表不氧原子或硫原子，W表不選自由氛原子、烷基、芳香族基團(tuán)、 吡啶基、喹啉基、琥珀酰亞胺基、馬來(lái)酰亞胺基、苯并噁唑基、苯并噻唑基、以及苯并三唑基 組成的組中的基團(tuán)，這些基團(tuán)中的氫原子任選被有機(jī)基團(tuán)取代。）
[0118] 作為上述通式[4 ]所示的化合物，可列舉出例如CH3COF、C2H5COF、C 3H7COF、C4H9COF、
[0120]上述拒水性保護(hù)膜形成劑形成鹽時(shí)，保護(hù)膜形成用化學(xué)溶液可以包含該拒水性保 護(hù)膜形成劑、或其鹽、以及它們的混合物。
[0121] 另外，上述拒水性保護(hù)膜形成劑是上述通式[4]所示的拒水性保護(hù)膜形成劑中R7 為包含碳數(shù)8~18的烴基的1價(jià)有機(jī)基團(tuán)的化合物時(shí)，能夠賦予更優(yōu)異的拒水性，故而優(yōu)選。
[0122] 另外，上述通式[5]所示的拒水性保護(hù)膜形成劑是R8為包含碳數(shù)6~18的烴基的1 價(jià)有機(jī)基團(tuán)、V為氧原子且W為氫原子的化合物時(shí)，能夠賦予更優(yōu)異的拒水性，故而優(yōu)選。
[0123] 另外，上述拒水性保護(hù)膜形成劑更優(yōu)選具有疏水部，所述疏水部包含由碳原子和 氫原子形成的直鏈狀烴基。通過(guò)該疏水部中包含的直鏈狀烴基由碳原子和氫原子形成，在 形成保護(hù)膜時(shí)，上述拒水性保護(hù)膜形成劑的疏水部容易朝向垂直于該保護(hù)膜表面的方向排 列，因此，賦予拒水性的效果變得更高，故而更優(yōu)選。
[0124] 上述那樣的拒水性保護(hù)膜形成劑之中，考慮到對(duì)于金屬系物質(zhì)的親和性、以及賦 予拒水性的效果，特別優(yōu)選為例如上述通式[4]所示那樣的C 8H17⑶F AHWOFAoHnCOF、 CiiH23C0F、Ci2H25C0F、Ci3H27C0F、Ci4H29C0F、Ci5H3iC0F、Ci6H33TOF、Ci7H35TOF、Ci 8H37C0F、 C8Hi7COCU C9Hi9COCU C10H21COCU CiiH23COCU Ci2H25COCU C13H27COCU Ci4H29COCU C15H31COCI ^ Ci6H33COCl、C17H35COCI、C18H37COCI、C8HnCOBr、C 9Hi9COBr、CioH2ICOBr、CiiH23COBr、Ci 2H25COBr、 C13H27 ⑶ Br、CwH29COBr、C15H31 ⑶ Br、Ci6H33COBr、CnH35COBr、Ci8H 37COBr、C11H23COI、C12H25COI、 C13H27COI、CwH29COI、C15H 31COI、C16H33COI、CnH35COI、C 18H37COI 等化合物。使用上述化合物時(shí)， 容易在更短的時(shí)間內(nèi)在前述凹部表面形成保護(hù)膜、且后述的后清洗工序中維持拒水性的效 果優(yōu)異，故而優(yōu)選。
