復(fù)合基板、柔性顯示裝置及其制備方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及平板顯示技術(shù)，特別涉及一種復(fù)合基板，以及柔性顯示裝置及其制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002]顯示面板目前被廣泛的應(yīng)用于手機(jī)、掌上電腦(Personal Digital Assistant,PDA)等便攜式電子產(chǎn)品中，例如:薄膜晶體管液晶顯示器(Thin Film Transistor-LiquidCrystal Display ,TFT-LCD)、有機(jī)發(fā)光二級(jí)管顯不器(Organic Light Emitting D1de,OLED)、低溫多晶娃(Low Temperature Poly-silicon,LTPS)顯示器以及等離子體顯示器(Plasma Display Panel ,F1DP)等。在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)的推動(dòng)下，更輕便、顯示效果更優(yōu)越、價(jià)格更低的顯示裝置受到了越來(lái)越多的追捧。
[0003]現(xiàn)有的柔性有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制備工藝流程包括:(I)在玻璃基板上形成離型層或者剝離層；(2)在離型層或者剝離層上形成柔性基板；(3)在柔性基板上制作薄膜晶體管驅(qū)動(dòng)電路；(4)蒸鍍有機(jī)發(fā)光器件；(5)在有機(jī)發(fā)光器件上制作封裝層；(6)貼上保護(hù)膜；(7)將柔性基板與玻璃基板分離；(8)貼下保護(hù)膜。在該制備工藝過(guò)程中，由于從玻璃基板取下的柔性基板非常柔軟，使得在貼合下保護(hù)膜時(shí)，存在很多工藝上的困難。例如產(chǎn)生氣泡，損傷薄膜晶體管和有機(jī)發(fā)光器件等，從而降低柔性顯示器的良率。由于離型層或者玻璃層表面的不平整，會(huì)導(dǎo)致涂布的聚酰亞胺層的厚度不均勻，影響顯示器的顯示效果;并且離型層需要選擇耐高溫的材料，可選擇性較小，且離型層的粘結(jié)度比較低，如果在制備顯示器件的過(guò)程中柔性基板發(fā)生移位，會(huì)降低顯示器的良率，影響顯示器的顯示效果。并且顯示裝置上會(huì)殘留一定厚度的離型層或者剝離層，增加了顯示裝置的厚度，不能滿足對(duì)薄的顯示裝置的市場(chǎng)需求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]有鑒于此，本發(fā)明實(shí)施例提供一種復(fù)合基板，包括第一基板和柔性基板，所述柔性基板包括第一有機(jī)膜層和第二有機(jī)膜層，所述第一有機(jī)膜層設(shè)置在所述第一基板上，所述第一有機(jī)膜層和第二有機(jī)膜層之間設(shè)置有至少一層無(wú)機(jī)膜層。
[0005]本發(fā)明實(shí)施例還提供一種柔性顯示裝置，包括柔性基板和顯示元件，所述柔性基板包括第一有機(jī)膜層和第二有機(jī)膜層，所述第一有機(jī)膜層設(shè)置在所述第一基板上，所述第一有機(jī)膜層和第二有機(jī)膜層之間設(shè)置有至少一層無(wú)機(jī)膜層；
[0006]所述顯示元件，位于所述柔性基板的第二有機(jī)膜層上。
[0007]本發(fā)明實(shí)施例還提供一種柔性顯示裝置的制備方法，包括以下步驟，
[0008]提供一第一基板，在所述第一基板上形成第一有機(jī)膜層；
[0009]在所述第一有機(jī)膜層上形成至少一層無(wú)機(jī)膜層；
[0010]在形成有所述無(wú)機(jī)膜層的第一基板上形成第二有機(jī)膜層；
[0011 ]在所述第二有機(jī)膜層上形成顯示元件；
[0012]分離所述柔性基板與所述第一基板。
[0013]本發(fā)明實(shí)施例提供的復(fù)合基板，以及柔性顯示裝置及其制備方法具有以下有益效果:
[0014]1.本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性基板，無(wú)需在柔性基板遠(yuǎn)離顯示元件的表面上粘貼下保護(hù)膜層，從而能夠克服工藝上粘貼下保護(hù)膜層困難，且容易產(chǎn)生氣泡，損傷薄膜晶體管和發(fā)光器件等問(wèn)題，從而提高柔性顯示器的良率。
[0015]2.本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性基板，在柔性基板與第一基板之間沒(méi)有設(shè)置離型層或者剝離層，這樣能夠克服由于離型層或者玻璃層表面的不平整，而導(dǎo)致涂布的聚酰亞胺層的厚度不均勻的問(wèn)題;并且能夠提供顯示器的制備良率，提高顯示效果。
[0016]3.無(wú)機(jī)膜層的材料包括金屬材料，使得該柔性基板有較好的散熱效果，并且尤其時(shí)柔性基板的厚度小于等于50μπι時(shí)，柔性基板比較薄，既可以滿足市場(chǎng)需求，又可以使得柔性顯示裝置有較好的散熱效果，還可以在激光切割分離第一基板和柔性基板時(shí)，對(duì)顯示器件進(jìn)行一定的保護(hù)，防止激光照射產(chǎn)生的熱量對(duì)顯示器件造成損傷。
【附圖說(shuō)明】
