前)。同樣，被供給至脈沖放大器118b的脈沖信號也能夠相對于被供給至脈沖放大器118c的脈沖信號，通過相位變更器116b使相位延遲(或者提前)。脈沖放大器118a、118b、118c通過對這樣變更了相位的脈沖信號的電壓進(jìn)行放大，來生成驅(qū)動信號。
[0195]圖4是表示脈沖放大器118a、118b、118c的內(nèi)部構(gòu)造的說明圖。如圖示那樣脈沖放大器118a、118b、118c具備2個晶體管Trl、Tr2。這些晶體管Trl、Tr2以串聯(lián)的方式連接，上段側(cè)的晶體管Tr I與高電壓側(cè)的電源電壓PVDD連接，下段側(cè)的晶體管Tr2與低電壓側(cè)的電源電壓PVSS連接。并且，向各個晶體管Trl、Tr2的柵極端子輸入脈沖信號。另外，從脈沖放大器118a、118b、118c向外部輸出以串聯(lián)的方式連接的晶體管Trl和晶體管Tr2之間的電壓。
[0196]這樣的脈沖放大器118a、118b、118c以如下的方式對脈沖信號進(jìn)行電壓放大。例如，假設(shè)脈沖信號成為高電平狀態(tài)。在該情況下，晶體管Trl截止，晶體管Tr2導(dǎo)通，所以脈沖放大器118a、118b、118c的輸出電壓成為低電壓側(cè)的電源電壓PVSS。另外相反，假設(shè)脈沖信號成為低電平狀態(tài)。在該情況下，晶體管Trl導(dǎo)通，晶體管Tr2截止，所以脈沖放大器118a、118b、118c的輸出電壓成為高電壓側(cè)的電源電壓PVDD。因此，若輸入反復(fù)高電平狀態(tài)和低電平狀態(tài)的脈沖信號，則從脈沖放大器118a、118b、118c輸出反復(fù)低電壓側(cè)的電源電壓PVSS和高電壓側(cè)的電源電壓PVDD的脈沖狀的電壓波形。另外，脈沖放大器118a、118b、118c只要通過在高電平狀態(tài)和低電平狀態(tài)之間切換脈沖信號，來在電源電壓PVDD與電源電壓PVSS之間切換輸出電壓就足夠。因此，如圖4中所例示的那樣并不限于使用晶體管TrU Tr2的結(jié)構(gòu)，也可以通過不同的電路結(jié)構(gòu)來構(gòu)成脈沖放大器118a、118b、118c。
[0197]如圖3所示，脈沖放大器118a對從相位變更器116a接受的脈沖信號進(jìn)行電壓放大作為第一驅(qū)動信號并輸出。另外，脈沖放大器118b對來自相位變更器116b的脈沖信號進(jìn)行電壓放大作為第二驅(qū)動信號并輸出。并且，脈沖放大器118c對來自脈沖調(diào)制器114的脈沖信號進(jìn)行電壓放大作為共用驅(qū)動信號并輸出。這里，相位變更器116a能夠?qū)拿}沖調(diào)制器114接受的脈沖信號的相位進(jìn)行變更。因此，若相位變更器116a使脈沖信號相位延遲(或者提前)，則第一驅(qū)動信號的相位也能夠相對于共用驅(qū)動信號延遲(或者提前)。同樣，若相位變更器116b使脈沖信號相位延遲(或者提前)，則第二驅(qū)動信號的相位也能夠相對于共用驅(qū)動信號延遲(或者提前)。
[0198]以以上那樣的方式生成的第一驅(qū)動信號經(jīng)由第一低通濾波器電路119a供給至振動體100的第一電極(電極104a以及電極104d)。同樣，第二驅(qū)動信號經(jīng)由第二低通濾波器電路119b供給至振動體100的第二電極(電極104b以及電極104c)。本實(shí)施例的第一低通濾波器電路119a以及第二低通濾波器電路11%由線圈L等感應(yīng)元件以及電容器C等電容元件形成。另外，共用驅(qū)動信號被保持原樣供給至振動體100的共用電極(電極104g)。
