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      基于CMOS工藝的單次可編程只讀存儲(chǔ)器的制作方法

      文檔序號(hào):11352270閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種基于CMOS工藝的單次可編程只讀存儲(chǔ)器,包括選擇管和存儲(chǔ)器件,所述的選擇管與存儲(chǔ)器件串聯(lián),所述選擇管的另一端作為只讀存儲(chǔ)器的正極連接端,所述存儲(chǔ)器件的另一端作為只讀存儲(chǔ)器的負(fù)極連接端,并在該端上設(shè)有判限電流源;其特征在于:

      所述的選擇管與存儲(chǔ)器件之間連接有壓差產(chǎn)生器件,所述壓差產(chǎn)生器件上的壓降作為存儲(chǔ)器件體端與源端的電壓差。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于CMOS工藝的單次可編程只讀存儲(chǔ)器,其特征在于:所述的壓差產(chǎn)生器件至少包括一個(gè)MOS管,所述的MOS管的柵極與漏極短接。

      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于CMOS工藝的單次可編程只讀存儲(chǔ)器,其特征在于:所述的壓差產(chǎn)生器件還包括一個(gè)可控電流源,所述可控電流源的兩端連接在所述MOS管的柵端和只讀存儲(chǔ)器的負(fù)極連接端。

      4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于CMOS工藝的單次可編程只讀存儲(chǔ)器,其特征在于:所述的壓差產(chǎn)生器件包括多個(gè)串聯(lián)的PMOS管或多個(gè)串聯(lián)的NMOS管。

      5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的基于CMOS工藝的單次可編程只讀存儲(chǔ)器,其特征在于:所述壓差產(chǎn)生器件上的壓降在0.6~1.2V之間。

      6.根據(jù)權(quán)利要求1-4任意一項(xiàng)所述的基于CMOS工藝的單次可編程只讀存儲(chǔ)器,其特征在于:所述的選擇管為第一PMOS管,所述的存儲(chǔ)器件為浮柵PMOS管,所述浮柵PMOS管的體端與所述只讀存儲(chǔ)器的正極連接端連接。

      7.一種基于CMOS工藝的單次可編程只讀存儲(chǔ)器,包括選擇管和存儲(chǔ)器件,所述的選擇管與存儲(chǔ)器件串聯(lián),所述選擇管的另一端作為只讀存儲(chǔ)器的正極連接端,所述存儲(chǔ)器件的另一端作為只讀存儲(chǔ)器的負(fù)極連接端,并在該端上設(shè)有判限電流源;其特征在于:

      所述的存儲(chǔ)器件的柵端與源端之間并聯(lián)有電容。

      8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基于CMOS工藝的單次可編程只讀存儲(chǔ)器,其特征在于:增大所述電容尺寸,在浮柵PMOS管的浮柵不存儲(chǔ)電荷的情況下,能進(jìn)一步降低其漏電。

      9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基于CMOS工藝的單次可編程只讀存儲(chǔ)器,其特征在于:所述的電容為PIP電容,所述的PIP電容由如下步驟制成:在P型襯底上形成場(chǎng)區(qū)氧化層,在所述場(chǎng)區(qū)氧化層上淀積第一多晶硅層,在所述第一多晶硅層上形成氧化隔離層,在所述的氧化隔離層上淀積第二多晶硅層。

      10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基于CMOS工藝的單次可編程只讀存儲(chǔ)器,其特征在于:所述的第一多晶硅層的長(zhǎng)度大于所述第二多晶硅層。

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