照相機638、和內置在上下方向(Z方向)上能夠移動的Z工作臺的把持裝置650。另外，在把持裝置650的前端設置有把持電子部件3的把持部652。并且，在基臺610的前面?zhèn)冗€設置有控制電子部件檢查裝置600的整體的動作的控制裝置618。另外，在本實施例中，設置于支承臺630的Y工作臺632、臂部634、X工作臺636、把持裝置650與本發(fā)明中的“電子部件搬運裝置”對應。
[0282]具有如以上那樣的結構的電子部件檢查裝置600以如下的方式進行電子部件3的檢查。首先，檢查對象的電子部件3載置于上游側工作臺612u，移動到檢查臺616的附近。接下來，移動Y工作臺632以及X工作臺636，使把持裝置650移動到載置于上游側工作臺612u的電子部件3的正上方的位置。此時，能夠使用拍攝照相機638來確認電子部件3的位置。而且，若使用內置在把持裝置650內的Z工作臺來使把持裝置650下降，利用把持部652把持電子部件3，則直接使把持裝置650移動到拍攝裝置614上，使用拍攝裝置614來確認電子部件3的姿勢。接著，使用內置于把持裝置650的微調機構來調整電子部件3的姿勢。而且，在使把持裝置650移動到檢查臺616上后，移動內置于把持裝置650的Z工作臺來將電子部件3設置在檢查臺616上。使用把持裝置650內的微調機構來調整電子部件3的姿勢，所以能夠在檢查臺616的正確的位置設置電子部件3。而且，若使用檢查臺616，電子部件3的電特性的檢查結束，再次，在下一次從檢查臺616取下電子部件3后，移動Y工作臺632以及X工作臺636，使把持裝置650移動到下游側工作臺612d上，將電子部件3置于下游側工作臺612d。之后，移動下游側工作臺612d，將檢查結束的電子部件3搬運到規(guī)定位置。
[0283]圖24是內置于把持裝置650的微調機構的說明圖。如圖示那樣在把持裝置650內，設置有與把持部652連接的旋轉軸654、以能夠旋轉的方式安裝有旋轉軸654的微調板656等。另外，微調板656被未圖示的引導機構引導，并且能夠在X方向以及Y方向上移動。
[0284]這里，如在圖24中標注斜線地表示那樣，朝向旋轉軸654的端面安裝由旋轉方向用的壓電馬達10 Θ，壓電馬達?ο Θ的凸部(省略圖示)被按壓于旋轉軸654的端面。因此，通過使壓電馬達10 Θ動作，能夠使旋轉軸654(以及把持部652)向Θ方向高精度地旋轉任意的角度。另外，朝向微調板656設置有X方向用的壓電馬達1x和Y方向用的壓電馬達10y，各個凸部(省略圖示)被按壓于微調板656的表面。因此，通過使壓電馬達1x動作，能夠使微調板656 (以及把持部652)向X方向高精度地移動任意的距離，同樣，通過使壓電馬達1y動作，能夠使微調板656 (以及把持部652)向Y方向高精度地移動任意的距離。因此，圖23的電子部件檢查裝置600通過使壓電馬達10 Θ、壓電馬達10x、壓電馬達1y動作，能夠對利用把持部652把持的電子部件3的姿勢進行微調。另外，在該應用例中，旋轉軸654與本發(fā)明中的“轉動體”對應，微調板656與本發(fā)明中的“直動體”對應。
[0285]圖25是例示出設置有本實施例的壓電馬達10而構成的送液泵700的說明圖。圖25(a)示有俯視送液泵700的俯視圖，圖25(b)示有側面視送液泵700的剖視圖。如圖示那樣送液泵700在矩形形狀的外殼702內以能夠旋轉的方式設置有圓板形狀的轉子704 (移動部)，在外殼702與轉子704之間夾持有藥液等液體在內部流通的管706 (液體管)。另夕卜,管706的一部分被設置于轉子704的滾珠708 (封閉部)壓扁而成為封閉的狀態(tài)。因此若轉子704旋轉，則滾珠708壓扁管706的位置移動，所以輸送管706的液體。而且，若在將本實施例的壓電馬達10的凸部102被按壓于轉子704的側面的狀態(tài)下進行設置，則能夠驅動轉子704。這樣，能夠高精度輸送微少的量，并且能夠實現(xiàn)小型的送液泵700。另外，在該應用例中，轉子704與本發(fā)明中的“轉動體”對應。
