于光罩上的不同位置或掃描點(diǎn)的不同強(qiáng)度值的圖像的形式?？稍趻呙韫庹值娜课恢煤螽a(chǎn)生光罩圖像且將其轉(zhuǎn)換成經(jīng)檢測(cè)信號(hào)，或可在掃描每一光罩部分時(shí)產(chǎn)生光罩圖像的部分(其中在掃描整個(gè)光罩后最終光罩圖像是完整的)。
[0072]入射光或經(jīng)檢測(cè)光可穿過(guò)任何合適空間孔徑以按任何合適入射角產(chǎn)生任何入射或經(jīng)檢測(cè)光輪廓。例如，可利用可編程照明或檢測(cè)孔徑產(chǎn)生特定射束輪廓(例如，偶極、四極、類星體、圓環(huán)等等)。在特定實(shí)例中，可實(shí)施源掩模優(yōu)化(SMO)或任何像素化照明技術(shù)。
[0073]可將一或多個(gè)光罩部分或“片塊”的每一集合的經(jīng)檢測(cè)信號(hào)的數(shù)據(jù)發(fā)送到平行片塊處理器。例如，可將第一片塊的強(qiáng)度值發(fā)送到第一處理器，且將第二片塊的強(qiáng)度值發(fā)送到第二處理器。或者，可將預(yù)定義數(shù)目個(gè)片塊的數(shù)據(jù)發(fā)送到個(gè)別片塊處理器。
[0074]可以硬件和/或軟件的任何合適組合實(shí)施本發(fā)明的技術(shù)。圖5為其中可實(shí)施本發(fā)明的技術(shù)的實(shí)例檢驗(yàn)系統(tǒng)500的圖解表示。檢驗(yàn)系統(tǒng)500可從檢驗(yàn)工具或掃描儀(未展示)接收輸入502。所述檢驗(yàn)系統(tǒng)還可包含用于分配經(jīng)接收的輸入502的數(shù)據(jù)分配系統(tǒng)(例如，504a和504b)、用于處理經(jīng)接收的輸入502的特定部分/片塊的強(qiáng)度信號(hào)(或片塊)處理系統(tǒng)(例如，片塊處理器和存儲(chǔ)器506a和506b)、用于產(chǎn)生基線事件的基線產(chǎn)生器系統(tǒng)(例如，基線產(chǎn)生器處理器和存儲(chǔ)器512)、用于允許在檢驗(yàn)系統(tǒng)組件之間通信的網(wǎng)絡(luò)(例如，交換網(wǎng)絡(luò)508)、任選大容量存儲(chǔ)裝置516和用于重檢候選缺陷的一或多個(gè)檢驗(yàn)控制和/或重檢站(例如，510)。檢驗(yàn)系統(tǒng)500的每一處理器通?？砂换蚨鄠€(gè)微處理器集成電路且還可含有接口和/或存儲(chǔ)器集成電路且可額外地耦合到一或多個(gè)共享和/或全局存儲(chǔ)器裝置。
[0075]用于產(chǎn)生輸入數(shù)據(jù)502的掃描儀或數(shù)據(jù)獲取系統(tǒng)(未展示)可采取用于獲得光罩(或其它樣本)的強(qiáng)度信號(hào)或圖像的任何合適儀器(例如，如本文中進(jìn)一步所描述)的形式。例如，掃描儀可基于經(jīng)反射、透射或以其它方式經(jīng)引導(dǎo)到一或多個(gè)光傳感器的經(jīng)檢測(cè)光的一部分來(lái)構(gòu)造光罩的一部分的光學(xué)圖像或產(chǎn)生所述部分的強(qiáng)度值。接著，掃描儀可輸出所述強(qiáng)度值或圖像可從所述掃描儀輸出。
[0076]可通過(guò)數(shù)據(jù)分配系統(tǒng)經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)508接收強(qiáng)度或圖像數(shù)據(jù)502。數(shù)據(jù)分配系統(tǒng)可與用于保持經(jīng)接收數(shù)據(jù)502的至少一部分的一或多個(gè)存儲(chǔ)器裝置(例如RAM緩沖器)相關(guān)聯(lián)。優(yōu)選地，總存儲(chǔ)器足夠大以保持?jǐn)?shù)據(jù)的至少一整個(gè)幅帶。例如，存儲(chǔ)器的千兆字節(jié)對(duì)于I百萬(wàn)乘1000個(gè)像素或點(diǎn)的光罩的片塊幅帶運(yùn)作良好。
