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      一種雙面顯示基板及其制備方法和顯示裝置的制造方法_3

      文檔序號(hào):9472886閱讀:來源:國知局
      能使雙面顯示基板正常透光顯示。柵電極層500采用雙層導(dǎo)電材料結(jié)構(gòu),即柵電極層500的底層采用透明導(dǎo)電材料,上層采用金屬導(dǎo)電材料,這能使柵電極層500的電阻率減小,導(dǎo)電率提高,從而使柵電極層500能正常傳輸用于顯示的電信號(hào)。另外,柵電極層500的上層采用金屬導(dǎo)電材料還能使該層的柔韌性加強(qiáng),從而使柵電極層500不易出現(xiàn)斷裂等不良,進(jìn)而提尚了雙面顯不基板的良率和顯不質(zhì)量。
      [0055]其中,透明導(dǎo)電材料可以為金屬氧化物透明導(dǎo)電材料,如氧化銦錫、氧化鋅等。金屬導(dǎo)電材料如銅、銀、鋁或各自的合金等。需要說明的是,柵電極層500的上層也可以采用透明導(dǎo)電材料。
      [0056]本實(shí)施例中,在像素區(qū)域以外的信號(hào)走線區(qū),信號(hào)走線7采用與柵電極層500相同的結(jié)構(gòu)。其中,信號(hào)走線7包括數(shù)據(jù)信號(hào)走線71、掃描信號(hào)走線72以及綁定連接走線,綁定連接走線的結(jié)構(gòu)與數(shù)據(jù)信號(hào)走線71或掃描信號(hào)走線72的結(jié)構(gòu)相同。信號(hào)走線7采用與柵電極層500相同的結(jié)構(gòu),由于金屬導(dǎo)電材料具有良好的延展性和較大的導(dǎo)電率,所以不僅能使信號(hào)走線7在過孔區(qū)不易出現(xiàn)斷裂等不良情況,從而確保了雙面顯示基板的良率和顯示質(zhì)量,而且能降低信號(hào)走線7的電阻率,提高信號(hào)走線7的導(dǎo)電率,從而使信號(hào)走線7的信號(hào)傳輸效果更好。
      [0057]另外需要說明的是,本實(shí)施例中也可以是對應(yīng)正面發(fā)光層I的第一公共電極層41與柵電極層500同層設(shè)置,具體結(jié)構(gòu)與圖2中雙面顯示基板的結(jié)構(gòu)相同,此處不再贅述。
      [0058]基于上述雙面顯示基板的結(jié)構(gòu),本實(shí)施例還提供一種該雙面顯示基板的制備方法,包括在襯底6上形成驅(qū)動(dòng)晶體管5、正面發(fā)光層1、反面發(fā)光層2、像素電極層3和公共電極層4,正面發(fā)光層I和反面發(fā)光層2分別形成于與其對應(yīng)的像素電極層3和公共電極層4之間,反面發(fā)光層2對應(yīng)的公共電極層4與驅(qū)動(dòng)晶體管5的柵電極層500采用一次構(gòu)圖工藝同時(shí)形成。
      [0059]上述雙面顯不基板的具體制備步驟為:
      [0060]步驟S1:在襯底6上依次制備有源區(qū)501和柵絕緣層502并沉積柵電極層膜,其中,柵電極層膜包括采用透明導(dǎo)電材料形成的底層膜5001和采用金屬導(dǎo)電材料形成的上層膜5002,如圖3所示。
      [0061]步驟S2:在完成步驟S I的襯底6上涂抹光刻膠,并采用半色調(diào)掩模板對光刻膠進(jìn)行曝光顯影工藝,在對應(yīng)形成柵電極層500的區(qū)域和對應(yīng)形成信號(hào)走線7的區(qū)域保留厚度較大的光刻膠層81,在對應(yīng)形成第二公共電極層42的區(qū)域保留厚度較小的光刻膠層82,將對應(yīng)柵電極層500、信號(hào)走線7和第二公共電極層42以外區(qū)域的光刻膠去除,如圖4所不O