[0286]圖26是例示出設置有本實施例的壓電馬達10的打印裝置800的立體圖。圖示的打印裝置800是向打印介質2的表面噴射墨來打印圖像的所謂的噴墨打印機。打印裝置800為大致箱形的外觀形狀，在前面的幾乎中央設置有排紙托盤801、排出口 802、多個操作按鈕805。另外，在背面?zhèn)仍O置有設置卷成輥狀的打印介質2 (卷筒紙804)的紙張支架803。若在紙張支架803設置卷筒紙804并操作操作按鈕805，則吸入設置于紙張支架803的卷筒紙804，在打印裝置800的內部在打印介質2的表面打印圖像。另外，在卷筒紙804被安裝在打印裝置800的內部的后述的切斷機構830切斷后，從排出口 802排出。
[0287]在打印裝置800的內部設置有在打印介質2上在主掃描方向往復移動的打印頭820、引導打印頭820的朝向主掃描方向的移動的引導導軌810。另外，圖示的打印頭820由向打印介質2上噴射墨的印字部822、用于使打印頭820在主掃描方向掃描的掃描部824等構成。在印字部822的底面?zhèn)?朝向打印介質2的一側)設置有多個噴射噴嘴，能夠從噴射噴嘴朝向打印介質2噴射墨。另外，在掃描部824安裝有壓電馬達10m、10s。壓電馬達1m的凸部(省略圖示)被按壓到引導導軌810。因此，通過使壓電馬達1m動作，從而能夠使打印頭820向主掃描方向移動。另外，壓電馬達1s的凸部102被按壓到印字部822。因此，通過使壓電馬達1s動作，從而能夠使印字部822的底面?zhèn)冉咏蛴〗橘|2，或遠離打印介質2。另外，在打印裝置800還安裝有用于切斷卷筒紙804的切斷機構830。切斷機構830具備在前端安裝有紙張刀具836的刀具支架834、和貫通刀具支架834向主掃描方向延伸配置的導軸832。在刀具支架834內安裝有壓電馬達10c，壓電馬達1c的未圖示的凸部被按壓到導軸832。因此，若使壓電馬達1c動作則刀具支架834沿著導軸832在主掃描方向上移動，紙張刀具836切斷卷筒紙804。另外，為了使打印介質2送紙也能夠使用壓電馬達10c。另外，在該應用例中，引導導軌810、導軸832、印字部822與本發(fā)明中的“直動體”對應。
[0288]圖27是例示出設置有本實施例的壓電馬達10的電子表900的內部構造的說明圖。在圖27中，示有從與電子表900的時刻顯示側相反的一側(里蓋側)觀察到的俯視圖。在圖27所例示的電子表900的內部，具備圓板形狀的旋轉圓板902、將旋轉圓板902的旋轉傳遞到顯示時刻的指針(省略圖示)的齒輪系904、用于驅動旋轉圓板902的壓電馬達10、電力供給部906、水晶片908、以及IC910。另外，電力供給部906、水晶片908、IC910安裝于未圖示的電路基板。齒輪系904包含多個齒輪、未圖示的棘輪而構成。另外,為了避免圖示繁瑣，在圖27中，用細點劃線表示連結齒輪的齒頂?shù)木€，用粗實線表示連結齒輪的齒根的線。因此，由粗實線以及細的點劃線構成的二重的圓形表示齒輪。另外，表示齒頂?shù)募毜狞c劃線不顯示整個圓周上，而僅顯示與其他的齒輪嚙合的部分的周邊。