[0077]數(shù)據(jù)分配系統(tǒng)(例如，504a和504b)也可控制經(jīng)接收的輸入數(shù)據(jù)502的部分到處理器(例如，506a和506b)的分配。例如，數(shù)據(jù)分配系統(tǒng)可將用于第一片塊的數(shù)據(jù)路由到第一片塊處理器506a，且可將用于第二片塊的數(shù)據(jù)路由到片塊處理器506b。還可將用于多個(gè)片塊的多個(gè)數(shù)據(jù)集合路由到每一片塊處理器。
[0078]片塊處理器可接收對(duì)應(yīng)于光罩的至少一個(gè)部分或片塊的強(qiáng)度值或圖像。片塊處理器還可各自耦合到提供局部存儲(chǔ)器功能(例如保持經(jīng)接收的數(shù)據(jù)部分)的一或多個(gè)存儲(chǔ)器裝置(未展示)(例如DRAM裝置)或與所述一或多個(gè)存儲(chǔ)器裝置集成。優(yōu)選地，存儲(chǔ)器足夠大以保持對(duì)應(yīng)于光罩的片塊的數(shù)據(jù)。例如，存儲(chǔ)器的八個(gè)兆字節(jié)對(duì)于對(duì)應(yīng)于512乘1024個(gè)像素的片塊的強(qiáng)度值或圖像運(yùn)作良好?；蛘撸瑝K處理器可共享存儲(chǔ)器。
[0079]每一輸入數(shù)據(jù)502集合可對(duì)應(yīng)于光罩的幅帶。一或多個(gè)數(shù)據(jù)集合可存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)分配系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中?？赏ㄟ^(guò)數(shù)據(jù)分配系統(tǒng)內(nèi)的一或多個(gè)處理器控制此存儲(chǔ)器，且可將所述存儲(chǔ)器分成多個(gè)分區(qū)。例如，數(shù)據(jù)分配系統(tǒng)可接收對(duì)應(yīng)于幅帶的一部分的數(shù)據(jù)到第一存儲(chǔ)器分區(qū)(未展示)中，且所述數(shù)據(jù)分配系統(tǒng)可接收對(duì)應(yīng)于另一幅帶的另一數(shù)據(jù)到第二存儲(chǔ)器分區(qū)(未展示)中。優(yōu)選地，數(shù)據(jù)分配系統(tǒng)的每一存儲(chǔ)器分區(qū)僅保持將路由到與此存儲(chǔ)器分區(qū)相關(guān)聯(lián)的處理器的數(shù)據(jù)的部分。例如，數(shù)據(jù)分配系統(tǒng)的第一存儲(chǔ)器分區(qū)可保持第一數(shù)據(jù)且將其路由到片塊處理器506a，且第二存儲(chǔ)器分區(qū)可保持第二數(shù)據(jù)且將其路由到片塊處理器506b。
[0080]數(shù)據(jù)分配系統(tǒng)可基于數(shù)據(jù)的任何合適參數(shù)來(lái)定義和分配所述數(shù)據(jù)的每一數(shù)據(jù)集合。例如，可基于光罩上的片塊的對(duì)應(yīng)位置來(lái)定義和分配數(shù)據(jù)。在一個(gè)實(shí)施例中，每一幅帶與對(duì)應(yīng)于所述幅帶內(nèi)的像素的水平位置的列位置的范圍相關(guān)聯(lián)。例如，幅帶的列O到256可對(duì)應(yīng)于第一片塊，且這些列內(nèi)的像素將包括經(jīng)路由到一或多個(gè)片塊處理器的第一圖像或強(qiáng)度值集合。同樣地，幅帶的列257到512可對(duì)應(yīng)于第二片塊，且這些列內(nèi)的像素將包括經(jīng)路由至IJ(若干)不同片塊處理器的第二圖像或強(qiáng)度值集合。
