動(dòng)，使得在通過(guò)對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)3觀察模具11的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A(由14表示)和基板9的 對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記B(由15表示）的同時(shí)，從上方看模具11的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A與基板9的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記B相吻合， 如圖3A所示(圖1中的步驟2)。
[0048] 對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A和相對(duì)應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記B具有凹凸結(jié)構(gòu)。期望地，該凹凸結(jié)構(gòu)具有周期性。
[0049] 此時(shí)，在第一對(duì)準(zhǔn)中，模具11的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A與基板9的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記B之間的對(duì)準(zhǔn)并不必 精確到納米級(jí)，而是在I微米至900微米的范圍內(nèi)。
[(K)加]基板臺(tái)6期望具有吸著性表面(suction or sticky surface)，從而便于基板9轉(zhuǎn) 移而不使基板在基板臺(tái)6上移動(dòng)。如果基板臺(tái)6具有此類(lèi)吸著性表面，則基板臺(tái)6整體可W由 吸著性材料制成，或者基板臺(tái)可W在表面上具有吸著性層。
[0051] 模具11由可W透過(guò)來(lái)自光源2的光的材料如石英、娃、聚合物或運(yùn)些材料的組合制 成。特別是，有利的是至少模具11的與光固化性組合物R接觸的部分由石英制成，更有利的 是模具整體由石英制成。由于石英具有低熱膨脹系數(shù)，所W即使受到曝光熱化eat Of exposure Ii曲t)對(duì)準(zhǔn)精度也不容易降低。
[0052] 模具11由模具保持機(jī)構(gòu)8保持，并期望具有在將與光固化性組合物R接觸的面的對(duì) 側(cè)面的中央部分具有比其它部分薄的厚度的模腔(氣室)7。模腔7幫助縮短引入光固化性組 合物R所花費(fèi)的時(shí)間或減少移動(dòng)模具11所需的力(脫模力）。
[0053] 在步驟(1)之后，表面上具有包含光固化性組合物R的涂膜10的基板9在步驟(2)之 前從對(duì)應(yīng)于涂布機(jī)構(gòu)5的位置(在涂布機(jī)構(gòu)5正下方)移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于模具11的位置(在模具11 正下方）。
[0054] 盡管在本實(shí)施方案的方法中，使用對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)3將由14表示的模具11的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A 和由15表示的基板9的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記B彼此對(duì)準(zhǔn)，但在另一實(shí)施方案中，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A和B的對(duì)準(zhǔn)可 通過(guò)除了使用對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)W外的任何手段來(lái)進(jìn)行。
[0055] 另外，盡管在本實(shí)施方案的方法中，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A和B具有周期性凹凸結(jié)構(gòu)，但對(duì)準(zhǔn)標(biāo) 記A和B的結(jié)構(gòu)不限于周期性凹凸結(jié)構(gòu)。
[0056] (3.氣體供給步驟）
[0057] 接著，將氣體16從氣體供給機(jī)構(gòu)4引入基板9之上，從而在基板9上的涂膜10的周?chē)?形成氣體氛圍。在該步驟中，氣體16在液態(tài)下的折射率低于步驟(1)中涂布的光固化性組合 物R的折射率nR，且氣體16在低于其蒸汽壓的壓力下或在高于其沸點(diǎn)的溫度下來(lái)供給（圖1 中的步驟3,示于圖3B)。
[00曰引期望，氣體16在液態(tài)下的折射率低于光固化性組合物R的折射率，在光固化性組合 物R中溶解1體積％ W上。
[0059] 此類(lèi)氣體的實(shí)例包括氯氣控(CFC)、氣控(FC)、氨氯氣控化CFC)、氨氣控化FC)和氨 氣酸化FE)。
[0060] 更具體地，所述氣體的實(shí)例包括HFC-245fa( 1，1，1，3，3-五氣丙烷，CHF2C此CF3)、 HFE-245mc(五氣乙基甲基酸、CF3CF2OC出）、和HFO-1233zd( 1-氯-3，3，3-S氣丙締 ，CHCl = CHCFs)O
[0061 ] HFC-245fa和HFE-245mc在主要包含丙締酸系單體的光固化性組合物R中具有高達(dá) 約40體積％的溶解度，且其液體的折射率低于用作光固化性組合物R的主成分的丙締酸系 單體的折射率。運(yùn)里，為了比較丙締酸系單體與氣體在液態(tài)下之間的折射率，因?yàn)楸喫嵯?單體為光固化性組合物R的主成分，所W可W將丙締酸系單體的折射率視為基本上與光固 化性組合物R的折射率相同。
[0062] 鑒于不燃性、低毒性和低反應(yīng)性（因此，是安全的），HFC-245fa和HFE-245mc也是有 利的。氣體16可W由單一氣體組成，或者可W包含多種氣體。因此，上述氣體可W單獨(dú)使用 或組合使用。
