本發(fā)明涉及芯片加工,具體涉及一種芯片加工輔助檢測系統(tǒng)。
背景技術(shù):
1、中國專利cn117038494b公開了一種用于芯片加工產(chǎn)業(yè)的輔助智能檢測系統(tǒng),屬于智能檢測技術(shù)領(lǐng)域,包括引腳安裝缺陷檢測模塊等。通過對各引腳接觸部檢測框的兩個(gè)短邊中點(diǎn)連接形成的線段進(jìn)行斜率計(jì)算,進(jìn)而根據(jù)各線段斜率與平均斜率的差值識別出與其他引腳不平行的引腳,實(shí)現(xiàn)了對引腳平行度的準(zhǔn)確檢測,通過深度圖像中像素值對引腳的水平度進(jìn)行判斷,進(jìn)而準(zhǔn)確識別出不水平引腳,實(shí)現(xiàn)了對引腳水平度的準(zhǔn)確檢測,進(jìn)而獲取更準(zhǔn)確的引腳安裝質(zhì)量評分;并能夠準(zhǔn)確的獲取封裝殼體安裝缺陷數(shù)據(jù),進(jìn)而獲取更準(zhǔn)確的封裝殼體安裝質(zhì)量評分;最后根據(jù)引腳安裝質(zhì)量評分、封裝殼體安裝質(zhì)量評分,能夠準(zhǔn)確的對當(dāng)前芯片的安裝質(zhì)量進(jìn)行評分;
2、現(xiàn)有技術(shù)中,對芯片的檢測更多的落腳點(diǎn)位于芯片結(jié)構(gòu)等,來評估芯片質(zhì)量情況,但是現(xiàn)在不能簡單有效地對芯片加工的異常時(shí)間、質(zhì)量等情況進(jìn)行檢測,以及也不能對加工過程中配套輔助地維修能力進(jìn)行檢測,從而目前芯片加工的檢測系統(tǒng)存在片面等問題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本發(fā)明的目的在于提供一種芯片加工輔助檢測系統(tǒng),本發(fā)明所解決的技術(shù)問題為:現(xiàn)有技術(shù)中,對芯片的檢測更多的落腳點(diǎn)位于芯片結(jié)構(gòu)等,來評估芯片質(zhì)量情況,但是現(xiàn)在不能簡單有效地對芯片加工的異常時(shí)間、質(zhì)量等情況進(jìn)行檢測,以及也不能對加工過程中配套輔助地維修能力進(jìn)行檢測,從而目前芯片加工的檢測系統(tǒng)存在片面等問題。
2、本發(fā)明的目的可以通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
3、一種芯片加工輔助檢測系統(tǒng),包括:
4、性能抽檢模塊,對加工所生產(chǎn)得到的芯片進(jìn)行抽檢,判斷是否存在次品芯片;
5、檢測范圍確定模塊,當(dāng)接收次品芯片,確定次品芯片待檢測的范圍;
6、檢修能力評估模塊,基于得到芯片時(shí)間檢測范圍,獲取在芯片時(shí)間檢測范圍下,芯片加工設(shè)備對應(yīng)檢修的時(shí)間數(shù)據(jù),進(jìn)行分析得到檢修能力評估值,再與閾值進(jìn)行判斷,得到芯片生產(chǎn)維修能力信號;
7、其中,芯片生產(chǎn)維修能力信號包括芯片生產(chǎn)維修能力高信號或芯片生產(chǎn)維修能力低信號;
8、加工能效檢測模塊:獲取抽檢過程中,芯片加工的故障表現(xiàn)值,并與故障表現(xiàn)閾值進(jìn)行比較,得到芯片加工故障循環(huán)頻率信號。
9、作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案:性能抽檢模塊包括:
10、若測試得到的性能參數(shù)不處于標(biāo)準(zhǔn)工藝參數(shù)范圍時(shí),則將該抽檢的芯片,標(biāo)記次品芯片。
11、作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案:檢測范圍確定模塊:
