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      溫度補償型水晶振蕩器的制造方法_4

      文檔序號:8321753閱讀:來源:國知局
      因而從過孔導體114的外周邊緣與基板IlOa之間的界面剝離的現(xiàn)象,并可提高基板IlOa的氣密性。
      [0059]〈第2實施方式〉
      以下,針對第2實施方式及其變形例,參照圖7?圖10進行說明。需要說明的是,在這些圖中,出于明確圖相互之間的關系等目的,方便起見,添加了正交坐標系xyz。X軸、y軸及z軸是基于部件形狀等,為方便而定義,并非代表壓電體(水晶)的電氣軸、機械軸以及光軸。
      [0060](水晶振蕩器的結構)
      圖7是第2實施方式所述水晶振蕩器201 (以下省略“水晶”)的概要結構的分解立體圖。圖8是沿圖7中VII1-VIII線的截面圖。
      [0061 ] 振蕩器201主要是安裝框體260的結構與第I實施方式不同,其他與第I實施方式基本相同。需要說明的是,在本實施方式的說明中,包含封裝110、水晶元件120及蓋體130的范圍有時被稱為“振子203”進行參照。此外,針對安裝框體,將絕緣體部分與絕緣體部分及導體部分的組合明確區(qū)分加以說明。具體而言,安裝框體260是指包含絕緣基板264、外部端子162以及接合焊盤261等的部分。
      [0062]安裝框體260例如可采用與硬性印刷布線基板同樣的結構。例如,安裝框體260具有絕緣基板264、設置于絕緣基板264的各種導體(例如金屬)、以及用于減少各種導體短路情況的阻焊劑265。各種導體是指,例如用于將振子203安裝于安裝框體260的多個(本實施方式中為4個)接合焊盤261、用于將安裝框體260安裝于未圖示的電路基板的多個(本實施方式中為4個)的外部端子162、以及連接多個接合焊盤261與多個外部端子162的多個(本實施方式中為4個)通孔導體263 (圖7)。
      [0063]絕緣基板264例如由玻璃環(huán)氧材料構成。絕緣基板264 (安裝框體260)具有第I主面264a、位于其背面的第2主面264b、從第I主面264a向第2主面264b貫通的開口部264h (第二凹部K2)。絕緣基板264及開口部264h的平面形狀可適當設定。例如,絕緣基板264的外形為矩形。此外,例如開口部264h的形狀為角部經過倒角的矩形。
      [0064]多個接合焊盤261例如圍繞開口部264h,以層狀設置于第I主面264a的4個角偵U。多個外部端子162例如圍繞開口部264h,以層狀設置于第2主面264b的4個角。通孔導體263例如位于比多個接合焊盤261更靠近第I主面264a的4個角側的位置,以層狀設置于從第I主面264a向第2主面264b貫通絕緣基板264的通孔的內周面。
      [0065]接合焊盤261與外部端子162的平面形狀、以及將它們與通孔導體263連接的連接導體的形狀可適當設定。本實施方式中,接合焊盤261與外部端子162為矩形,它們與通孔周圍的圓形焊盤直接連接。需要說明的是,由于開口部264的角部經過倒角,因此,多個接合焊盤261與外部端子162在開口部264h側的部分(角部)比開口部264h的角部未被倒角時假想的角部更靠近開口部264h偵U。
      [0066]阻焊劑265通常由包含顏料等的熱硬化性樹脂(例如環(huán)氧樹脂)構成。但在本申請中,阻焊劑的術語泛指由絕緣性樹脂構成的皮膜,例如亦可不包含顏料。阻焊劑265例如使多個接合焊盤261露出,并覆蓋第I主面264a。需要說明的是,阻焊劑265亦可使外部端子162露出并覆蓋第2主面264b,也可覆蓋絕緣基板264的側面。