[0063] 氣體16可為任意上述氣體與空氣、氮?dú)?、二氧化碳、氮?dú)饣驓鈿獾鹊幕旌衔?。如?使用上述氣體的混合物，則氮?dú)膺m合作為待混合的氣體。運(yùn)是因?yàn)榈獨(dú)夥€(wěn)定且容易在壓印 時(shí)填充（introduce)。
[0064] (4.接觸步驟）
[0065] 接著，使模具11與光固化性組合物R的涂膜10接觸(圖1中的步驟4)。
[0066] 涂膜10的光固化性組合物R填充基板9與模具11之間的間隙W及模具11上的凹部 并溶解其中存在的氣體16,從而形成光固化性組合物R'的涂膜17。
[0067] (5.第二對(duì)準(zhǔn)步驟）
[0068] 隨后，在維持步驟(4)所產(chǎn)生的模具11與光固化性組合物R'的涂膜17之間接觸的 狀態(tài)下，用從光源2發(fā)出的光（由18表示)照射由14表示的模具的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A和由15表示的基 板的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記B，并且移動(dòng)基板臺(tái)6來(lái)調(diào)整基板9的位置，使得在通過(guò)對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)3檢測(cè)來(lái)自 對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A的光19和來(lái)自對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記B的光2 0的同時(shí)，使光19與光2 0之間的位置偏移 (position gap)減少（圖1中的步驟5,示于3C)。
[0069] 光19和光20可W為反射光或衍射光(或者反射光和衍射光），并且光19與光20之間 的位置偏移為在X-Y平面上的偏移。
[0070] 對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記B與步驟(2)中所使用的相同。
[0071] 模具11與基板9之間的光固化性組合物R'的涂膜17具有在光a的波長(zhǎng)下的折射率 (有效折射率)郵'，郵'由下述Maxwell-Garnett式(5)計(jì)算：
[0073] Vp表不氣體在光固化性組合物R中的溶解度，rig表不在光a的波長(zhǎng)下氣體在液態(tài)下 的折射率，和m表示在光a的波長(zhǎng)下光固化性組合物R的折射率。
[0074] 對(duì)于運(yùn)里使用式(5)的計(jì)算，假定溶解在待溶解的氣體的沸點(diǎn)W上的溫度下的液 體中的氣體的折射率與已經(jīng)在該溫度下加壓的氣體在液態(tài)下的折射率基本上相同。
[0075] 通過(guò)在光固化性組合物R的涂膜中溶解氣體，涂膜的折射率在光a的波長(zhǎng)下降低 HR-HR'O
[0076] 因此，通過(guò)將氣體16溶解在光固化性組合物中，如下述不等式（1)所示，模具11與 光固化性組合物之間的折射率的差增大：
[0077] |道-郵|引郵-郵'I (1)
[0078] 其中，郵表不在光a的波長(zhǎng)下光固化性組合物R的折射率，郵'表不在光a的波長(zhǎng)下光 固化性組合物R'的折射率，和m表示在光a的波長(zhǎng)下模具的折射率。
[0079] 因此，與來(lái)自模具11的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A與光固化性組合物R之間的界面的光相比，來(lái)自 模具11的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記A與光固化性組合物R'之間的界面的光的反射率或衍射效率增大，因此， 對(duì)準(zhǔn)精度提高。
[0080] 一般地，模具11的折射率M高于光固化性組合物R的折射率nR，因此，不等式(2)為 真：
[0081] 0 < HM-HR<(2)
[0082] 不等式(2)中，郵表示在光a的波長(zhǎng)下光固化性組合物R的折射率，郵'表示在光a的 波長(zhǎng)下光固化性組合物R'的折射率，和m表示在光a的波長(zhǎng)下模具的折射率。
[0083] 期望，m與m'之差較大，并滿(mǎn)足下述不等式(3)。
[0084] 〇.〇1<郵一郵'（3)
[0085] 不等式（3)中，郵表示在光a的波長(zhǎng)下光固化性組合物R的折射率，和nR'表示在光a 的波長(zhǎng)下光固化性組合物R'的折射率
[0086] 特別是，當(dāng)模具11的折射率m與光固化性組合物R的折射率M之差小時(shí)，例如，當(dāng)下 述不等式(4)為真時(shí)，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記容易檢測(cè)。
[0087] 0 < HM-HR <0.02 (4)
[0088] 不等式(4)中，M表示在光a的波長(zhǎng)下光固化性組合物R的折射率，和m表示在光a的 波長(zhǎng)下模具的折射率。
[0089] 本實(shí)施方案的方法中，移動(dòng)基板臺(tái)6來(lái)調(diào)芐基板9的位置，使得來(lái)自模具11的對(duì)準(zhǔn) 標(biāo)記A的光19與來(lái)自基板9的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記B的光20之間的位置偏移減少。然而，在本發(fā)明的另一 實(shí)施方案中，可W移動(dòng)模具來(lái)調(diào)節(jié)光19與光20之間的位置偏移。
[0090] 光a的波長(zhǎng)優(yōu)選為SOOnmW上。運(yùn)是因?yàn)橛糜趬河〉墓夤袒越M合物通常在400皿 W下的波長(zhǎng)下固化。
[0091] W下通過(guò)實(shí)施例計(jì)算一種情況下的光固化性組合物R'的折射率nR'。在此情況中， 光a的波長(zhǎng)為632.8皿，光固化性組合物3主要包含丙締酸系單體，