晶圓托盤結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型是涉及一種晶圓托盤結(jié)構(gòu)，特別為一種具有方便定位的邊緣凸起及防止漏氣的凹槽的晶圓托盤結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來由于可攜式電子產(chǎn)品的應(yīng)用與日俱增，半導(dǎo)體晶圓的需求也隨著大幅的增加，半導(dǎo)體工藝也就越來越受到重視。
[0003]然而，半導(dǎo)體工藝中，有時因為蓋體與托盤結(jié)合不夠緊密，以致工藝中使用的蝕刻藥劑或其他氣體泄漏，而浪費(fèi)了部分的資源或產(chǎn)生污染的疑慮，有時甚至因蓋體或托盤的通氣孔產(chǎn)生阻塞而影響了晶圓產(chǎn)出的良率。
[0004]圖1所示，即為現(xiàn)有習(xí)知的晶圓托盤與蓋體的示意圖，其主要具有蓋體部401及盤體部402，蓋體部401是比盤體部402為大，并且是以包覆遮蓋的方式蓋住盤體部402。所示的現(xiàn)有習(xí)知晶圓托盤與蓋體使用時，即因蓋體部401及盤體部402之間容易產(chǎn)生縫隙而導(dǎo)致漏氣。
[0005]另一方面，現(xiàn)有習(xí)知的蓋體部401所使用的氣孔(圖未示)，經(jīng)常只是在蓋體部401相對每一晶圓的上方形成一個孔洞，使用時間一久便會產(chǎn)生阻塞而大幅影響晶圓生產(chǎn)的良率。
[0006]因此，一個創(chuàng)新的晶圓托盤結(jié)構(gòu)便有應(yīng)運(yùn)而生的急迫需求，除了重量輕、價錢便宜、容易制造，更必須能防呆、方便定位、防止阻塞及防止漏氣，則必定可以大幅增加晶圓工藝的整體產(chǎn)出，對于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)與使用電子組件的制造業(yè)者來說，都能提供甚大的節(jié)省成本與增加產(chǎn)能的貢獻(xiàn)。
[0007]有鑒于上述現(xiàn)有的晶圓托盤結(jié)構(gòu)存在的問題，本發(fā)明人基于從事此類產(chǎn)品設(shè)計制造多年豐富的實務(wù)經(jīng)驗及專業(yè)知識，并配合學(xué)理的運(yùn)用，積極加以研宄創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種新型結(jié)構(gòu)的晶圓托盤結(jié)構(gòu)，能夠改進(jìn)一般現(xiàn)有的晶圓托盤結(jié)構(gòu)，使其更具有實用性。經(jīng)過不斷的研宄、設(shè)計，并經(jīng)過反復(fù)試作樣品及改進(jìn)后，終于創(chuàng)設(shè)出確具實用價值的本實用新型。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本實用新型的主要目的在于，克服現(xiàn)有的晶圓托盤結(jié)構(gòu)存在的問題，而提供一種新型結(jié)構(gòu)的晶圓托盤結(jié)構(gòu)，所要解決的技術(shù)問題是使其更易于密合、更易于對晶圓定位、防止漏氣、上蓋的氣孔不易阻塞，柱狀體與相對應(yīng)的定位孔更具有防呆功能使上蓋及托盤可以容易且無誤的緊密結(jié)合。
[0009]本實用新型的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的。依據(jù)本實用新型提供的一種晶圓托盤結(jié)構(gòu)，其包括:托盤，其為盤體并具有第一表面，托盤周緣是形成有環(huán)狀的凹槽；多個晶圓平臺，不相接觸地凸出形成于第一表面，其中每一個晶圓平臺具有:容置面；及邊緣凸起，形成于容置面的一側(cè)邊上并凸出容置面；多個柱狀體，不相接觸地凸出形成于第一表面，且任一柱狀體是不與任一晶圓平臺相接觸；以及上蓋，其為具有第二表面的盤體，上蓋的大小是與托盤的大小相當(dāng)，并可分離地密封覆蓋托盤，又上蓋具有:多個容置區(qū)，與所述晶圓平臺一對一相對應(yīng)地凹陷形成于第二表面，每一個容置區(qū)并可包容相對應(yīng)的晶圓平臺，每一個容置區(qū)的一側(cè)邊并形成直線部與相對應(yīng)的晶圓平臺的邊緣凸起相對應(yīng)；多個定位孔，不相接觸地凹陷形成于第二表面，且任一定位孔是不與任一容置區(qū)相接觸；及多個氣孔，每一個氣孔是凹陷形成于容置區(qū)的周緣并貫通至第二表面。