      [0062]步驟S3:對完成步驟S2的襯底6進(jìn)行刻蝕處理,去除沒有光刻膠保護(hù)的區(qū)域的柵電極層膜,即將沒有光刻膠保護(hù)區(qū)域的底層膜5001和上層膜5002全部去除,如圖5所示。
      [0063]步驟S4:對完成步驟S3的襯底6上的光刻膠進(jìn)行灰化處理,去除對應(yīng)形成第二公共電極層42的區(qū)域的厚度較小的光刻膠82,部分去除對應(yīng)形成柵電極層500的區(qū)域和對應(yīng)形成信號(hào)走線7的區(qū)域的厚度較大的光刻膠81,即在對應(yīng)形成柵電極層500的區(qū)域和對應(yīng)形成信號(hào)走線7的區(qū)域光刻膠還保留有一定厚度,如圖6所示。
      [0064]步驟S5:對完成步驟S4的襯底6進(jìn)行刻蝕處理,去除沒有光刻膠保護(hù)的區(qū)域內(nèi)的柵電極層膜中的上層膜5002 (即金屬導(dǎo)電材料層),保留該區(qū)域內(nèi)的柵電極層膜中的底層膜5001 (即透明導(dǎo)電材料層),至此,第二公共電極層42的圖形形成,如圖7所示。
      [0065]步驟S6:去除完成步驟S5的襯底6上剩下的光刻膠,形成柵電極層500的圖形和信號(hào)走線7的局部圖形,如圖8所示。
      [0066]使襯底6上的第二公共電極層42僅保留柵電極層膜中的底層膜5002(即透明導(dǎo)電層),在其它區(qū)域,柵電極層膜為完整的兩層結(jié)構(gòu)。需要說明的是,在其它區(qū)域,也可以選擇性地去除柵電極層膜中的上層不透明的金屬導(dǎo)電材料,但由于這些區(qū)域的柵電極層膜不起顯示作用,大多僅為傳輸電信號(hào),因此,本實(shí)施例中優(yōu)選除第二公共電極層42之外的其他區(qū)域保留完整的柵電極層膜,以達(dá)到減小電阻率,避免出現(xiàn)信號(hào)失真的不良情況。
      [0067]步驟S7:在完成步驟S6的襯底6上沉積形成第一絕緣層503,通過光刻工藝去除第二公共電極層42上方對應(yīng)的第一絕緣層503,形成第一開口區(qū)域504 ;并去除驅(qū)動(dòng)晶體管5漏極上方對應(yīng)的第一絕緣層503和柵絕緣層502,形成第一過孔505 ;同時(shí)去除驅(qū)動(dòng)晶體管5源極上方對應(yīng)的第一絕緣層503和柵絕緣層502,形成第四過孔508 ;去除信號(hào)走線7上方對應(yīng)的第一絕緣層503,形成第五過孔509,如圖9-圖10所示。
      [0068]步驟S8:在完成步驟S7的襯底6上制備反面發(fā)光層2,反面發(fā)光層2與第二公共電極層42的位置相對應(yīng)且接觸連接,如圖11所示。
      [0069]步驟S9:在完成步驟S8的襯底6上制備形成像素電極層3和數(shù)據(jù)電極層9的結(jié)構(gòu),如圖12所示。
      [0070]其中,像素電極層3對應(yīng)形成在反面發(fā)光層2上方并與反面發(fā)光層2相接觸并連接;像素電極層3與數(shù)據(jù)電極層9可以采用相同的材料在一次構(gòu)圖工藝中制備形成,也可以分別制備;像素電極層3與數(shù)據(jù)電極層9之間也可以存在別的膜層結(jié)構(gòu),但只要保證像素電極層3要與反面發(fā)光層2相接觸并連接即可。數(shù)據(jù)電極層9通過第四過孔508與驅(qū)動(dòng)晶體管5的源極連接。另外,在對應(yīng)數(shù)據(jù)信號(hào)走線71的上方也形成有數(shù)據(jù)電極層9,數(shù)據(jù)電極層9通過第五過孔509與數(shù)據(jù)信號(hào)走線71連接,從而便于測試信號(hào)的引入。為簡化工藝制備難度,本發(fā)明技術(shù)方案優(yōu)選像素電極層3與數(shù)據(jù)電極層9采用相同材料同時(shí)制備。
