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      圖案的檢查方法、抗蝕劑圖案的制造方法、對象基板的分選方法及對象基板的制造方法與流程

      文檔序號:40281954發(fā)布日期:2024-12-11 13:22閱讀:來源:國知局

      技術特征:

      1.一種圖案的檢查方法,其為在對象基板上形成的抗蝕劑圖案及導體圖案中的任一者的圖案的檢查方法,所述對象基板為用于裝載半導體元件的半導體封裝基板及印刷線路板中的任一者,所述圖案的檢查方法包括:

      2.根據(jù)權利要求1所述的圖案的檢查方法,其中,

      3.根據(jù)權利要求1或2所述的圖案的檢查方法,其中,

      4.根據(jù)權利要求1或2所述的圖案的檢查方法,其中,

      5.根據(jù)權利要求1至4中任一項所述的圖案的檢查方法,其中,

      6.根據(jù)權利要求1至5中任一項所述的圖案的檢查方法,其中,

      7.根據(jù)權利要求1至6中任一項所述的圖案的檢查方法,其中,

      8.根據(jù)權利要求1至7中任一項所述的圖案的檢查方法,其中,

      9.根據(jù)權利要求1至8中任一項所述的圖案的檢查方法,其中,

      10.根據(jù)權利要求1至9中任一項所述的圖案的檢查方法,其中,

      11.根據(jù)權利要求1至10中任一項所述的圖案的檢查方法,其中,

      12.根據(jù)權利要求1至11中任一項所述的圖案的檢查方法,其中,

      13.根據(jù)權利要求1至11中任一項所述的圖案的檢查方法,其中,

      14.根據(jù)權利要求1至11中任一項所述的圖案的檢查方法,其中,

      15.一種抗蝕劑圖案的制造方法,其包括:

      16.根據(jù)權利要求15所述的抗蝕劑圖案的制造方法,其中,

      17.一種對象基板的分選方法,其為對象基板的分選方法,所述對象基板為用于裝載半導體元件的半導體封裝基板及印刷線路板中的任一者,所述對象基板的分選方法包括:

      18.根據(jù)權利要求17所述的對象基板的分選方法,其中,

      19.根據(jù)權利要求17或18所述的對象基板的分選方法,其中,

      20.根據(jù)權利要求17至19中任一項所述的對象基板的分選方法,其中,

      21.根據(jù)權利要求17至20中任一項所述的對象基板的分選方法,其中,

      22.根據(jù)權利要求17至21中任一項所述的對象基板的分選方法,其中,

      23.一種對象基板的制造方法,其包括:導體圖案形成工序,對權利要求17至22中任一項所述的對象基板的分選方法中的所述抗蝕劑圖案的所述評價滿足基準的、形成有所述抗蝕劑圖案的所述對象基板進行蝕刻處理或鍍敷處理而形成所述導體圖案。


      技術總結
      圖案的檢查方法包括:坐標測定工序,測定對象基板中的圖案的輪廓的坐標,所述對象基板為形成有作為抗蝕劑圖案及導體圖案中的任一者的圖案的用于裝載半導體元件的半導體封裝基板及印刷線路板中的任一者;及檢查工序,根據(jù)所述坐標來檢查所述圖案。對象基板的分選方法包括:坐標測定工序,測定對象基板中的圖案的輪廓的坐標,所述對象基板為形成有作為抗蝕劑圖案及導體圖案中的任一者的圖案的用于裝載半導體元件的半導體封裝基板及印刷線路板中的任一者;檢查工序,根據(jù)所測定的所述坐標來檢查所述圖案;及評價工序,根據(jù)所述檢查工序的檢查結果來評價所述圖案。

      技術研發(fā)人員:加藤哲也,吉原謙介,賀口陽介,戶田夏木,粂壯和,小野博史
      受保護的技術使用者:株式會社力森諾科
      技術研發(fā)日:
      技術公布日:2024/12/10
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