[0199]A - 2.壓電馬達(dá)的驅(qū)動原理:
[0200]如以上那樣，從驅(qū)動信號供給部110輸出的第一驅(qū)動信號被供給至振動體100的第一電極(電極104a以及電極104d)，第二驅(qū)動信號被供給至第二電極(電極104b以及電極104c)，共用驅(qū)動信號被供給至共用電極(電極104g)。而且，驅(qū)動信號供給部110能夠相對于共用驅(qū)動信號使相位不同來輸出第一驅(qū)動信號，能夠相對于共用驅(qū)動信號使相位不同來輸出第二驅(qū)動信號。在第一實(shí)施例中，通過變更相對于共用驅(qū)動信號的第一驅(qū)動信號或者第二驅(qū)動信號的相位，能夠使壓電馬達(dá)10向正轉(zhuǎn)方向或者反轉(zhuǎn)方向驅(qū)動，或停止驅(qū)動。
[0201]圖5是例示出以與共用驅(qū)動信號相同相位輸出第一驅(qū)動信號以及第二驅(qū)動信號的情況的說明圖。使用圖3如前述那樣，第一驅(qū)動信號、第二驅(qū)動信號以及共用驅(qū)動信號是使在脈沖調(diào)制器114中生成的脈沖信號分支為3個，在變更了相位后，對3個脈沖信號分別進(jìn)行電壓放大而成的信號。因此，只要不利用相位變更器116a以及相位變更器116b變更脈沖信號的相位，第一驅(qū)動信號、第二驅(qū)動信號以及共用驅(qū)動信號就能夠以相同的時間切換電源電壓PVDD和電源電壓PVSS。
[0202]因此，例如在圖5中的時刻tl，第一驅(qū)動信號、第二驅(qū)動信號以及共用驅(qū)動信號都成為電源電壓PVDD，所以成為對振動體100的電極104a?104g都施加電源電壓PVDD的狀態(tài)。該狀態(tài)與不對振動體100施加電壓的狀態(tài)相同。另外，在圖5中的時刻t2，第一驅(qū)動信號、第二驅(qū)動信號以及共用驅(qū)動信號都成為電源電壓PVSS，所以成為對振動體100的電極104a?104g都施加了電源電壓PVSS的狀態(tài)。該狀態(tài)也與未對振動體100施加電壓的狀態(tài)相同。這樣，在以與共用驅(qū)動信號相同的相位輸出第一驅(qū)動信號以及第二驅(qū)動信號期間，雖然供給了第一驅(qū)動信號、第二驅(qū)動信號以及共用驅(qū)動信號，但振動體100成為停止的狀態(tài)。
[0203]圖6是例示出使第一驅(qū)動信號的相位相對于共用驅(qū)動信號不同的情況的說明圖。另外，在圖6中，示有使第一驅(qū)動信號的相位延遲了 90度的情況，但只要使第一驅(qū)動信號與共用驅(qū)動信號的相位不同就足夠了。因此，也可以使第一驅(qū)動信號的相位相對于共用驅(qū)動信號提前，使相位不同的大小不是90度也可以。另外，關(guān)于第二驅(qū)動信號，是與共用驅(qū)動信號相同的相位。在使用圖3前述的驅(qū)動信號供給部110的相位變更器116a中變更相位，但若在相位變更器116b中不變更相位，則能夠輸出這樣的第一驅(qū)動信號、第二驅(qū)動信號以及共用驅(qū)動信號。
[0204]首先，若著眼于第二驅(qū)動信號和共用驅(qū)動信號，則它們在相同的時間切換為電源電壓PVDD和電源電壓PVSS。因此，根據(jù)與使用圖5前述的情況相同的理由，與未對第二電極(電極104b以及電極104c)施加電壓的情況相同。