[0125] 另外，可列舉出例如前述通式[5]所示那樣的C5Hn⑶0H、C6H 13C00H、C7H15⑶0H、 C8Hi7COOH、C9H19COOH、C10H21COOH、C11H23COOH、C12H25COOH、C13H27COOH、C14H29COOH、C15H31COOH、 Ci6H33COOHXi7H35 ⑶ 0H、Ci8H37C00H、C5HiiC0SH、C6Hi3C0SH、C7Hi5C0SH、C8Hi7C0SH、C9Hi9C0SH、 Ci〇H2iCOSH、CiiH23COSH、Ci2H25COSH、Ci3H27COSH、Ci4H29COSH、Ci5H3iCOSH、Ci 6H33COSH、Ci7H35COSH、 C18H37COSH等化合物。
[0126] 另外，上述酸性保護(hù)膜形成用化學(xué)溶液包含上述通式[2]~[5]所示化合物中的至 少1種時(shí)，該化學(xué)溶液在表面具有鈦元素的物品的該表面容易形成優(yōu)異的拒水性保護(hù)膜，因 此，上述晶片優(yōu)選在該凹凸圖案的凹部表面至少具有鈦元素。另外，該化學(xué)溶液在表面具有 釕元素的物品的表面也容易形成優(yōu)異的拒水性保護(hù)膜，因此，上述晶片可以在凹凸圖案的 凹部表面至少具有釕元素。
[0127] 保護(hù)膜形成用化學(xué)溶液中的保護(hù)膜形成劑的濃度相對(duì)于該化學(xué)溶液的總量100質(zhì) 量％優(yōu)選為0.0005~50質(zhì)量％。濃度不足0.0005質(zhì)量％時(shí)，存在賦予拒水性的效果變得不 充分的傾向，濃度超過(guò)50質(zhì)量％時(shí)，存在難以溶于有機(jī)溶劑的傾向。進(jìn)一步優(yōu)選為0.001~5 質(zhì)量％、特別優(yōu)選為0.002~3質(zhì)量％。
[0128] 作為保護(hù)膜形成用化學(xué)溶液中使用的溶劑，可適合地使用水、有機(jī)溶劑、水與有機(jī) 溶劑的混合液。根據(jù)拒水性保護(hù)膜形成劑的不同，有時(shí)會(huì)與該溶劑發(fā)生反應(yīng)，因此，優(yōu)選適 當(dāng)選擇不與拒水性保護(hù)膜形成劑發(fā)生反應(yīng)的溶劑。作為該有機(jī)溶劑，可適合地使用例如烴 類、酯類、醚類、酮類、含鹵素溶劑、亞砜系溶劑、內(nèi)酯系溶劑、碳酸酯系溶劑、醇類、多元醇的 衍生物、含有氮元素的溶劑、或者它們的混合液。
[0129] 作為上述有機(jī)溶劑的具體例，可列舉出與上述清洗液A中使用的有機(jī)溶劑相同的 有機(jī)溶劑。
[0130] 另外，上述溶劑的一部分或全部使用不燃性溶劑時(shí)，保護(hù)膜形成用化學(xué)溶液變得 不燃性、或者閃點(diǎn)變高，該化學(xué)溶液的危險(xiǎn)性降低，故而優(yōu)選。含鹵素溶劑多為不燃性，不燃 性含鹵素溶劑可適合地用作不燃性有機(jī)溶劑。另外，水也可適合地用作不燃性溶劑。
[0131] 另外，作為上述溶劑而使用閃點(diǎn)超過(guò)70°C的溶劑時(shí)，從消防法上的安全性的觀點(diǎn) 出發(fā)是優(yōu)選的。