      [0067]振子203通過第一導電性接合材料170a (導電性接合材料170、凸焊點、圖8)使設置于封裝I1的多個接合端子112與接合焊盤261接合,從而固定于安裝框體260并與其電性連接。接合焊盤261以包圍開口部264h的方式配置,因此振子203以從第I主面264a側覆蓋開口部264h的方式被安裝于安裝框體260。需要說明的是,振子203的面積例如比開口部264h的面積大,在俯視時,開口部264h在振子203之中。
      [0068]并且,安裝在振子203的由接合焊盤261包圍的區(qū)域之內的集成電路元件150被收納在開口部264h中。圖8中,集成電路元件150的頂面(z方向上的負側面)比第2主面264b更靠近內部側(z方向上的正側),但該頂面亦可與第2主面264b大致在一個平面上。
      [0069]如圖8所示,集成電路元件150與振子203之間填充有絕緣性樹脂180 (底部填充物)。絕緣性樹脂180例如由熱硬化性樹脂(例如環(huán)氧樹脂)構成。絕緣性樹脂180可含有熱膨脹系數(shù)低于樹脂的填料(例如由Si02構成)。絕緣性樹脂180可設置成將集成電路元件150的側面覆蓋至適當高度,亦可設置成不僅覆蓋側面,同時將集成電路元件150的頂面也覆蓋。
      [0070]基板IlOa經由相當于接合端子112、第一導電性接合材料170a以及接合焊盤261厚度的間隙,與安裝框體260的絕緣基板264相對。絕緣性樹脂180從開口部264h內向基板IlOa與絕緣基板264之間的間隙擴展。
      [0071]圖9是安裝框體260的第I主面264a側的平面圖。
      [0072]如圖7及圖9所示,安裝框體260上,除了接合焊盤261的配置區(qū)域之外,還設有阻焊劑265的非配置區(qū)域。具體如下。
      [0073]首先,在開口部264h的內周面,具有沒有配置阻焊劑265的第I非配置區(qū)域Rl。第I非配置區(qū)域Rl例如為開口部264h的整個內周面。
      [0074]并且,第I主面264a具有連結開口部264h與接合焊盤261的第2非配置區(qū)域R2、與接合焊盤261鄰接并包圍接合焊盤261的第3非配置區(qū)域R3、以及與開口部264h鄰接并包圍開口部264h的第4非配置區(qū)域R4,以作為沒有配置阻焊劑265的非配置區(qū)域。
      [0075]第2非配置區(qū)域R2在本實施方式中,由第3非配置區(qū)域R3與第4非配置區(qū)域R4的交叉部構成(包含于第3非配置區(qū)域R3與第4非配置區(qū)域R4。)。
      [0076]第3非配置區(qū)域R3例如以大致固定的寬度形成為沿接合焊盤261的邊緣部延伸的形狀(槽狀)。第3非配置區(qū)域R3例如包圍除接合焊盤261與通孔導體263的連接部之外的接合焊盤261。需要說明的是,這里所說的“包圍”例如只要第3非配置區(qū)域R3跨過接合焊盤261邊緣部的一半以上即可。
      [0077]第4非配置區(qū)域R4例如以大致固定的寬度形成為沿開口部264h的邊緣部延伸的形狀(槽狀)。該延伸的形狀可如虛線那樣是分散的。第4非配置區(qū)域R4例如將開口部264h的整體包圍。這里所說的“包圍”只要一個或多個第4非配置區(qū)域R4跨過開口部264h邊緣部的一半以上,或以120°以下的中心角對開口部264h的邊緣部進行至少3等分時,第4非配置區(qū)域R4位于分割得到的各區(qū)間的至少一部分即可。
      [0078]第2非配置區(qū)域R2?第4非配置區(qū)域R4的寬度可適當設定。例如,將其寬度設為30 μm以上200 μm以下。其寬度可小于阻焊劑265的厚度,亦可比其大。
      [0079]圖10(a)是圖8中區(qū)域X的放大圖。
      [0080]阻焊劑265例如形成為比接合焊盤261 (以及其他第I主面264a上的導電層)厚。例如,接合焊盤261的厚度在10 μm以上40 μm以下,而阻焊劑265的厚度比其厚5μπι以上,為15 μ m以上100 μπι以下。