[0205]接下來，若著眼于第一驅(qū)動信號和共用驅(qū)動信號，則它們切換為電源電壓PVDD和電源電壓PVSS的時間不同。因此，第一驅(qū)動信號以及共用驅(qū)動信號根據(jù)采取電源電壓PVDD或者電源電壓PVSS的哪個狀態(tài)，來產(chǎn)生4個期間。在圖6所示的例子中，在期間Pl，第一驅(qū)動信號為電源電壓PVSS，共用驅(qū)動信號為電源電壓PVDD，在期間P2，第一驅(qū)動信號和共用驅(qū)動信號都是電源電壓PVDD。另外，在期間P3，第一驅(qū)動信號為電源電壓PVDD，共用驅(qū)動信號為電源電壓PVSS，在期間P4，第一驅(qū)動信號和共用驅(qū)動信號都為電源電壓PVSS。
[0206]而且，電源電壓PVDD比電源電壓PVSS電壓高，所以在期間Pl與對第一電極(電極104a以及電極104d)施加了負(fù)的電壓的狀態(tài)相同，在期間P2與未對第一電極(電極104a以及電極104d)施加電壓的狀態(tài)相同。另外，在期間P3與施加了正的電壓的狀態(tài)相同，在期間P4與未施加電壓的狀態(tài)相同。其結(jié)果，重復(fù)期間Pl至期間P4，從而對第一電極(電極104a以及電極104d)和共用電極(電極104g)之間施加的電壓(以下，稱為“第一施加電壓”)如圖6所示，為周期性地并且階梯狀地變化的電壓。
[0207]另外，在期間Pl以及期間P3施加的正負(fù)的電壓的絕對值為電源電壓PVDD與電源電壓PVSS的電壓差。另外，如使用圖3前述的那樣，第一驅(qū)動信號實(shí)際上經(jīng)由第一低通濾波器電路119a被供給至第一電極(電極104a以及電極104d)。因此，將該階梯狀地變化的電壓通過第一低通濾波器電路119a后的波形的電壓施加給第一電極(電極104a以及電極104d)。另外，通過利用脈沖調(diào)制器114調(diào)制脈沖寬度，能夠利用第一低通濾波器電路119a除去高頻率的脈沖成分。
[0208]圖7是例示出使第二驅(qū)動信號的相位相對于共用驅(qū)動信號不同的情況的說明圖。另外，在圖7中，示有使第二驅(qū)動信號的相位延遲了 90度的情況，但只要使第二驅(qū)動信號與共用驅(qū)動信號的相位不同就足夠了。因此，也可以使第二驅(qū)動信號的相位相對于共用驅(qū)動信號提前，使相位不同的大小也可以不是90度。另外，對于第一驅(qū)動信號，是與共用驅(qū)動信號相同的相位。在使用圖3前述的驅(qū)動信號供給部110的相位變更器116a中不變更相位，若在相位變更器116b變更相位，則能夠輸出這樣的第一驅(qū)動信號、第二驅(qū)動信號以及共用驅(qū)動信號。
[0209]在圖7所示的例子中，第一驅(qū)動信號和共用驅(qū)動信號在相同的時間切換為電源電壓PVDD和電源電壓PVSS。因此，與未對第一電極(電極104a以及電極104d)施加電壓的情況相同。
[0210]另一方面，若著眼于第二驅(qū)動信號和共用驅(qū)動信號，則這些驅(qū)動信號根據(jù)采取電源電壓PVDD或者電源電壓PVSS的哪個狀態(tài)，來產(chǎn)生期間Pl?期間P4這4個期間。S卩，第二驅(qū)動信號為電源電壓PVSS而共用驅(qū)動信號為電源電壓PVDD的期間P1、第二驅(qū)動信號和共用驅(qū)動信號都為電源電壓PVDD的期間P2、第二驅(qū)動信號為電源電壓PVDD而共用驅(qū)動信號為電源電壓PVSS的期間P3、以及第二驅(qū)動信號和共用驅(qū)動信號都為電源電壓PVSS的期間P4。
