轉(zhuǎn)頭342的外表面可以被構(gòu)造為隨著所述外表面接近于中心軸而向下傾斜。
[0040]支撐銷344可以是多個(gè)。支撐銷344可以布置在旋轉(zhuǎn)頭342的上表面的邊緣部并且彼此間隔開，并且可以朝著頂部突出于旋轉(zhuǎn)頭342 ο支撐銷344可以通過互相組合而布置為具有環(huán)形形狀。支撐銷344可以支撐基板W的后邊緣以使基板W與旋轉(zhuǎn)頭342的上表面被間隔開。
[0041]卡銷346可以是多個(gè)。與支撐銷344相比，卡銷346可以被布置得更遠(yuǎn)離旋轉(zhuǎn)頭的中心軸?？ㄤN346可以被構(gòu)造為朝著頂部突出于旋轉(zhuǎn)頭342?？ㄤN346可以支撐基板W的側(cè)部以使得當(dāng)基板支撐單元340旋轉(zhuǎn)時(shí)基板W不會(huì)在側(cè)向上從預(yù)定(或自身)位置離開。卡銷346可以被構(gòu)造為按照旋轉(zhuǎn)頭342的半徑方向在等待位置與支撐位置之間直線運(yùn)動(dòng)。所述等待位置可以是與支撐位置相比更遠(yuǎn)離旋轉(zhuǎn)頭342的中心的位置。當(dāng)基板W被裝載在基板支撐單元340上或從基板支撐單元340上卸載時(shí)，卡銷346可以位于等待位置。當(dāng)基板W正在被處理時(shí)，卡銷346可以位于支撐位置。在支撐位置處，卡銷346可以與基板W的側(cè)部接觸。
[0042]轉(zhuǎn)軸348可以接合至機(jī)體以使旋轉(zhuǎn)頭342旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)軸348可以置于旋轉(zhuǎn)頭342之下。轉(zhuǎn)軸348可以被構(gòu)造為其長度方向以第三方向?yàn)榉较颉＾D(zhuǎn)軸348可以固定接合至旋轉(zhuǎn)頭342的下表面。轉(zhuǎn)軸348可以被構(gòu)造為憑借驅(qū)動(dòng)構(gòu)件349而能夠旋轉(zhuǎn)。
[0043]升降單元360可以在上下方向上直線地移動(dòng)容器320。當(dāng)容器320上下移動(dòng)時(shí)，容器320相對(duì)于基板支撐單元340的相對(duì)高度可以是變化的。升降單元360可以包括托架362、移動(dòng)軸364和驅(qū)動(dòng)器366。托架362可以固定安裝在容器320的外壁，且憑借驅(qū)動(dòng)器366上下移動(dòng)的移動(dòng)軸364可以固定接合至托架362。當(dāng)基板W被放在基板支撐單元340上或從基板支撐單元340被提起時(shí)，容器320下降以使基板支撐單元340朝著容器320的上部突出。此外，容器320的高度可以調(diào)整，以使得根據(jù)供給至正在被處理的基板W的液體的種類而令所述液體流入預(yù)定的收集箱。選擇性地，升降單元360可以在向上的方向上移動(dòng)基板支撐單元340。
[0044]液體供給單元380可以將液體噴射到基板W上。液體供給單元380可以是多個(gè)。液體供給單元380可以供給不同種類的液體。液體供給單元380可以包括支撐軸386、臂382和液體噴嘴390。支撐軸386可以布置在容器320的一側(cè)。支撐軸386可以具有負(fù)載形狀，其長度方向沿著上下方向設(shè)置。憑借驅(qū)動(dòng)構(gòu)件，支撐軸386可以旋轉(zhuǎn)且能夠升降。不大可能的是，支撐軸386可以憑借驅(qū)動(dòng)構(gòu)件在水平方向上實(shí)施直線運(yùn)動(dòng)和升降運(yùn)動(dòng)。臂382可以支撐液體噴嘴390。臂382可以接合至支撐軸386，且液體噴嘴390可以固定接合至臂382的下側(cè)端部。液體噴嘴390可以通過支撐軸386的旋轉(zhuǎn)來實(shí)施擺動(dòng)移動(dòng)。當(dāng)支撐軸386旋轉(zhuǎn)時(shí)，液體噴嘴390可運(yùn)動(dòng)至加工位置和等待位置。在這里，所述加工位置可以是液體噴嘴390面對(duì)著基板支撐單元340的位置而所述等待位置可以是液體噴嘴390脫離所述加工位置的位置。根據(jù)實(shí)施例，液體可以是化學(xué)品、沖洗液和有機(jī)溶劑?；瘜W(xué)品可以包含亞硫酸(H2SO3)或磷酸(H3PO4)。沖洗液可以是去離子(DI)水。有機(jī)溶劑可以是異丙醇(IPA)溶液。
[0045]氣流供給單元390可以形成加工空間中的下流式氣流。所述下流式氣流可以防止在處理基板中產(chǎn)生的顆?；驘焿m的漂浮。氣流供給單元390可以包括框架394、氣流供給線路(未示出)、風(fēng)扇392和過濾器(未示出)?？蚣?94可以安裝在殼體310的上側(cè)部分?？蚣?94可以被構(gòu)造為具有方的環(huán)形狀。氣流供給線路可以連接至框架以使得外部空氣被供給至框架。風(fēng)扇392可以安裝于氣流供給線路且可以旋轉(zhuǎn)，以使得外部空氣流入框架。過濾器可以安裝于框架394，且空氣通過過濾器以使得空氣中含有的顆粒被過濾掉。通過過濾器的空氣可以被供給至加工空間。
