技術特征:
技術總結(jié)
本發(fā)明公開了一種陣列基板及其制作方法、液晶顯示面板,該陣列基板的制作方法包括:在基板上制作第一金屬層;采用第一張光罩對第一金屬層進行刻蝕工藝以形成柵極和公共電極;在第一金屬層上依次制作柵極絕緣層、有源層和第二金屬層;采用第二張光罩對第二金屬層和有源層進行刻蝕工藝以形成源極、漏極和像素電極。通過上述方式,本發(fā)明能夠在陣列基板的制作制程中只需要兩道光罩,提高了生產(chǎn)效率,降低了產(chǎn)品生產(chǎn)的成本。
技術研發(fā)人員:甘啟明
受保護的技術使用者:深圳市華星光電技術有限公司
技術研發(fā)日:2017.06.05
技術公布日:2017.10.10