[0010]本實用新型的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實現(xiàn)。
[0011]前述的晶圓托盤結(jié)構(gòu)，其中該凹槽是容置有O型環(huán)(O-Ri ng)。
[0012]前述的晶圓托盤結(jié)構(gòu)，其中每一個該晶圓平臺的該容置面恰可容置晶圓，該晶圓并接觸該邊緣凸起。
[0013]前述的晶圓托盤結(jié)構(gòu)，其中該晶圓的直線邊是與該邊緣凸起切齊。
[0014]前述的晶圓托盤結(jié)構(gòu)，其中每一個該定位孔是與該柱狀體相對應(yīng)并恰可容置該柱狀體。
[0015]前述的晶圓托盤結(jié)構(gòu)，其中每一個該晶圓平臺的表面進(jìn)一步具有多個通孔。
[0016]前述的晶圓托盤結(jié)構(gòu)，其中每一個該邊緣凸起與相對應(yīng)的該容置面連接處是為平面，且與相對應(yīng)的該直線部相契合。
[0017]前述的晶圓托盤結(jié)構(gòu)，其中該托盤及該上蓋是為相同的金屬材質(zhì)或合金材質(zhì)或金屬化合物材質(zhì)所制成。
[0018]前述的晶圓托盤結(jié)構(gòu)，其中該托盤及該上蓋是為相異的金屬材質(zhì)或合金材質(zhì)或金屬化合物材質(zhì)所制成。
[0019]藉由本實用新型的實施，可達(dá)到下列優(yōu)點(diǎn)及有益效果:
[0020]一、晶圓托盤結(jié)構(gòu)更易于密合。
[0021]二、更易于對晶圓定位。
[0022]二、上蓋及托盤蓋合時可防止漏氣。
[0023]四、上蓋的氣孔不易阻塞。
[0024]五、柱狀體與相對應(yīng)的定位孔具有防呆功能，使上蓋及托盤可以容易且無誤的緊也彡口口。
[0025]上述說明僅是本實用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并且為了讓本實用新型的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細(xì)說明如下。
【附圖說明】
[0026]圖1是為現(xiàn)有習(xí)知的一種晶圓托盤與上蓋的剖視示意圖。
[0027]圖2是為本實用新型實施例的一種晶圓托盤結(jié)構(gòu)的立體示意圖。
[0028]圖3是為本實用新型實施例的一種托盤與上蓋的剖視示意圖。
[0029]圖4是為本實用新型實施例的一種托盤的立體示意圖。
[0030]圖5是為本實用新型實施例的一種上蓋的立體示意圖。
[0031]圖6是為本實用新型實施例的一種托盤的晶圓平臺進(jìn)一步具有通孔的立體示意圖。
[0032]【主要元件符號說明】
[0033]100:晶圓托盤結(jié)構(gòu)10:托盤
[0034]11:第一表面12:凹槽
[0035]20:晶圓平臺21:容置面
[0036]22:邊緣凸起30:柱狀體
[0037]40:上蓋41:第二表面
[0038]42:容置區(qū)421:直線部
[0039]43:氣孔(缺口)44:定位孔
[0040]50:通孔
【具體實施方式】
[0041]為更進(jìn)一步闡述本實用新型為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實施例，對依據(jù)本實用新型提出的晶圓托盤結(jié)構(gòu)其【具體實施方式】、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。
[0042]如圖2所示，本實施例為一種晶圓托盤結(jié)構(gòu)100，其包括有:托盤10 ;多個晶圓平臺20 ;多個柱狀體30 ；以及上蓋40。
[0043]如圖2及圖3所示，托盤10，其為盤體并具有第一表面11，托盤10周緣并形成有環(huán)狀的凹槽12，亦即凹槽12凹陷形成于托盤10周緣。而所述托盤10的材質(zhì)，可以是金屬、合金或金屬化合物材質(zhì)所制成，且凹槽12的內(nèi)部是可以設(shè)置一個O型環(huán)，所設(shè)置的O型環(huán)可以恰好填滿凹槽12，且設(shè)置于凹槽12的O型環(huán)的上緣可以與第一表面11相齊平。
[0044]如圖2、圖3及圖4所示，多個晶圓平臺20，