[0289]在旋轉圓板902同軸地設置有較小的齒輪902g，該齒輪902g與齒輪系904嚙合。因此旋轉圓板902的旋轉以規(guī)定的比率減速并且通過齒輪系904傳遞。而且，該齒輪的旋轉傳遞至表示時刻的指針來顯示時刻。而且，若在將本實施例的壓電馬達10的凸部102被按壓于旋轉圓板902的側面的狀態(tài)下進行設置，則能夠使旋轉圓板902旋轉。另外，在該應用例中，旋轉圓板902與本發(fā)明中的“轉動體”對應。
[0290]圖28是例示出設置有本實施例的壓電馬達10的投影裝置950的說明圖。如圖示那樣投影裝置950具備包含光學透鏡的投影部952，通過投影來自內置的光源(省略圖示)的光來顯示圖像。而且，也可以使用本實施例的壓電馬達10來驅動用于對準投影部952所包含的光學透鏡的焦點的調整機構954 (調整部)。若使用本實施例的壓電馬達10，則能夠進行敏銳的焦點對準。另外，在未投影來自光源的光期間，利用鏡頭蓋956覆蓋投影部952的光學透鏡，從而能夠防止給光學透鏡帶來損傷。為了用于開閉該鏡頭蓋956，也能夠使用本實施例的壓電馬達10。另外，在該應用例中，調整機構954、鏡頭蓋956與本發(fā)明中的“直動體”對應。
[0291]以上，對本實施例的壓電馬達10進行了說明，但本發(fā)明并不限于上述的實施例、變形例、應用例，能夠在不脫離其主旨的范圍內以各種方式來實施。
[0292]符號說明
[0293]10…壓電馬達;100…振動體;102…凸部；104a...電極；104b...電極；104c...電極;104d...電極;104e...電極;104g...電極；110…驅動信號供給部；112…驅動波形產生器；114…脈沖調制器；116a...相位變更器；116b...相位變更器；116d...相位變更器；118a...脈沖放大器；118b…脈沖放大器；118c…脈沖放大器；118d…脈沖放大器；119a…第一低通濾波器電路；119b...第二低通濾波器電路；119d...第三低通濾波器電路；120…控制部；400…機器人手；401…工具;402…基臺;403…指部;404…手腕;410…臂;412…連桿部；420…關節(jié)部;450…機器人;460…機器人;462…頭部；463…照相機；464…主體部；466…控制部；468…腳輪；500…手指輔助裝置；502…安裝部；510…驅動單元；511…第一部件；511b…凸起；12…第二部件；513…轉子；514…第一平齒輪；515…第二平齒輪；516…連結螺釘;520…指尖單元;600…電子部件檢查裝置;610…基臺;612d…下游側工作臺;612u...上游側工作臺；614…拍攝裝置；616…檢查臺；618…控制裝置；630…支承臺；634…臂部；638…拍攝照相機;650…把持裝置;652…把持部；654…旋轉軸；656…微調板;700…送液泵;702…外殼;704…轉子;706…管;708…滾珠;800…打印裝置;801…排紙托盤;802…排出口 ;803…紙張支架;804…卷筒紙;805…操作按鈕；810…引導導軌；820…打印頭；822…印字部；824…掃描部；830…切斷機構；832…導軸；834…刀具支架；836…紙張刀具；900…電子表；902…旋轉圓板;902g…齒輪;904…齒輪系;906…電力供給部;908…水晶片;910…IC ;950…投影裝置；952…投影部；954…調整機構；956…鏡頭蓋。
【主權項】
1.一種壓電馬達，其特征在于，具備: 振動體，其包含壓電材料； 共用電極，其配置于所述振動體的一方的面； 第一電極以及第二電極，它們配置于與配置有所述共用電極的面不同的面；以及驅動信號供給部，其向所述共用電極供給共用驅動信號，向所述第一電極供給第一驅動信號，向所述第二電極供給第二驅動信號， 其中，所述驅動信號供給部能夠將所述第一驅動信號以相對于所述共用驅動信號相位不同的方式來供給，且能夠將所述第二驅動信號以相對于所述共用驅動信號相位不同的方式來供給。
