與多個線路部20相重疊。接地導(dǎo)體22由以銀、銅、鋁等為主要成分的電阻率較小的金屬材料制作而成。下面，對接地導(dǎo)體22進行更為詳細的說明。
[0046]如圖2所示，接地導(dǎo)體22由線路部22a及端子部22b、22c構(gòu)成。線路部22a設(shè)置在線路部18a的表面，并在X軸方向上延伸。如圖2及圖3所示，線路部22a包含接地部23a ?23c。
[0047]如圖3所示，接地部23a(第一接地部)設(shè)置在線路部18a的表面上比線路部20更靠I軸方向的正方向側(cè)的位置，并沿著線路部20在X軸方向上延伸。接地導(dǎo)體23a具有中間部分23a-l以及端部23a-2、23a-3。端部23a_2是接地導(dǎo)體23a的x軸方向的正方向側(cè)的端部。端部23a_3是接地導(dǎo)體23a的x軸方向的負方向側(cè)的端部。中間部分23a_l是接地導(dǎo)體23a中端部23a-2、23a-3以外的部分，并且是被端部23a_2和端部23a_3夾持的部分。端部23a-2、23a-3比中間部分23a_l更靠近線路部20。即，端部23a_2、23a_3較中間部分23a_l向y軸方向的負方向側(cè)突出。
[0048]接地部23b (第三接地部)設(shè)置在線路部18a的表面上較線路部20更靠近y軸方向的負方向側(cè)的位置(即，線路部20的與接地部23a相反的一側(cè))，并沿著線路部20在X軸方向上延伸。接地導(dǎo)體23b具有中間部分23b-l以及端部23b-2、23b-3。端部23b_2是接地導(dǎo)體23b的X軸方向的正方向側(cè)的端部。端部23b-3是接地導(dǎo)體23b的x軸方向的負方向側(cè)的端部。中間部分23b-l是接地導(dǎo)體23b中端部23b-2、23b-3以外的部分，并且是被端部23b-2和端部23b-3夾持的部分。端部23b-2、23b-3比中間部分23b_l更靠近線路部20。即，端部23b-2、23b-3較中間部分23b-l向y軸方向的正方向側(cè)突出。
[0049]接地部23c (第五接地部)設(shè)置在相鄰的線路部20之間，從ζ軸方向俯視時與線路部21重疊。接地部23c與位于X軸方向兩側(cè)的接地部23a、23b相連。具體而言，接地部23c與位于X軸方向的負方向側(cè)的接地部23a、23b的端部23a_2、23b_2相連，并與位于x軸方向的正方向側(cè)的接地部23a、23b的端部23a-3、23b-3相連。由此，形成被接地部23a?23c包圍的開口部Opl。在開口部Opl內(nèi)不設(shè)有接地導(dǎo)體22。但是，在開口部Opl內(nèi)設(shè)有線路部20。由此，線路部20在與接地導(dǎo)體22絕緣的狀態(tài)下、被接地導(dǎo)體22所包圍。如圖2所示，如上所述的線路部22a呈階梯形。
[0050]如圖2所示，端子部22b設(shè)置于連接部18b的表面，且呈包圍外部端子16a的U字形。端子部22b與線路部22a的X軸方向的負方向側(cè)的端部相連接。端子部22c設(shè)置于連接部18c的表面，且呈包圍外部端子16b的U字形。端子部22c與線路部22a的x軸方向的正方向側(cè)的端部相連接。
[0051]如圖2及圖3所示，接地導(dǎo)體24 (第二接地導(dǎo)體)設(shè)置在設(shè)有線路部21的電介質(zhì)片18的背面，從ζ軸方向(電介質(zhì)片18的背面的法線方向)俯視時，接地導(dǎo)體24與多個線路部20相重疊，并且不與多個線路部21相重疊。接地導(dǎo)體24由以銀、銅、鋁等為主要成分的電阻率較小的金屬材料制作而成。下面，對接地導(dǎo)體24進行更為詳細的說明。
[0052]如圖2所示，接地導(dǎo)體24由線路部24a及端子部24b、24c構(gòu)成。線路部24a設(shè)置于線路部18a的背面，在X軸方向上延伸。如圖2及圖3所示，線路部24a包含接地部25a ?25c0