      [0081]如上所述,絕緣性樹脂180從開口部264h內向基板IlOa與安裝框體260的絕緣基板264之間的間隙擴展。更具體而言,在第2非配置區(qū)域R2?第4非配置區(qū)域R4,絕緣性樹脂180在基板IlOa與絕緣基板264之間擴展,并緊密貼合于這些部件。進而,絕緣性樹脂180也與接合焊盤261、第一導電性接合材料170a以及接合端子112緊密貼合。此外,雖未特別圖示,但絕緣性樹脂180亦可在阻焊劑265與基板IlOa之間擴展,并緊密貼合于這些部件。對于將第二凹部K2與外部連通的封裝110與安裝框體260之間的間隙,可完全堵塞,也可不元全堵塞。
      [0082](水晶振蕩器的制造方法)
      以下說明具有上述結構的水晶振蕩器的制造方法。
      [0083]首先,準備圖7的分解立體圖中所示的各個部件,即安裝框體260、集成電路元件150、封裝110、水晶元件120及蓋體130。除具體的形狀等外,這些各部件的制造方法可與公知的方法以及第I實施方式同樣。
      [0084]然后,將各部件接合。即,將水晶元件120與封裝110接合,將蓋體130與封裝110接合,將集成電路元件150與封裝110接合,并將封裝110與安裝框體260接合。
      [0085]至于接合順序,只要蓋體130與封裝110的接合在水晶元件120與封裝110的接合之后,則無論采用怎樣的接合順序均可。此外,例如,經由測定焊盤119(與集成電路元件150重疊)檢查水晶元件120的特性,并據(jù)此調整激振用電極122的重量時,需使集成電路元件150與封裝110的接合在水晶元件120與封裝110的接合之后。
      [0086]然后,使未硬化狀態(tài)的絕緣性樹脂180經由開口部264h,填充于集成電路元件150與振子203之間。填充例如可通過點膠機進行。
      [0087]此時,處于未硬化狀態(tài)的絕緣性樹脂180相對于絕緣基板264 (第I主面264a)的浸潤性比其相對于阻焊劑265的浸潤性高。及/或,在阻焊劑265的非配置區(qū)域,在第I主面264a與阻焊劑265的側面所形成的角部、或第I主面264a與阻焊劑265的2個側面所構成的槽中,會產生吸引阻焊劑265的毛細現(xiàn)象。結果,相比阻焊劑265上,絕緣性樹脂180更優(yōu)先向第2非配置區(qū)域R2?第4非配置區(qū)域R4上擴展。
      [0088]然后,在常溫的氣氛下,通過回流爐等進行加熱,使絕緣性樹脂180硬化。
      [0089](第二變形例)
      圖10(b)是相當于表示第二變形例的圖10(a)的截面圖。
      [0090]第二變形例中,雖然形成了第I非配置區(qū)域R1,但未形成2非配置區(qū)域R2?第4非配置區(qū)域R4。此時,當未硬化狀態(tài)的絕緣性樹脂180被供給至開口部264h時,位于開口部264h —側的阻焊劑265會起到堤壩的作用,阻止絕緣性樹脂180沿第I主面264a流動。結果,絕緣性樹脂180不能到達接合焊盤261。
      [0091]如上所述,本實施方式中,振蕩器I具有:安裝框體260,其具有從第I主面264a朝向第2主面264b貫通的開口部264h ;振子203,其以覆蓋開口部264h的方式安裝于第I主面264a ;以及集成電路元件150,其配置于開口部264h內,并安裝于振子203。安裝框體260具有:絕緣基板264,其具有第I主面264a、第2主面264b、以及開口部264h ;接合焊盤261,其設置于第I主面264a,用于安裝振子203 ;以及阻焊劑265,其使接合焊盤261露出,并覆蓋絕緣基板264。在開口部264h的內周面,具有沒有配置阻焊劑265的第I非配置區(qū)域Rl0
      [0092]因此,例如可通過振子203的封裝110與安裝框體260的組合,構成振蕩器201的封裝。其結果,例如通過變更
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