[0132] 另外，基于"與化學(xué)品的分類和表示相關(guān)的國(guó)際調(diào)和系統(tǒng);GHS"時(shí)，將閃點(diǎn)為93°C 以下的溶劑定義為"引火性液體"。因此，即使不是不燃性溶劑，作為上述溶劑而使用閃點(diǎn)超 過(guò)93°C的溶劑時(shí)，上述保護(hù)膜形成用化學(xué)溶液的閃點(diǎn)容易超過(guò)93°C，該化學(xué)溶液難以符合 "引火性液體"，因此，從安全性的觀點(diǎn)出發(fā)是進(jìn)一步優(yōu)選的。
[0133] 另外，內(nèi)酯系溶劑、碳酸酯系溶劑、分子量大或具有2個(gè)以上OH基的醇類、多元醇的 衍生物大多為閃點(diǎn)高的溶劑，因此將它們用于溶劑時(shí)，能夠降低保護(hù)膜形成用化學(xué)溶液的 危險(xiǎn)性，故而優(yōu)選。從上述安全性的觀點(diǎn)出發(fā)，具體而言，更優(yōu)選將閃點(diǎn)超過(guò)70°C的γ-丁內(nèi) 酯、γ-戊內(nèi)酯、γ-己內(nèi)酯、γ-庚內(nèi)酯、γ-辛內(nèi)酯、γ-壬內(nèi)酯、γ-癸內(nèi)酯、γ-i內(nèi)酯、 γ -十二內(nèi)酯、δ-戊內(nèi)酯、δ-己內(nèi)酯、δ-辛內(nèi)酯、δ-壬內(nèi)酯、δ-癸內(nèi)酯、δ-^l內(nèi)酯、δ-十二內(nèi) 酯、ε-己內(nèi)酯、碳酸亞丙酯、庚醇、辛醇、乙二醇、二乙二醇、1，2-丙二醇、1，3-丙二醇、二丙二 醇、1，2_ 丁二醇、1，3_ 丁二醇、1，4_ 丁二醇、三乙二醇、三丙二醇、四乙二醇、四丙二醇、甘油、 二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單乙基醚、二乙二醇單丙基醚、二乙二醇單丁基醚、三乙二醇 單甲基醚、三乙二醇單乙基醚、三乙二醇單丙基醚、三乙二醇單丁基醚、四乙二醇單甲基醚、 四乙二醇單乙基醚、四乙二醇單丙基醚、四乙二醇單丁基醚、二丙二醇單甲基醚、二丙二醇 單乙基醚、二丙二醇單丙基醚、二丙二醇單丁基醚、三丙二醇單甲基醚、三丙二醇單乙基醚、 三丙二醇單丙基醚、三丙二醇單丁基醚、四丙二醇單甲基醚、乙二醇二丁基醚、乙二醇單丁 基醚乙酸酯、乙二醇二乙酸酯、二乙二醇乙基甲基醚、二乙二醇二乙基醚、二乙二醇丁基甲 基醚、二乙二醇二丁基醚、二乙二醇單甲基醚乙酸酯、二乙二醇單乙基醚乙酸酯、二乙二醇 單丁基醚乙酸酯、二乙二醇二乙酸酯、三乙二醇二甲基醚、三乙二醇二乙基醚、三乙二醇二 丁基醚、三乙二醇丁基甲基醚、三乙二醇單甲基醚乙酸酯、三乙二醇單乙基醚乙酸酯、三乙 二醇單丁基醚乙酸酯、三乙二醇二乙酸酯、四乙二醇二甲基醚、四乙二醇二乙基醚、四乙二 醇二丁基醚、四乙二醇單甲基醚乙酸酯、四乙二醇單乙基醚乙酸酯、四乙二醇單丁基醚乙酸 酯、四乙二醇二乙酸酯、丙二醇二乙酸酯、二丙二醇甲基丙基醚、二丙二醇單甲基醚乙酸酯、 二丙二醇單乙基醚乙酸酯、二丙二醇單丁基醚乙酸酯、二丙二醇二乙酸酯、三丙二醇二甲基 