12、當(dāng)在抽檢過程中產(chǎn)生次品芯片時(shí),獲取次品芯片所對應(yīng)的生產(chǎn)時(shí)間,標(biāo)記為分析時(shí)間t1,以該次品芯片為初始序列,分別沿初始序列的生產(chǎn)時(shí)間前后順序采集相應(yīng)生產(chǎn)時(shí)間節(jié)點(diǎn)的芯片進(jìn)行檢測,并獲取前后序列芯片的性能參數(shù),并與標(biāo)準(zhǔn)工藝參數(shù)范圍進(jìn)行比較,判斷是否為次品芯片;直至前后序列芯片為合格芯片,停止對芯片采集工作;
13、其中,獲取上述采集的合格芯片,以及合格芯片前一序列的次品芯片,分別標(biāo)記為初步采集終止合格芯片和初步采集終止次品芯片;
14、獲取初步采集終止合格芯片和初步采集終止次品芯片之間的生產(chǎn)時(shí)間,標(biāo)記為第一次待確定時(shí)段,獲取第一次待確定時(shí)段的時(shí)間中點(diǎn)的芯片進(jìn)行檢測,判斷是否為次品芯片;
15、按照上述待確定時(shí)段的方式,循環(huán)對芯片進(jìn)行檢測,判斷是否為次品芯片,直至確定第i次所得到的芯片為次品芯片,且下一生產(chǎn)時(shí)間的芯片為合格芯片;
16、獲取初始序列前后所確定第i次所得到的次品芯片的生產(chǎn)時(shí)間,標(biāo)記為芯片時(shí)間檢測范圍。
17、作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案:沿初始序列的生產(chǎn)時(shí)間向前順序采集的方式為:tn=t1+qn-1,n表示的是沿初始序列的生產(chǎn)時(shí)間向前順序采集的序列個(gè)數(shù),q為等比數(shù)列的公比,q為大于1的正整數(shù),q優(yōu)選為2、3,tn為沿初始序列的生產(chǎn)時(shí)間向前順序采集的第n個(gè)序列所對應(yīng)的生產(chǎn)時(shí)間;
18、沿初始序列的生產(chǎn)時(shí)間向后順序采集的方式為:tm=t1+qm-1,m表示的是沿初始序列的生產(chǎn)時(shí)間向后順序采集的序列個(gè)數(shù),tm為等比數(shù)列的公比,q為大于1的正整數(shù),q優(yōu)選為2、3,tm為沿初始序列的生產(chǎn)時(shí)間向后順序采集的第m個(gè)序列所對應(yīng)的生產(chǎn)時(shí)間。
19、作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案:檢修能力評估模塊包括:
20、將檢次開始時(shí)間差值、檢次結(jié)束時(shí)間差值,分別標(biāo)記為ctk、ctj,通過公式計(jì)算得到檢修能力評估值zpx;其中,a1、a2均為比例系數(shù);
21、將檢修能力評估值zpx與檢修能力評估閾值進(jìn)行比較;
22、若檢修能力評估值zpx大于等于檢修能力評估閾值時(shí),生成芯片生產(chǎn)維修能力高信號;
23、若檢修能力評估值zpx小于檢修能力評估閾值時(shí),生成芯片生產(chǎn)維修能力低信號。
24、作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案:當(dāng)?shù)玫叫酒瑫r(shí)間檢測范圍時(shí),將芯片時(shí)間檢測范圍的開始時(shí)間和結(jié)束時(shí)間,分別標(biāo)記為次品生成開始時(shí)間和次品生成結(jié)束時(shí)間;
25、再獲取在芯片時(shí)間檢測范圍下,芯片加工設(shè)備檢修開始的時(shí)間和檢修結(jié)束的時(shí)間,分別標(biāo)記為設(shè)備檢修開始時(shí)間和設(shè)備檢修結(jié)束時(shí)間;
26、將設(shè)備檢修開始時(shí)間與次品生成開始時(shí)間進(jìn)行差值計(jì)算,得到檢次開始時(shí)間差值。
27、作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案:將次品生成結(jié)束時(shí)間與設(shè)備檢修結(jié)束時(shí)間進(jìn)行差值計(jì)算,得到檢次結(jié)束時(shí)間差值。