[0081]圖6A為根據(jù)某些實(shí)施例的可用于將掩模圖案從光掩模M轉(zhuǎn)印到晶片W上的典型光刻系統(tǒng)600的簡(jiǎn)化示意圖。此類系統(tǒng)的實(shí)例包含掃描儀和步進(jìn)器，更具體來(lái)說(shuō)為可從荷蘭費(fèi)爾德霍芬(Veldhoven)的ASML購(gòu)得的PAS 5500。一般來(lái)說(shuō)，照明源603引導(dǎo)光束穿過(guò)照明光學(xué)器件607 (例如，透鏡605)到定位在掩模平面602中的光掩模M上。照明透鏡605具有在平面602處的數(shù)值孔徑601。數(shù)值孔徑601的值影響所述光掩模上的哪些缺陷為光刻顯著缺陷且哪些缺陷并非為光刻顯著缺陷。穿過(guò)光掩模M的射束的部分形成經(jīng)引導(dǎo)穿過(guò)成像光學(xué)器件613且到晶片M上的圖案化光學(xué)信號(hào)以起始圖案轉(zhuǎn)印。
[0082]圖6B提供根據(jù)某些實(shí)施例的具有照明光學(xué)器件651a的實(shí)例檢驗(yàn)系統(tǒng)650的示意圖，照明光學(xué)器件651a包含具有在光罩平面652處的相對(duì)較大數(shù)值孔徑651b的成像透鏡。經(jīng)描繪的檢驗(yàn)系統(tǒng)650包含檢測(cè)光學(xué)器件653a和653b，檢測(cè)光學(xué)器件653a和653b包含經(jīng)設(shè)計(jì)以提供(例如)60-200X放大倍率或更高以用于提高檢驗(yàn)的顯微放大光學(xué)器件。例如，在檢驗(yàn)系統(tǒng)的光罩平面652處的數(shù)值孔徑651b可明顯大于光刻系統(tǒng)600的光罩平面602處的數(shù)值孔徑601，這將引起測(cè)試檢驗(yàn)圖像與實(shí)際印刷圖像之間的差異。
[0083]可在各種經(jīng)特殊配置的檢驗(yàn)系統(tǒng)(例如圖6B中示意性說(shuō)明的檢驗(yàn)系統(tǒng))上實(shí)施本文中所描述的檢驗(yàn)技術(shù)。所說(shuō)明的系統(tǒng)650包含產(chǎn)生光束的照明源660，所述光束經(jīng)引導(dǎo)穿過(guò)照明光學(xué)器件651a到光罩平面652中的光掩模M上。如上文所解釋，檢驗(yàn)系統(tǒng)650可具有在光罩平面652處的數(shù)值孔徑651b，數(shù)值孔徑651b可大于對(duì)應(yīng)光刻系統(tǒng)的光罩平面數(shù)值孔徑(例如，圖6A的元件601)。將待檢驗(yàn)的光掩模M放置在光罩平面652處的掩模載物臺(tái)上且使其暴露于光源。
[0084]來(lái)自掩模M的圖案化圖像經(jīng)引導(dǎo)穿過(guò)光學(xué)元件653a集合，光學(xué)元件653a將所述圖案化圖像投射到傳感器654a上。在反射系統(tǒng)中，光學(xué)元件(例如，分束器676和檢測(cè)透鏡678)將反射光引導(dǎo)且捕獲到傳感器654b上。合適傳感器包含電荷耦合裝置(CCD)、CCD陣列、時(shí)間延遲積分(TDI)傳感器、TDI傳感器陣列、光電倍增管(PMT)和其它傳感器。
[0085]可通過(guò)任何合適機(jī)構(gòu)使照明光學(xué)器件列相對(duì)于掩模載物臺(tái)移動(dòng)和/或使所述載物臺(tái)相對(duì)于檢測(cè)器或相機(jī)移動(dòng)以便掃描光罩的片塊。例如，可利用電機(jī)機(jī)構(gòu)來(lái)移動(dòng)所述載物臺(tái)。所述電機(jī)機(jī)構(gòu)可由(例如)螺旋驅(qū)動(dòng)或步進(jìn)電機(jī)、具有反饋位置的線性驅(qū)動(dòng)器或帶致動(dòng)器和步進(jìn)電機(jī)形成。