[0053]如圖3所示，接地部25a (第二接地部)設(shè)置在線路部18a的背面上比線路部21更靠近y軸方向的正方向側(cè)的位置，并沿著線路部21在X軸方向上延伸。接地導(dǎo)體25a具有中間部分25a-l以及端部25a-2、25a-3。端部25a_2是接地導(dǎo)體25a的x軸方向的正方向側(cè)的端部。端部25a_3是接地導(dǎo)體25a的x軸方向的負方向側(cè)的端部。中間部分25a_l是接地導(dǎo)體25a中端部25a-2、25a-3以外的部分，并且是被端部25a_2和端部25a_3夾持的部分。端部25a-2、25a-3比中間部分25a_l更靠近線路部21。即，端部25a_2、25a_3較中間部分25a-l向y軸方向的負方向側(cè)突出。
[0054]接地部25b (第四接地部)設(shè)置在線路部18a的背面上較線路部21更靠近y軸方向的負方向側(cè)的位置(即，線路部21的與接地部25a相反的一側(cè))，并沿著線路部21在x軸方向上延伸。接地導(dǎo)體25b具有中間部分25b-l以及端部25b-2、25b-3。端部25b_2是接地導(dǎo)體25b的X軸方向的正方向側(cè)的端部。端部25b-3是接地導(dǎo)體25b的x軸方向的負方向側(cè)的端部。中間部分25b-l是接地導(dǎo)體25b中端部25b-2、25b-3以外的部分，并且是被端部25b-2和端部25b-3夾持的部分。端部25b-2、25b-3比中間部分25b_l更靠近線路部21。即，端部25b-2、25b-3較中間部分25b-l向y軸方向的正方向側(cè)突出。
[0055]接地部25c (第六接地部)設(shè)置在相鄰的線路部21之間，從ζ軸方向俯視時與線路部20重疊。接地部25c與位于X軸方向兩側(cè)的接地部25a、25b相連。具體而言，接地部25c與位于X軸方向的負方向側(cè)的接地部25a、25b的端部25a_2、25b_2相連，并與位于x軸方向的正方向側(cè)的接地部25a、25b的端部25a-3、25b-3相連。由此，形成被接地部25a?25c包圍的開口部Op2。在開口部Op2內(nèi)不設(shè)有接地導(dǎo)體24。但是，在開口部Op2內(nèi)設(shè)有線路部21。由此，線路部21在與接地導(dǎo)體24絕緣的狀態(tài)下、被接地導(dǎo)體24所包圍。如圖2所示，如上所述的線路部24a呈階梯形。
[0056]如圖2所示，端子部24b設(shè)置在連接部18b的背面，呈實心狀。端子部24b與線路部24a的X軸方向的負方向側(cè)的端部相連接。端子導(dǎo)體24c設(shè)置于線路部18c的背面，呈實心狀。端子部24c與線路部24a的x軸方向的正方向側(cè)的端部相連接。
[0057]如圖3所示，通孔導(dǎo)體b3 (第二層間連接部)沿ζ軸方向貫穿電介質(zhì)片18的線路部18a，且設(shè)置在較線路部20的X軸方向的正方向側(cè)的端部更靠近I軸方向的正方向側(cè)的位置。通孔導(dǎo)體b3的ζ軸方向的正方向側(cè)的端部與接地部23a的端部23a_2相連。通孔導(dǎo)體b3的ζ軸方向的負方向側(cè)的端部與接地部25a的端部25a-3相連。由此，通孔導(dǎo)體b3與端部23a-2以及端部25a-2相連。
[0058]通孔導(dǎo)體b5(第三層間連接部)沿ζ軸方向貫穿電介質(zhì)片18的線路部18a，且設(shè)置在較線路部20的X軸方向的正方向側(cè)的端部更靠近y軸方向的負方向側(cè)的位置。通孔導(dǎo)體b5的ζ軸方向的正方向側(cè)的端部與接地部23b的端部23b-2相連。通孔導(dǎo)體b5的ζ軸方向的負方向側(cè)的端部與接地部25b的端部25b-3相連。由此，通孔導(dǎo)體b5與端部23b-2以及端部25b-3相連。