2.根據(jù)權利要求1所述的壓電馬達，其特征在于， 所述第一電極以及所述第二電極配置于與配置有所述共用電極的面相反側的面。
3.根據(jù)權利要求1或者2所述的壓電馬達，其特征在于， 所述第一驅動信號的波形以及所述第二驅動信號的波形與所述共用驅動信號的波形相同。
4.根據(jù)權利要求1?3中任意一項所述的壓電馬達，其特征在于， 所述驅動信號供給部能夠以相同的相位供給所述共用驅動信號、所述第一驅動信號、以及所述第二驅動信號。
5.根據(jù)權利要求1?4中任意一項所述的壓電馬達，其特征在于， 所述第一電極與第一低通濾波器電路連接， 所述第二電極與第二低通濾波器電路連接。
6.根據(jù)權利要求1?5中任意一項所述的壓電馬達，其特征在于， 所述驅動信號供給部能夠供給與所述共用驅動信號相位不同，但相互為相同的相位的所述第一驅動信號以及所述第二驅動信號。
7.根據(jù)權利要求1?6中任意一項所述的壓電馬達，其特征在于， 所述驅動信號供給部能夠變更所述第一驅動信號相對于所述共用驅動信號的相位，且能夠變更所述第二驅動信號相對于所述共用驅動信號的相位。
8.根據(jù)權利要求1?7中任意一項所述的壓電馬達，其特征在于， 在與配置有所述共用電極的面不同的面設置有第三電極， 所述驅動信號供給部能夠向所述第三電極供給相對于所述共用驅動信號相位不同的第二驅動/[目號。
9.根據(jù)權利要求1?8中任意一項所述的壓電馬達，其特征在于， 被驅動體是轉動體。
10.根據(jù)權利要求1?9中任意一項所述的壓電馬達，其特征在于， 被驅動體是直動體。
11.一種機器人,其特征在于,具備: 臂部，其設置有能夠轉動的關節(jié)部； 手部，其設置于所述臂部；以及 主體部，其設置有所述臂部， 該機器人具有壓電馬達，該壓電馬達設置于所述關節(jié)部使所述關節(jié)部彎曲或者旋轉驅動， 所述壓電馬達具備: 振動體，其包含壓電材料； 共用電極，其配置于所述振動體的一方的面； 第一電極以及第二電極，它們配置于與配置有所述共用電極的面不同的面；以及驅動信號供給部，其向所述共用電極供給共用驅動信號，向所述第一電極供給第一驅動信號，向所述第二電極供給第二驅動信號， 所述驅動信號供給部能夠將所述第一驅動信號以相對于所述共用驅動信號相位不同的方式來供給，且能夠將所述第二驅動信號以相對于所述共用驅動信號相位不同的方式來供給。
12.—種壓電馬達，其特征在于， 具備振動體，該振動體設置有共用電極、第一電極以及第二電極，而彎曲振動， 所述壓電馬達能夠向所述第一電極供給與所述共用電極不同的相位的驅動信號，能夠向所述第二電極供給與所述共用電極不同的相位的驅動信號。
【專利摘要】本發(fā)明提供壓電馬達。向振動體的第一電極供給第一驅動信號，向振動體的第二電極供給第二驅動信號，向振動體的共用電極供給共用驅動信號。而且，能夠相對于共用驅動信號變更第一驅動信號的相位，能夠相對于共用驅動信號變更第二驅動信號的相位。這樣，通過使第一驅動信號或者第二驅動信號的任意的相位與共用驅動信號不同，能夠切換壓電馬達的驅動方向。另外，僅變更相位，無需開關，而能夠縮小驅動電路，并且，也不會在切換驅動方向的瞬間不能控制壓電馬達，所以也能夠使用壓電馬達來進行敏銳的控制。
【IPC分類】H02N2-00
【公開號】CN104601035
【申請?zhí)枴緾N201410587536
【發(fā)明人】浦野治
【申請人】精工愛普生株式會社
【公開日】2015年5月6日
【申請日】2014年10月28日
【公告號】US20150114164