[0086]可通過(guò)計(jì)算機(jī)系統(tǒng)673或更一般來(lái)說(shuō)通過(guò)一或多個(gè)信號(hào)處理裝置(其可各自包含經(jīng)配置以將來(lái)自每一傳感器的模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)以用于處理的模/數(shù)轉(zhuǎn)換器)來(lái)處理通過(guò)每一傳感器(例如，654a和/或654b)捕獲的信號(hào)。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)673通常具有經(jīng)由適當(dāng)總線或其它通信機(jī)構(gòu)耦合到輸入/輸出端口和一或多個(gè)存儲(chǔ)器的一或多個(gè)處理器。
[0087]計(jì)算機(jī)系統(tǒng)673還可包含用于提供用戶輸入(例如改變焦點(diǎn)和其它檢驗(yàn)配方參數(shù))的一或多個(gè)輸入裝置(例如，鍵盤(pán)、鼠標(biāo)、操縱桿)。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)673還可連接到用于控制(例如)樣本位置(例如，聚焦和掃描)的載物臺(tái)且連接到其它檢驗(yàn)系統(tǒng)組件(所述組件用于控制其它檢驗(yàn)參數(shù)和此類檢驗(yàn)系統(tǒng)組件的配置)。
[0088]計(jì)算機(jī)系統(tǒng)673可經(jīng)配置(例如，通過(guò)編程指令)以提供用于顯示所得強(qiáng)度值、圖像和其它檢驗(yàn)結(jié)果的用戶界面(例如，計(jì)算機(jī)屏幕)。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)673可經(jīng)配置以分析經(jīng)反射和/或透射的經(jīng)感測(cè)的光束的強(qiáng)度、相位和/或其它特性。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)673可經(jīng)配置(例如，使用編程指令)以提供用于顯示所得強(qiáng)度值、圖像和其它檢驗(yàn)特性的用戶界面(例如，在計(jì)算機(jī)屏幕上)。在某些實(shí)施例中，計(jì)算機(jī)系統(tǒng)673經(jīng)配置以實(shí)行上文所詳述的檢驗(yàn)技術(shù)。
[0089]因?yàn)榭稍诮?jīng)特殊配置的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)上實(shí)施此類信息和程序指令，所以此系統(tǒng)包含用于執(zhí)行可存儲(chǔ)于非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀媒體上的本文中所描述的各種操作的程序指令/計(jì)算機(jī)代碼。機(jī)器可讀媒體的實(shí)例包含(但不限于):磁性媒體，例如硬盤(pán)、軟盤(pán)和磁帶;光學(xué)媒體，例如CD-ROM磁盤(pán);磁光媒體，例如光盤(pán);和經(jīng)特殊配置以存儲(chǔ)且執(zhí)行程序指令的硬件裝置，例如只讀存儲(chǔ)器裝置(ROM)和隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(RAM)。程序指令的實(shí)例包含(例如)通過(guò)編譯器產(chǎn)生的機(jī)器代碼和含有可由計(jì)算機(jī)使用解譯器執(zhí)行的較高等級(jí)代碼的文件兩者。
[0090]在某些實(shí)施例中，用于檢驗(yàn)光掩模的系統(tǒng)包含經(jīng)