[0059]如圖2及圖3所示，通孔導(dǎo)體b3、bl、b5以該順序在與信號線路SI延伸的方向(x軸方向)正交的方向(y軸方向)上排成一列。并且，通孔導(dǎo)體b3、bl、b5在ζ軸方向上平行延伸。
[0060]如圖3所示，通孔導(dǎo)體b4沿ζ軸方向貫穿電介質(zhì)片18的線路部18a，且設(shè)置在較線路部20的X軸方向的負方向側(cè)的端部更靠近y軸方向的正方向側(cè)的位置。通孔導(dǎo)體b4的ζ軸方向的正方向側(cè)的端部與接地部23a的端部23a-3相連。通孔導(dǎo)體b4的ζ軸方向的負方向側(cè)的端部與接地部25a的端部25a-2相連。由此，通孔導(dǎo)體b4與端部23a_3以及端部25a-2相連。
[0061]通孔導(dǎo)體b6沿ζ軸方向貫穿電介質(zhì)片18的線路部18a，且設(shè)置在較線路部20的X軸方向的負方向側(cè)的端部更靠近y軸方向的負方向側(cè)的位置。通孔導(dǎo)體b6的Z軸方向的正方向側(cè)的端部與接地部23b的端部23b-3相連。通孔導(dǎo)體b6的ζ軸方向的負方向側(cè)的端部與接地部25b的端部25b-2相連。由此，通孔導(dǎo)體b6與端部23b-3以及端部25b_2相連。
[0062]如圖2及圖3所示，通孔導(dǎo)體b4、b2、b6以該順序在與信號線路SI延伸的方向(x軸方向)正交的方向(y軸方向)上排成一列。并且，通孔導(dǎo)體b4、b2、b6在ζ軸方向上平行延伸。
[0063]這里，對通孔導(dǎo)體bl?b6的配置進行更詳細的說明。通孔導(dǎo)體bl與通孔導(dǎo)體b3的距離Dl小于線路部20與接地部23a的中間部分23a_l的距離dl。以下，線路部與接地部的中間部分的距離是指從線路部的各部分到接地部的中間部分的最短距離。即，線路部20與中間部分23a_l之間的間隙寬度大于距離Dl。距離Dl為100 μπι?200 μm，距離dl為 300 μ m ?600 μ mD
[0064]另外，通孔導(dǎo)體bl與通孔導(dǎo)體b3的距離Dl小于線路部21與接地部25a的中間部分25a-l的距離d3。S卩，線路部21與中間部分25a-l之間的間隙寬度大于距離Dl。距離 d3 為 250 μ m ?600 μ m。
[0065]通孔導(dǎo)體bl與通孔導(dǎo)體b5的距離D2小于線路部20與接地部23b的中間部分23b-l的距離d2。即，線路部20與中間部分23b-l之間的間隙寬度大于距離D2。距離D2為 100 μ m ?200 μ m，距離 d2 為 300 μ m ?600 μ m。
[0066]另外，通孔導(dǎo)體bl與通孔導(dǎo)體b5的距離D2小于線路部21與接地部25b的中間部分25b-l的距離d4。S卩，線路部21與中間部分25b-l之間的間隙寬度大于距離D2。距離 d4 為 250 μ m ?600 μ m。
[0067]通孔導(dǎo)體b2與通孔導(dǎo)體b4的距離D3小于線路部20與接地部23a的中間部分23a-l的距離dl。即，線路部20與中間部分23a-l之間的間隙寬度大于距離D3。距離D3為 100 μπι ?200 μ??ο
[0068]另外，通孔導(dǎo)體b2與通孔導(dǎo)體b4的距離D3小于線路部21與接地部25a的中間部分25a-l的距離d3。S卩，線路部21與中間部分25a-l之間的間隙寬度大于距離D3。距離 d3 為 200 μ m ?800 μ m。
[0069]通孔導(dǎo)體b2與通孔導(dǎo)體b6的距離D4小于線路部20與接地部23b的中間部分23b-l的距離d2。即，線路部20與中間部分23b-l之間的間隙寬度大于距離D4。距離D4為 100 μπι ?200 μ??ο
[0070]另外，通孔導(dǎo)體b2與通孔導(dǎo)體b6的距離D4小于線路部21與接地部25b的中間部分25b-l的距離d4。S卩，線路部21與中間部分25b-l之間的間隙寬度大于距離D4。
[0071]保護層14覆蓋電介質(zhì)片材18的大致整個表面。由此，保護