24]首先，使用圖1，概略地說(shuō)明裸片供給裝置11的結(jié)構(gòu)。
[0025]裸片供給裝置11具備料倉(cāng)保持部22 (盤(pán)塔)、托盤(pán)拉出臺(tái)23、XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)25和頂起單元28(參照?qǐng)D2)等，將托盤(pán)拉出臺(tái)23設(shè)置成插入于元件安裝機(jī)(未圖示)的狀態(tài)。
[0026]在裸片供給裝置11的料倉(cāng)保持部22內(nèi)以能夠上下移動(dòng)的方式收納的料倉(cāng)(未圖示)中，安裝有晶片張?jiān)O(shè)體30的晶片托盤(pán)32裝載多層，在生產(chǎn)中從料倉(cāng)將晶片托盤(pán)32拉出到托盤(pán)拉出臺(tái)23上。如圖3所示，晶片張?jiān)O(shè)體30是將粘貼有將晶片切割成棋盤(pán)格狀而形成的裸片31的可伸縮的切割片34以擴(kuò)展的狀態(tài)安裝在具有圓形的開(kāi)口部的切割框33上的結(jié)構(gòu)，該切割框33通過(guò)螺紋固定等方式安裝于托盤(pán)主體35。
[0027]頂起單元28 (參照?qǐng)D2)以能夠在晶片托盤(pán)32的切割片34下方的空間區(qū)域內(nèi)沿XY方向移動(dòng)的方式構(gòu)成。并且，利用頂起筒37的頂起銷(xiāo)39 (參照?qǐng)D4、圖5)將切割片34中的要拾取(吸附)的裸片31的粘貼部分從其下方局部頂起，從而使該裸片31的粘貼部分從切割片34局部剝離，而使裸片31上浮成容易拾取的狀態(tài)。
[0028]該頂起單元28構(gòu)成為以伺服馬達(dá)(未圖示)作為驅(qū)動(dòng)源使頂起單元28整體上下移動(dòng)。在裸片拾取動(dòng)作時(shí)，當(dāng)頂起單元28上升而使頂起筒37的上表面上升至與晶片托盤(pán)32的切割片34大致接觸的預(yù)定片吸附位置時(shí)，由止動(dòng)機(jī)構(gòu)(未圖示)使頂起單元28的上升停止，當(dāng)使上升動(dòng)作進(jìn)一步繼續(xù)時(shí)，頂起銷(xiāo)39 (參照?qǐng)D4、圖5)從頂起筒37的上表面向上方突出，將切割片34中的要拾取的裸片31的粘貼部分頂起。在這種情況下，通過(guò)調(diào)整作為驅(qū)動(dòng)源的伺服馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)量，能夠調(diào)整頂起銷(xiāo)39的頂起高度位置(頂起量)。
[0029]如圖1所示，在XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)25組裝吸附頭41和相機(jī)42，由該XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)25使吸附頭41和相機(jī)42 —體地沿XY方向移動(dòng)。吸附切割片34上的裸片31的吸嘴43 (參照?qǐng)D4、圖5)以能夠上下移動(dòng)的方式設(shè)于吸附頭41。相機(jī)42通過(guò)從上方拍攝切割片34上的裸片31并對(duì)其拍攝圖像進(jìn)行圖像處理，能夠識(shí)別要吸附于吸嘴43的裸片31的位置。
[0030]裸片供給裝置11的控制裝置(控制單元)也作為圖像處理單元而發(fā)揮作用，對(duì)由相機(jī)42拍攝切割片34上的裸片31中的要吸附的裸片31而得到的圖像進(jìn)行處理，而識(shí)別該裸片31的位置，確定該裸片31的頂起位置和吸附位置，如圖5所示，利用頂起筒37的頂起銷(xiāo)39將切割片34中的要拾取(吸附)的裸片31的粘貼部分從其下方局部頂起，從而使該裸片31的粘貼部分從切割片34局部剝離，使裸片31上浮成容易拾取的狀態(tài)，并將該裸片31吸附于吸嘴43而進(jìn)行拾取。并且，以進(jìn)行了本次吸附動(dòng)作的裸片31的識(shí)別位置為基準(zhǔn)推定下一個(gè)進(jìn)行吸附的裸片(以下稱(chēng)作“下一個(gè)吸附裸片”)31的位置，以所推定的下一個(gè)吸附裸片31的位置為目標(biāo)拍攝裸片位置，由相機(jī)42拍攝該下一個(gè)吸附裸片31，識(shí)別該下一個(gè)吸附裸片31的位置，而執(zhí)行上述的頂起動(dòng)作和吸附動(dòng)作，通過(guò)反復(fù)進(jìn)行這樣的處理，以預(yù)定順序吸附切割片34上的裸片31。
[0031]一般，由于一張晶片中包含不合格裸片，所以在晶片制造公司中基于裸片檢查結(jié)果來(lái)生成表示切割后的晶片的各位置的裸片31是否合格的晶片圖數(shù)據(jù)，將該晶片圖數(shù)據(jù)與晶片一起提供給裸片安裝基板制造公司。在裸片安裝基板制造公司中，使用裸片供給裝置11，依據(jù)晶片圖數(shù)據(jù)，從晶片僅依次拾取合格裸片(合格芯片)并安裝于基板。