28、作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案:加工能效檢測模塊包括:
29、獲取抽檢過程中,每個(gè)芯片時(shí)間檢測范圍和芯片時(shí)間檢測范圍所對應(yīng)的性能參數(shù),分析得到故障時(shí)間檢測值和故障參數(shù)檢測值,將故障時(shí)間檢測值和故障參數(shù)檢測值進(jìn)行相加求和,得到故障表現(xiàn)值,將故障表現(xiàn)值與故障表現(xiàn)閾值進(jìn)行比較,生成芯片加工故障循環(huán)頻率信號;
30、若故障表現(xiàn)值大于等于故障表現(xiàn)閾值時(shí),則生成芯片加工故障循環(huán)頻率低信號;
31、若故障表現(xiàn)值小于故障表現(xiàn)閾值時(shí),則生成芯片加工故障循環(huán)頻率高信號。
32、作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案:故障時(shí)間檢測值的分析過程為:
33、獲取相鄰兩個(gè)芯片時(shí)間檢測范圍之間的間隔,標(biāo)記為次品生成間隔時(shí)間,將抽檢過程中,所有的次品生成間隔時(shí)間進(jìn)行方差計(jì)算,得到故障時(shí)間檢測值。
34、作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案:故障參數(shù)檢測值的分析過程為:
35、獲取芯片時(shí)間檢測范圍內(nèi)所檢測得到的芯片性能參數(shù),并進(jìn)行均值計(jì)算得到芯片性能參數(shù)均值;
36、將抽檢過程中,所有的芯片性能參數(shù)均值進(jìn)行方差計(jì)算,得到故障參數(shù)檢測值。
37、本發(fā)明的有益效果:
38、(1)本發(fā)明對加工所生產(chǎn)得到的芯片進(jìn)行抽檢,判斷是否存在次品芯片;當(dāng)接收次品芯片,確定次品芯片待檢測的范圍;基于得到芯片時(shí)間檢測范圍,獲取在芯片時(shí)間檢測范圍下,芯片加工設(shè)備對應(yīng)檢修的時(shí)間數(shù)據(jù),進(jìn)行分析得到檢修能力評估值,再與閾值進(jìn)行判斷,得到芯片生產(chǎn)維修能力信號;本發(fā)明通過對芯片加工過程中所制備得到的芯片進(jìn)行抽檢,檢查在階段性制備的質(zhì)量情況,再通過等比數(shù)列的方式和每次時(shí)間折中的方式(如果折中過程中得到的時(shí)間中點(diǎn)存在空缺誤差,可以選擇最接近的芯片生產(chǎn)時(shí)間作為時(shí)間中點(diǎn)),可以快速地確定芯片次品的加工時(shí)間,以及快速地確定芯片次品所生產(chǎn)的質(zhì)量情況,可以有效地對芯片加工從時(shí)間和具體參數(shù)兩方面同時(shí)檢測芯片加工質(zhì)量情況;再基于芯片時(shí)間檢測范圍,對芯片在生產(chǎn)過程中,出現(xiàn)批量連續(xù)性次品時(shí),其檢修能力和恢復(fù)工作的及時(shí)性進(jìn)行檢測評估;所以本發(fā)明不僅實(shí)現(xiàn)對芯片加工過程中,從時(shí)間和具體參數(shù)兩方面同時(shí)檢測芯片加工質(zhì)量情況,還可以對芯片加工過程中,芯片加工設(shè)備的檢修能力和恢復(fù)工作的及時(shí)性進(jìn)行檢測評估;
39、(2)本發(fā)明獲取抽檢過程中,芯片加工的故障表現(xiàn)值,并與故障表現(xiàn)閾值進(jìn)行比較,得到芯片加工故障循環(huán)頻率信號;本發(fā)明基于上述檢測得到的次品芯片加工的時(shí)間和性能參數(shù)數(shù)據(jù),作進(jìn)一步數(shù)據(jù)分析檢測,判斷芯片加工時(shí)故障時(shí)間和故障因素的循環(huán)重復(fù)性,本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了對芯片加工時(shí)故障時(shí)間和故障因素的循環(huán)重復(fù)性進(jìn)行檢測。