      [0071]步驟SlO:在完成步驟S9的襯底6上形成第二絕緣層506,通過光刻工藝去除像素電極層3上方對應(yīng)的第二絕緣層506,形成第二開口區(qū)域507,并去除信號(hào)走線7上方對應(yīng)的第二絕緣層506,形成第六過孔600,如圖13-圖14所示。
      [0072]步驟Sll:在完成步驟SlO的襯底6上制備形成正面發(fā)光層1,正面發(fā)光層I與像素電極層3的位置相對應(yīng)并相接觸連接,如圖15所示。
      [0073]其中,正面發(fā)光層I與反面發(fā)光層2可以采用相同材料制備,也可以根據(jù)設(shè)計(jì)需要采用不同材料,制備工藝在此不限。
      [0074]步驟S12:在完成步驟Sll的襯底6上形成第一公共電極層41 ;第一公共電極層41在對應(yīng)數(shù)據(jù)信號(hào)走線71的位置通過第六過孔600與數(shù)據(jù)電極層9連接;第一公共電極層41在對應(yīng)掃描信號(hào)走線72的位置通過第五過孔509和第六過孔600與柵電極層500連接,如圖2所示。
      [0075]如此設(shè)置,能夠降低第一公共電極層41在過孔區(qū)出現(xiàn)斷裂等不良情況的出現(xiàn)。其中,第一公共電極層41采用透明導(dǎo)電材料制備;第一公共電極層41與第二公共電極層42可以采用相同或不同的材料制備;但為簡化工藝,節(jié)約生產(chǎn)成本,第一公共電極層41與第二公共電極層42采用相同材料,即都采用透明導(dǎo)電材料制備。
      [0076]至此,雙面顯示基板制備完畢。
      [0077]實(shí)施例2:
      [0078]本實(shí)施例提供一種雙面顯示基板,與實(shí)施例1不同的是,如圖16所示,子像素單元包括用于控制正面發(fā)光層I發(fā)光的第一驅(qū)動(dòng)晶體管51和用于控制反面發(fā)光層2發(fā)光的第二驅(qū)動(dòng)晶體管52,第一驅(qū)動(dòng)晶體管51和第二驅(qū)動(dòng)晶體管52共用同一柵電極層500 ;像素電極層3包括對應(yīng)正面發(fā)光層I的第一像素電極層31和對應(yīng)反面發(fā)光層2的第二像素電極層32,正面發(fā)光層I和反面發(fā)光層2共用同一公共電極層4,公共電極層4與柵電極層500同層設(shè)置。
      [0079]如此設(shè)置,能使第一驅(qū)動(dòng)晶體管51和第二驅(qū)動(dòng)晶體管52分別對正面發(fā)光層I和反面發(fā)光層2的發(fā)光進(jìn)行控制,從而實(shí)現(xiàn)該雙面顯示基板正面和反面能分別顯示不同內(nèi)容,也可以實(shí)現(xiàn)該雙面顯示基板正面和反面能同時(shí)顯示相同內(nèi)容,進(jìn)而使該雙面顯示基板的顯示更加靈活。
      [0080]本實(shí)施例中,在雙面顯示基板的的垂直于其顯示面的縱切面上,第一驅(qū)動(dòng)晶體管5和第二驅(qū)動(dòng)晶體管52的位置相對應(yīng),正面發(fā)光層1、反面發(fā)光層2、第一像素電極層31、第二像素電極層32和公共電極層4的位置相對應(yīng)。正面發(fā)光層I和第一像素電極層31依次設(shè)置在公共電極層4的遠(yuǎn)離反面發(fā)光層2的一側(cè),反面發(fā)光層2和第二像素電極層32依次設(shè)置在公共電極層4的遠(yuǎn)離正面發(fā)光層I的一側(cè)
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