shù)研發(fā)日:2017.02.28
技術(shù)公布日:2017.10.10