1.一種顯示面板,其特征在于,所述顯示面板的基板包括正反兩面,在基板正面設(shè)置有薄膜晶體管,在基板反面直接制作的固態(tài)光源。
2.一種固態(tài)光源的制備方法,其特征在于,所述方法包括:
在基板表面沉積氮化鎵形成氮化鎵緩沖層;
在所述氮化鎵緩沖層上沉積合金,通過構(gòu)圖工藝制備固定線寬的電極,形成N型電極層;
在所述N型電極層上沉積N型氮化鎵形成N型氮化鎵層;
在所述N型氮化鎵層上沉積銦氮化鎵形成量子阱層;
對所述量子阱層的不同區(qū)域摻雜不同的雜質(zhì);
在所述量子阱層上沉積P型氮化鎵形成P型氮化鎵層;
將所述N型氮化鎵層、量子阱層、P型氮化鎵層通過構(gòu)圖工藝形成與N型電極同寬的基色芯片;
在所述P型氮化鎵層上沉積合金,通過構(gòu)圖工藝制備與N型電極同寬的電極,形成P型電極層;
使用填充介質(zhì)填充相鄰的兩個基色芯片之間的間隙并覆蓋P型電極層;
在填充介質(zhì)上沉積發(fā)光反射層。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于,所述對所述量子阱層的不同區(qū)域摻雜不同的雜質(zhì)包括:
對G基色芯片區(qū)域摻雜磷、砷中任一種雜質(zhì);
對B基色芯片區(qū)域摻雜硅、碳或鋁中任一種雜質(zhì)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,其特征在于,所述對G基色芯片區(qū)域摻雜磷、砷中任一種雜質(zhì)包括:
采用光刻膠遮蓋所述G基色芯片區(qū)域之外的銦氮化鎵;
對裸露的銦氮化鎵摻雜磷、砷中任一種雜質(zhì);
去除光刻膠。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于,R基色芯片區(qū)域為無摻雜的本征發(fā)光區(qū)域。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于,所述將所述N型氮化鎵層、量子阱層、P型氮化鎵層通過構(gòu)圖工藝形成與N型電極同寬的基色芯片包括:
采用干法刻蝕工藝刻蝕P型氮化鎵、銦氮化鎵、N型氮化鎵,其中刻蝕后的P型氮化鎵、銦氮化鎵、N型氮化鎵均與N型電極同寬。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于,所述通過構(gòu)圖工藝制備與N型電極同寬的電極,形成P型電極層包括:
采用濕法刻蝕工藝刻蝕合金形成P型電極,其中刻蝕后的P型電極與N型電極同寬。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于,在所述在基板表面沉積氮化鎵形成氮化鎵緩沖層之前,所述方法還包括:
翻轉(zhuǎn)基板,用于將所述固態(tài)光源制備在基板反面。
9.一種固態(tài)光源,其特征在于,包括:N型電極層、N型氮化鎵層、量子阱層、P型氮化鎵層、P型電極層;
其中,所述N型電極層、N型氮化鎵層、量子阱層、P型氮化鎵層、P型電極層從基板表面向上依次疊加,并具有相同的線寬;所述量子阱層的不同區(qū)域摻雜有不同的雜質(zhì)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述固態(tài)光源,其特征在于,還包括:氮化鎵緩沖層、發(fā)光反射層、填充介質(zhì);
所述氮化鎵緩沖層設(shè)置在基板與N型電極層之間,覆蓋整個基板表面;
所述填充介質(zhì)包括填充在相鄰的兩個基色芯片之間的部分和覆蓋在所述P型電極層上的部分;
所述發(fā)光反射層設(shè)置在所述填充介質(zhì)上,覆蓋整個基板。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的固態(tài)光源,其特征在于,所述填充介質(zhì)為酚醛樹脂;
所述發(fā)光反射層的材料為鈦鈀合金。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的固態(tài)光源,其特征在于,所述N型氮化鎵層的材料為摻雜硅的氮化鎵,所述P型氮化鎵層的材料為摻雜鎂的氮化鎵。
13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的固態(tài)光源,其特征在于,所述N型電極層和P型電極層的材料為鎳銀合金。
14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的固態(tài)光源,其特征在于,所述氮化鎵緩沖層、N型氮化鎵層、P型氮化鎵層的厚度均為
所述N型電極層和P型電極層的厚度均為
所述量子阱層的厚度為
所述發(fā)光反射層的厚度為
15.根據(jù)權(quán)利要求9所述的固態(tài)光源,其特征在于,所述N型電極層的線寬為3-10μm。
16.一種顯示面板,其特征在于,所述顯示面板的基板包括正反兩面,在基板正面設(shè)置有薄膜晶體管,在基板反面設(shè)置有按照權(quán)利要求2-8所述的方法制備的固態(tài)光源。