醚、三丙二醇二乙基醚、三丙二醇二丁基醚、三丙二醇單甲基醚乙酸酯、三丙二醇單乙基醚 乙酸酯、三丙二醇單丁基醚乙酸酯、三丙二醇二乙酸酯、四丙二醇二甲基醚、四丙二醇單甲 基醚乙酸酯、四丙二醇二乙酸酯、丁二醇二乙酸酯、甘油三乙酸酯等用作上述溶劑，進(jìn)一步 更優(yōu)選將閃點(diǎn)超過(guò)93°C的γ-丁內(nèi)酯、γ-己內(nèi)酯、γ-庚內(nèi)酯、γ-辛內(nèi)酯、γ-壬內(nèi)酯、γ-癸 內(nèi)酯、γ-i內(nèi)酯、γ-十二內(nèi)酯、δ-戊內(nèi)酯、δ-己內(nèi)酯、δ-辛內(nèi)酯、δ-壬內(nèi)酯、δ-癸內(nèi)酯、δ-十一內(nèi)酯、δ-十二內(nèi)酯、ε-己內(nèi)酯、碳酸亞丙酯、乙二醇、二乙二醇、1,2-丙二醇、1，3_丙二 醇、二丙二醇、1，2_ 丁二醇、1，3_ 丁二醇、1，4_ 丁二醇、三乙二醇、三丙二醇、四乙二醇、四丙 二醇、甘油、二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單丙基醚、二乙二醇單丁基醚、三乙二醇單甲基 醚、三乙二醇單乙基醚、三乙二醇單丙基醚、三乙二醇單丁基醚、四乙二醇單甲基醚、四乙二 醇單乙基醚、四乙二醇單丙基醚、四乙二醇單丁基醚、二丙二醇單丙基醚、二丙二醇單丁基 醚、三丙二醇單甲基醚、三丙二醇單乙基醚、三丙二醇單丙基醚、三丙二醇單丁基醚、四丙二 醇單甲基醚、乙二醇二乙酸酯、二乙二醇丁基甲基醚、二乙二醇二丁基醚、二乙二醇二乙酸 酯、二乙二醇單甲基醚乙酸酯、二乙二醇單乙基醚乙酸酯、二乙二醇單丁基醚乙酸酯、三乙 二醇二甲基醚、三乙二醇二乙基醚、三乙二醇二丁基醚、三乙二醇丁基甲基醚、三乙二醇單 甲基醚乙酸酯、三乙二醇單乙基醚乙酸酯、三乙二醇單丁基醚乙酸酯、三乙二醇二乙酸酯、 四乙二醇二甲基醚、四乙二醇二乙基醚、四乙二醇二丁基醚、四乙二醇單甲基醚乙酸酯、四 乙二醇單乙基醚乙酸酯、四乙二醇單丁基醚乙酸酯、四乙二醇二乙酸酯、丙二醇二乙酸酯、 二丙二醇二乙酸酯、二丙二醇單甲基醚乙酸酯、二丙二醇單乙基醚乙酸酯、二丙二醇單丁基 醚乙酸酯、三丙二醇二甲基醚、三丙二醇二乙基醚、三丙二醇二丁基醚、三丙二醇單甲基醚 乙酸酯、三丙二醇單乙基醚乙酸酯、三丙二醇單丁基醚乙酸酯、三丙二醇二乙酸酯、四丙二 醇二甲基醚、四丙二醇單甲基醚乙酸酯、四丙二醇二乙酸酯、丁二醇二乙酸酯、甘油三乙酸 酯等用作上述溶劑。
[0134] 進(jìn)而，另外，從能夠賦予更優(yōu)異的拒水性這一理由出發(fā)，上述溶劑優(yōu)選為烴類、酯 類、醚類、酮類、內(nèi)酯系溶劑、碳酸酯系溶劑、多元醇的衍生物之中不帶羥基的溶劑、水或它 們的混合液。進(jìn)而，考慮到與清洗液置換、尤其是與水系清洗液置換的置換性時(shí)，優(yōu)選為不 帶羥基的多元醇的衍生物、水或它們的混合液。需要說(shuō)明的是，為了溶解大量上述保護(hù)膜形 成劑，上述溶劑可以包含醇類。需要說(shuō)明的是，此時(shí)的該醇類的濃度相對(duì)于保護(hù)膜形成用化 學(xué)溶液100質(zhì)量％優(yōu)選為10質(zhì)量％以下、