[0211]而且，電源電壓PVDD —方比電源電壓PVSS電壓高，所以在期間Pl與對第二電極(電極104b以及電極104c)施加了負(fù)的電壓的狀態(tài)相同。另外，在期間P2與未對第二電極(電極104b以及電極104c)施加電壓的狀態(tài)相同，在期間P3與施加了正的電壓的狀態(tài)相同，在期間P4與未施加電壓的狀態(tài)相同。因此，重復(fù)期間Pl至期間P4，從而對第二電極(電極104b以及電極104c)與共用電極(電極104g)之間施加的電壓(以下，稱為“第二施加電壓”)如圖7所示，為周期性地并且階梯狀地變化的電壓。而且實(shí)際上，將該階梯狀地變化的電壓通過第二低通濾波器電路11%后所成的波形的電壓被施加給第二電極(電極104b以及電極104c)。另外，第二施加電壓也能夠通過利用脈沖調(diào)制器114脈沖寬度調(diào)制，利用第二低通濾波器電路11%除去高頻率的脈沖成分。
[0212]A - 3.壓電馬達(dá)的驅(qū)動方法:
[0213]圖8是為了驅(qū)動第一實(shí)施例的壓電馬達(dá)10而控制部120所執(zhí)行的壓電馬達(dá)驅(qū)動處理的流程圖。在壓電馬達(dá)驅(qū)動處理中，首先，判斷是否驅(qū)動壓電馬達(dá)10(步驟S100)。其結(jié)果，在判斷為不驅(qū)動壓電馬達(dá)10的情況下(步驟SlOO:否)，使從驅(qū)動信號供給部110輸出的第一驅(qū)動信號的相位與共用驅(qū)動信號的相位一致(步驟S112)，并且，也使第二驅(qū)動信號的相位與共用驅(qū)動信號的相位一致(步驟S114)。若控制驅(qū)動信號供給部110內(nèi)的相位變更器116a以及相位變更器116b，不變更脈沖信號的相位，則能夠使第一驅(qū)動信號以及第二驅(qū)動信號的相位與共用驅(qū)動信號的相位一致。
[0214]而且，如使用圖5前述那樣，若第一驅(qū)動信號的相位與共用驅(qū)動信號的相位一致，則與未對第一電極(電極104a以及電極104d)施加電壓的狀態(tài)相同。同樣，若第二驅(qū)動信號的相位與共用驅(qū)動信號的相位一致，則與未對第二電極(電極104b以及電極104c)施加電壓的狀態(tài)相同。因此，成為壓電馬達(dá)10的振動體100不振動，而凸部102被按壓到被驅(qū)動體的狀態(tài)。
[0215]與此相對，在判斷為驅(qū)動壓電馬達(dá)10的情況下(步驟SlOO:是)，判斷驅(qū)動方向是否是正轉(zhuǎn)方向(步驟S102)。其結(jié)果，在驅(qū)動方向?yàn)檎D(zhuǎn)方向的情況下(步驟S102:是)，使從驅(qū)動信號供給部110輸出的第一驅(qū)動信號的相位與共用驅(qū)動信號的相位不同(步驟S104)，并且，使第二驅(qū)動信號的相位與共用驅(qū)動信號的相位一致(步驟S106)。若控制驅(qū)動信號供給部HO內(nèi)的相位變更器116a使脈沖信號的相位延遲(或者提前)，則能夠使第一驅(qū)動信號的相位與共用驅(qū)動信號的相位不同。另外，若控制驅(qū)動信號供給部110內(nèi)的相位變更器116b，不變更脈沖信號的相位，則能夠使第二驅(qū)動信號的相位與共用驅(qū)動信號的相位一致。而且，如使用圖6前述的那樣，若使第一驅(qū)動信號的相位與共用驅(qū)動信號不同，使第二驅(qū)動信號的相位與共用驅(qū)動信號一致，則能夠使壓電馬達(dá)10的振動體100向正轉(zhuǎn)方向振動。