[0046]門組件400可以關(guān)閉和打開形成在殼體310的側(cè)壁的開口 312。
[0047]圖5是圖4的門組件400的立體圖，且圖6是圖5的門組件400的水平方向的橫截面圖。參照?qǐng)D5和圖6，門組件400可以包括擋板410、驅(qū)動(dòng)構(gòu)件420、引導(dǎo)構(gòu)件430和間隙保持單元500。
[0048]擋板410可以打開和關(guān)閉開口 312。擋板410可以被構(gòu)造為具有矩形板形狀。擋板410可以被構(gòu)造為具有這樣的矩形形狀:當(dāng)從前方觀察時(shí)，擋板410的寬度和高度大于開口 312的寬度和高度。
[0049]驅(qū)動(dòng)構(gòu)件420可以在阻擋位置與打開位置之間傳送擋板410。驅(qū)動(dòng)構(gòu)件420可以上下移動(dòng)擋板410。驅(qū)動(dòng)構(gòu)件420可以被置于在加工空間中且與開口 312鄰近。驅(qū)動(dòng)構(gòu)件420可以被放置為當(dāng)從前方觀察開口 312時(shí)不與開口 312重疊。在這里，所述阻擋位置可以是擋板410面對(duì)著開口 312的位置，且所述打開位置可以是脫離阻擋位置的位置。例如，所述打開位置可以是開口 312的下方位置。擋板410的一端可以連接至驅(qū)動(dòng)構(gòu)件420。驅(qū)動(dòng)構(gòu)件420可以設(shè)置在用于通過加壓或減壓來移動(dòng)擋板410的氣缸處。
[0050]引導(dǎo)構(gòu)件430可以防止擋板410脫離自身的位置。引導(dǎo)構(gòu)件430可以包括本體432、434和436。本體432、434和436可以從殼體310的側(cè)壁朝著殼體310的向內(nèi)的方向延伸。本體432、434和436可以從殼體310的側(cè)壁延伸從而被布置于加工空間314中。本體432、434和436可以被設(shè)置為面向驅(qū)動(dòng)構(gòu)件420，并且在加工空間314中，擋板410位于本體432、434和436與驅(qū)動(dòng)構(gòu)件420之間。本體432、434和436可以被構(gòu)造為其長度方向沿著上下方向。本體432、434和436可以被構(gòu)造為圍繞著擋板410的另一端。
[0051]本體432、434和436可以包括第一板件432、第二板件434和連接部436。第一板件432可以布置為面對(duì)著第二板件434。第一板件432可以放置在擋板410與殼體310的側(cè)壁之間。第一板件432可以被構(gòu)造為其長度方向沿著上下方向。第一板件432的長度可以等于或長于連接擋板410的打開位置和阻擋位置的直線段的長度。第二板件434可以被布置為面對(duì)著第一板件432，擋板410位于第二板件434與第一板件432之間。第二板件434可以以擋板410為中心關(guān)于第一板件432對(duì)稱。第一板件432與第二板件434之間的距離可以大于擋板410的厚度。因此，擋板410可以布置為與第一板件432和第二板件434間隔開。連接部436可以連接第一板件432和第二板件434。連接部436可以從第一板件432和第二板件434垂直地延伸。因此，當(dāng)從上方觀察時(shí)，本體432、434和436可以形成(〕)形狀的方形托架，且擋板410的另一端可以構(gòu)造為被第一板件432、第二板件434和連接部436圍繞。
[0052]間隙保持單元500可以使擋板410與殼體310的一個(gè)側(cè)壁之間保持恒定間隙。間隙保持單元500可以利用磁性來調(diào)整恒定間隙。間隙保持單元500可以包括內(nèi)部磁性構(gòu)件510和外部磁性構(gòu)件530。內(nèi)部磁性構(gòu)件510和外部磁性構(gòu)件530可以構(gòu)成這樣的磁性構(gòu)件:排斥力在內(nèi)部磁性構(gòu)件510與外部磁性構(gòu)件530之間作用。
[0053]內(nèi)部磁性構(gòu)件510可以設(shè)置于擋板410。內(nèi)部磁性構(gòu)件510可以包括第一內(nèi)部磁性構(gòu)件511和第二內(nèi)部磁性構(gòu)件512。第一內(nèi)部磁性構(gòu)件511可以設(shè)置在擋板410的所述另一端，且第二內(nèi)部磁性構(gòu)件512可以設(shè)置在擋板410的所述一端。在這里，擋板410的設(shè)置有第一內(nèi)部磁性構(gòu)件511和第二內(nèi)部磁性構(gòu)件512的區(qū)域可以是不面對(duì)著開口 312的區(qū)域。
[0054]外部磁性構(gòu)件530可以包括第一外部磁性構(gòu)件531、第二