不相接觸地凸出形成于第一表面11上，且每一晶圓平臺20具有:容置面21 ;及邊緣凸起22。邊緣凸起22是形成于容置面21的一側(cè)邊上并凸出容置面21。其中每一邊緣凸起22與相對應(yīng)的容置面21連接處是可以形成為平面。
[0045]如圖2至圖4所示的每一個晶圓平臺20的大小，是可以制造成為恰可容置晶圓，又晶圓的直線邊并接觸邊緣凸起22且與邊緣凸起22切齊，如此，對晶圓的定位便非常容易O
[0046]再如圖2至圖4所示，多個柱狀體30，不相接觸地凸出形成于第一表面11上，且任一柱狀體30是不與任一晶圓平臺20相接觸。柱狀體30可以是與托盤10 —體成型，也可以是托盤10形成的后再固設(shè)柱狀體30在托盤10的上。另外，柱狀體30的材質(zhì)可與托盤10相同，也可以是其他質(zhì)輕堅硬的材質(zhì)所制成。
[0047]請再參考如圖2及圖3所示，上蓋40，其為具有第二表面41的另一個盤體，上蓋40的大小是與托盤10的大小相當，并可分離地密封覆蓋托盤10。上蓋40是可以為與托盤10相同的金屬材質(zhì)、合金材質(zhì)或金屬化合物材質(zhì)所制成，或可以為與托盤10相異的金屬材質(zhì)、合金材質(zhì)或金屬化合物材質(zhì)所制成。
[0048]如圖2及圖3所示，由于托盤10的凹槽12的內(nèi)可以設(shè)置一個O型環(huán)，在上蓋40覆蓋托盤10時，O型環(huán)可以加強產(chǎn)生的密封效果，使反應(yīng)用的化學氣體在工藝中不會產(chǎn)生泄漏。
[0049]如圖2、圖3及圖5所示，上蓋40具有:多個容置區(qū)42、多個定位孔44及多個氣孔43。所述容置區(qū)42是與所述晶圓平臺20 —對一相對應(yīng)地凹陷形成于上蓋40的第二表面41，每一個容置區(qū)42并可包容相對應(yīng)的晶圓平臺20及晶圓平臺20所乘載的晶圓，每一個容置區(qū)42的一個側(cè)邊并形成有直線部421，直線部421與相對應(yīng)的晶圓平臺20的邊緣凸起22相對應(yīng)，且可以相契合。
[0050]如圖2、圖3及圖5所示，定位孔44是不相接觸地凹陷形成于上蓋40的第二表面41，且任一定位孔44是不與任一第二表面41上的容置區(qū)42相接觸，其中每一個定位孔44是與托盤10的柱狀體30相對應(yīng)，并恰可容置相對應(yīng)的柱狀體30。如此，上蓋40與托盤10蓋合時，每一次皆一定自相對應(yīng)的定位孔44與柱狀體30處結(jié)合而不致產(chǎn)生錯誤，因而具有防呆的功效。
[0051]同樣如圖2、圖3及圖5所示，上蓋40又具有多個氣孔43，每一個氣孔43是凹陷形成于容置區(qū)42的周緣上并貫通至第二表面41。也就是說，每一個容置區(qū)42都有一個氣孔43，自容置區(qū)42內(nèi)部貫穿至第二表面41上，由于氣孔43是形成如一個缺口的形式，在工藝進行中較不易產(chǎn)生阻塞，而能確保晶圓制造的良率。
[0052]接著請參考如圖6所示，晶圓托盤10結(jié)構(gòu)的每一個晶圓平臺20的表面上可以進一步具有多個通孔50。通孔50的功用為在工藝進行中，可以自通孔50通入氣體，做為溫度傳導(dǎo)的介質(zhì)，以提高整體工藝的效率。通孔50的形狀或數(shù)量并無特殊的限定，且自通孔50通入的氣體的材質(zhì)或壓力，更可以視應(yīng)用的需求而定。
[0053]總而言之，如以上各實施例所述，本實用新型晶圓托盤結(jié)構(gòu)100，具有托盤10的凹槽12可以設(shè)置一個O型環(huán)，使得上蓋40與托盤10更易于密合，且可以加強氣密而免于產(chǎn)生漏氣；具有柱狀體30與相對應(yīng)的定位孔44而具有防呆功能，使上蓋及托盤可以容易且無誤的緊密結(jié)合；具有邊緣凸起22與可相契合的直線部421，更易于對晶圓定位；上蓋40的每一個容置區(qū)42都具有一個氣孔43，自容置區(qū)42內(nèi)部貫穿至第二表面41上，形成如一個缺口的形式，在工藝進行中較不易產(chǎn)生阻塞，而能確保晶圓制造的良率。