[0017]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0018]圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的復(fù)合基板的一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2是本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性基板的一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖3是本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性顯示裝置的一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021 ]圖4是本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性顯示裝置制備方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0023]本發(fā)明實(shí)施例提供一種復(fù)合基板，具體如圖1所示，該復(fù)合基板包括第一基板I和柔性基板2，所述柔性基板2包括第一有機(jī)膜層21和第二有機(jī)膜層22，所述第一有機(jī)膜層21設(shè)置在所述第一基板I上，所述第一有機(jī)膜層和第二有機(jī)膜層之間設(shè)置有至少一層無(wú)機(jī)膜層，如圖1所示，第一有機(jī)膜層21和第二有機(jī)膜層22之間設(shè)置有一層無(wú)機(jī)膜層23;該柔性基板上還設(shè)置有顯示元件，該顯示元件包括薄膜晶體管3和有機(jī)發(fā)光元件4 ；有機(jī)發(fā)光元件4上面設(shè)置有封裝層5，封裝層對(duì)該復(fù)合基板進(jìn)行密封，防止外界水汽進(jìn)入顯示元件內(nèi)，而影響顯示效果;封裝層5上設(shè)置有上保護(hù)層。其中，第一基板為玻璃基板或者剛性基板。在本發(fā)明實(shí)施例中，采用激光照射的方法對(duì)所述柔性基板和所述第一基板進(jìn)行切割照射后分離。本發(fā)明實(shí)施例提供的復(fù)合基板，無(wú)需在柔性基板遠(yuǎn)離顯示元件的表面上粘貼下保護(hù)膜層，從而能夠克服工藝上粘貼下保護(hù)膜層困難，且容易產(chǎn)生氣泡，損傷薄膜晶體管和發(fā)光器件等問(wèn)題，從而提高柔性顯示器的良率;且在柔性基板與第一基板之間沒(méi)有設(shè)置離型層或者剝離層，這樣能夠克服由于離型層或者玻璃層表面的不平整，而導(dǎo)致涂布的聚酰亞胺層的厚度不均勻的問(wèn)題;并且能夠提供顯示器的制備良率，提高顯示效果。
[0024]以上僅為本發(fā)明的一種實(shí)施方式，本發(fā)明的實(shí)施方式還可以為，該復(fù)合基板中的柔性基板還包括至少一層第三有機(jī)膜層，該第三有機(jī)膜層設(shè)置在第一有機(jī)膜層和第二有機(jī)膜層之間；如圖2所示，該柔性基板2包括第一有機(jī)膜層21和第二有機(jī)膜層22，該第一有機(jī)膜層21和第二有機(jī)膜層22之間還設(shè)置有至少一層第三有機(jī)膜層24，第三有機(jī)膜層24和無(wú)機(jī)膜層23交替間隔堆疊。
[0025]在本發(fā)明實(shí)施例中，該復(fù)合基板的柔性基板中第一有機(jī)膜層、第二有機(jī)膜層和第三有機(jī)膜層的材料均為聚酰亞胺;該第一有機(jī)膜層、第二有機(jī)膜層和第三有機(jī)膜層的厚度均為10μπι-20μπι。該無(wú)機(jī)膜層的材料包括氧化硅，氮化硅、鋁、鈦、鉬、氧化鋁中的至少一種材料;無(wú)機(jī)膜層的厚度為50nm-500nm。該柔性基板的厚度小于等于50μηι。其中，無(wú)機(jī)膜層的材料包括金屬材料，使得該柔性基板有較好的散熱效果，并且尤其時(shí)柔性基板的厚度小于等于50μπι時(shí)，柔性基板比較薄，既可以滿足市場(chǎng)需求，又可以使得柔性顯示裝置有較好的散熱效果，還可以在激光切割分離第一基板和柔性基板時(shí)，對(duì)顯示器件進(jìn)行一定的保護(hù)，防止激光照射產(chǎn)生的熱量對(duì)顯示器件造成損傷。
[0026]本發(fā)明實(shí)施例提供一種柔性顯示裝置，如圖3所示，該柔性顯示裝置包括柔性基板2和顯示元件，所述柔性基板2包括第一有機(jī)膜層21和第二有機(jī)膜層22，所述第一有機(jī)膜層和第二有機(jī)膜層之間設(shè)置有至少一層無(wú)機(jī)膜層，如圖3所示，第一有機(jī)膜層21和第二有機(jī)膜層22之間設(shè)置有一層無(wú)機(jī)膜層23;該柔性基板上設(shè)置有顯示元件，該顯示元件包括薄膜晶體管3和有機(jī)發(fā)光元件4;有機(jī)發(fā)光元件4上面設(shè)置有封裝層5，封裝層對(duì)該復(fù)合基板進(jìn)行密封，防止外界水汽進(jìn)入顯示元件內(nèi)，而影響顯示效果;封裝層5上設(shè)置有上保護(hù)層。本發(fā)明實(shí)施例提供的柔性顯示裝置，無(wú)需在柔性基板遠(yuǎn)離顯示元件的表面上粘貼下保護(hù)膜層，從而能夠克服工藝上粘貼下保護(hù)膜層困難，且容易產(chǎn)生氣泡，損傷薄膜晶體管和發(fā)光器件等問(wèn)題，從而提高柔性顯示器的良率;且在柔性基板與第一基板之間沒(méi)有設(shè)置離型層或者剝離層，這樣能夠克服由于離型層或者玻璃層表面的不平整，而導(dǎo)致涂布的聚酰亞胺層的厚度不均勻的問(wèn)題;并且能夠提供顯示器