[0216]另一方面，在驅(qū)動方向不是正轉(zhuǎn)方向的情況下(步驟S102:否)，使從驅(qū)動信號供給部I1輸出的第一驅(qū)動信號的相位與共用驅(qū)動信號的相位一致(步驟S108)，并且，使第二驅(qū)動信號的相位與共用驅(qū)動信號的相位不同(步驟S110)。若控制驅(qū)動信號供給部110內(nèi)的相位變更器116a不變更脈沖信號的相位，則能夠使第一驅(qū)動信號的相位與共用驅(qū)動信號的相位一致。另外，若控制驅(qū)動信號供給部110內(nèi)的相位變更器116b，使脈沖信號的相位延遲(或者提前)，則能夠使第二驅(qū)動信號的相位與共用驅(qū)動信號的相位不同。而且，如使用圖7前述那樣，若使第一驅(qū)動信號的相位與共用驅(qū)動信號一致，使第二驅(qū)動信號的相位與共用驅(qū)動信號不同，則能夠使壓電馬達(dá)10的振動體100向反轉(zhuǎn)方向振動。
[0217]這樣在第一實(shí)施例的壓電馬達(dá)10中，從驅(qū)動信號供給部110向振動體100持續(xù)供給第一驅(qū)動信號、第二驅(qū)動信號以及共用驅(qū)動信號。而且，僅變更相對于共用驅(qū)動信號的第一驅(qū)動信號或者第二驅(qū)動信號的相位，就能夠切換壓電馬達(dá)10的停止?fàn)顟B(tài)和驅(qū)動狀態(tài)，并且能夠在驅(qū)動狀態(tài)中，將驅(qū)動方向切換為正轉(zhuǎn)方向和反轉(zhuǎn)方向。因此，不會像以往的壓電馬達(dá)那樣，需要用于切換向第一電極(電極104a以及電極104d)和第二電極(電極104b以及電極104c)的哪一個施加電壓的開關(guān)，所以能夠使驅(qū)動信號供給部110小型化。
[0218]另外，在第一實(shí)施例的壓電馬達(dá)10中，僅通過相對于共用驅(qū)動信號的相位變更從驅(qū)動信號供給部110持續(xù)輸出的第一驅(qū)動信號以及第二驅(qū)動信號的相位，就能夠切換驅(qū)動方向，所以實(shí)質(zhì)上能夠瞬間切換驅(qū)動方向。因此，不會像以往的壓電馬達(dá)那樣，每當(dāng)切換驅(qū)動方向就不能控制壓電馬達(dá)，其結(jié)果，例如能夠進(jìn)行細(xì)致地調(diào)整被驅(qū)動體的位置，或流暢地停止被驅(qū)動體等敏銳的控制。
[0219]A - 4.第一實(shí)施例的變形例:
[0220]A - 4 - 1.第一變形例:
[0221]在上述的第一實(shí)施例中，能夠變更第一驅(qū)動信號以及第二驅(qū)動信號的相對于共用驅(qū)動信號的相位，但作為變更量不變的例子進(jìn)行了說明。例如，在圖6或者圖7所示的例子中，作為使第一驅(qū)動信號或者第二驅(qū)動信號的相位相對于共用驅(qū)動信號延遲90度、或不延遲，不能夠縮小延遲角度的例子進(jìn)行了說明。但是，也可以能夠連續(xù)地或者多階段地變更第一驅(qū)動信號以及第二驅(qū)動信號的相對于共用驅(qū)動信號的相位。
[0222]圖9是能夠變更第一驅(qū)動信號的相對于共用驅(qū)動信號的相位的延遲的變形例(第一實(shí)施例的第一變形例)的說明圖。另外，在圖9中，作為使第一驅(qū)動信號的相位相對于共用驅(qū)動信號延遲的例子進(jìn)行說明，但也可以使第一驅(qū)動信號的相位相對于共用驅(qū)動信號提前。另外，在圖9