[0054]以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上的限制，雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本實用新型，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本實用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)，當可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本實用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種晶圓托盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，其包括: 托盤，其為盤體并具有第一表面，該托盤周緣是形成有環(huán)狀的凹槽； 多個晶圓平臺，不相接觸地凸出形成于該第一表面，其中每一個該晶圓平臺具有: 容置面；及 邊緣凸起，形成于該容置面的一側(cè)邊上并凸出該容置面； 多個柱狀體，不相接觸地凸出形成于該第一表面，且任一該柱狀體是不與任一該晶圓平臺相接觸；以及 上蓋，其為具有第二表面的盤體，該上蓋的大小是與該托盤的大小相當，并可分離地密封覆蓋該托盤，又該上蓋具有: 多個容置區(qū)，與所述晶圓平臺一對一相對應(yīng)地凹陷形成于該第二表面，每一個該容置區(qū)并可包容相對應(yīng)的該晶圓平臺，每一個該容置區(qū)的一側(cè)邊并形成直線部與相對應(yīng)的該晶圓平臺的該邊緣凸起相對應(yīng)； 多個定位孔，不相接觸地凹陷形成于該第二表面，且任一該定位孔是不與任一該容置區(qū)相接觸；及 多個氣孔，每一個該氣孔是凹陷形成于該容置區(qū)的周緣并貫通至該第二表面。
2.如權(quán)利要求1所述的晶圓托盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中該凹槽是容置有O型環(huán)。
3.如權(quán)利要求1所述的晶圓托盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中每一個該晶圓平臺的該容置面恰可容置晶圓，該晶圓并接觸該邊緣凸起。
4.如權(quán)利要求2所述的晶圓托盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中該晶圓的直線邊是與該邊緣凸起切齊。
5.如權(quán)利要求1所述的晶圓托盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中每一個該定位孔是與該柱狀體相對應(yīng)并恰可容置該柱狀體。
6.如權(quán)利要求1所述的晶圓托盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中每一個該晶圓平臺的表面進一步具有多個通孔。
7.如權(quán)利要求1所述的晶圓托盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中每一個該邊緣凸起與相對應(yīng)的該容置面連接處是為平面，且與相對應(yīng)的該直線部相契合。
8.如權(quán)利要求1所述的晶圓托盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中該托盤及該上蓋是為相同的金屬材質(zhì)或合金材質(zhì)或金屬化合物材質(zhì)所制成。
9.如權(quán)利要求1所述的晶圓托盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中該托盤及該上蓋是為相異的金屬材質(zhì)或合金材質(zhì)或金屬化合物材質(zhì)所制成。
【專利摘要】本實用新型是一種晶圓托盤結(jié)構(gòu)，其包括：托盤；多個晶圓平臺；多個柱狀體；以及上蓋。每一個晶圓平臺具有：容置面；及邊緣凸起。上蓋具有：多個容置區(qū)；多個定位孔；及多個氣孔。藉由本實用新型的實施，可以使晶圓托盤結(jié)構(gòu)更易于密合、更易于對晶圓定位、防止漏氣、上蓋的氣孔不易阻塞，柱狀體與相對應(yīng)的定位孔更具有防呆功能使上蓋及托盤可以容易且無誤的緊密結(jié)合。
【IPC分類】H01L21-683
【公開號】CN204289416
【申請?zhí)枴緾N201420659630
【發(fā)明人】陳宜杰, 羅世欣
【申請人】聚昌科技股份有限公司
【公開日】2015年4月22日
【申請日】2014年11月5日