[0032]如此，在使用晶片圖數(shù)據(jù)的情況下，需要使實(shí)際的晶片的各位置的裸片31是否合格與晶片圖數(shù)據(jù)準(zhǔn)確對(duì)應(yīng)。
[0033]但是，由于將粘貼有被切割的晶片的切割片34擴(kuò)展而安裝于切割框33，所以有時(shí)會(huì)因切割片34的不均勻的擴(kuò)展而成為裸片31的排列偏移的狀態(tài)。在這種情況下，如圖6、圖7所示，當(dāng)裸片31的排列中不合格裸片A、沒(méi)有裸片的區(qū)域連續(xù)存在時(shí)，從進(jìn)行了本次吸附動(dòng)作的裸片31 (a)的位置至下一個(gè)進(jìn)行吸附的合格裸片31(b)的位置的間隔變長(zhǎng)，裸片31的排列的偏移的影響變大。因此，如圖7所示，在裸片31的排列偏移的情況下，當(dāng)距離以進(jìn)行了本次吸附動(dòng)作的裸片31 (a)的識(shí)別位置為基準(zhǔn)而推定的下一個(gè)吸附裸片31 (b)的位置的間隔變長(zhǎng)時(shí)，所推定的下一個(gè)吸附裸片31(b)有時(shí)成為從正確的下一個(gè)吸附裸片31(c)的位置偏移的位置的裸片，實(shí)際的晶片的各位置的裸片31是否合格與晶片圖數(shù)據(jù)的對(duì)應(yīng)關(guān)系有時(shí)偏移。其結(jié)果是，合格裸片31無(wú)法以正確的吸附順序進(jìn)行吸附，或者將不合格裸片A、沒(méi)有裸片的區(qū)域錯(cuò)誤地推定為下一個(gè)吸附裸片而進(jìn)行拍攝。
[0034]作為該對(duì)策，在本實(shí)施例中，如圖6、圖7所示，在切割片34上的裸片31的排列中以預(yù)定間隔配置能夠圖像識(shí)別的多個(gè)基準(zhǔn)裸片45，在從進(jìn)行了本次吸附動(dòng)作的裸片31(a)的位置到所推定的下一個(gè)吸附裸片31(b)的位置的間隔為預(yù)定值以上的情況下，在識(shí)別下一個(gè)吸附裸片31(b)的位置的基礎(chǔ)上，還從多個(gè)基準(zhǔn)裸片45中選擇接近該下一個(gè)吸附裸片31 (b)的基準(zhǔn)裸片45，由相機(jī)42拍攝該基準(zhǔn)裸片45并識(shí)別該基準(zhǔn)裸片45的位置，基于該基準(zhǔn)裸片45的識(shí)別位置與該下一個(gè)吸附裸片31(b)的識(shí)別位置的位置關(guān)系(后者相對(duì)于前者的相對(duì)位置關(guān)系)，來(lái)判定該下一個(gè)吸附裸片31 (b)的識(shí)別位置是否為正確的下一個(gè)吸附裸片31(c)的位置，在判定為該下一個(gè)吸附裸片31(b)的識(shí)別位置是正確的下一個(gè)吸附裸片31 (c)的位置的情況下，基于該下一個(gè)吸附裸片31(b)的識(shí)別位置來(lái)執(zhí)行頂起動(dòng)作和吸附動(dòng)作，在判定為該下一個(gè)吸附裸片31(b)的識(shí)別位置不是正確的下一個(gè)吸附裸片31(c)的位置的情況下，以上述基準(zhǔn)裸片45的識(shí)別位置為基準(zhǔn)重新推定下一個(gè)進(jìn)行吸附的裸片31(c)的位置并由相機(jī)42拍攝該裸片31(c)，識(shí)別該裸片31(c)的位置，而執(zhí)行頂起動(dòng)作和吸附動(dòng)作。
[0035]以上說(shuō)明的本實(shí)施例的裸片供給裝置11的控制是由裸片供給裝置11的控制裝置(控制單元)依據(jù)圖8的裸片供給裝置控制程序來(lái)執(zhí)行的。在裸片供給裝置11的控制裝置中設(shè)有存儲(chǔ)裝置(存儲(chǔ)單元)，該存儲(chǔ)裝置存儲(chǔ)有表示切割片34上的各位置的裸片31是否合格、沒(méi)有裸片31的位置和基準(zhǔn)裸片45的位置的晶片圖數(shù)據(jù)。圖8的裸片供給裝置控制程序在裸片供給裝置11的工作中被執(zhí)行，也作為權(quán)利要求中所稱(chēng)的“吸附順序確定單元”、“圖像處理單元”以及“下一個(gè)吸附裸片位置推定單元”而發(fā)揮作用。
[0036]當(dāng)圖8的裸片供給裝置控制程序被啟動(dòng)時(shí)，首先在步驟101中，對(duì)由相機(jī)42拍攝最初吸附的裸片31所得到的圖像進(jìn)行處理，而識(shí)別該裸片31的位置。之后，進(jìn)入到步驟102，基于該裸片31的識(shí)別位置來(lái)確定該裸片31的頂起位置和吸附位置，執(zhí)行該裸片31的頂起動(dòng)作和吸附動(dòng)作。
[0037]之后，進(jìn)入到步驟103，參照晶片圖數(shù)據(jù)，以進(jìn)行了本次吸附動(dòng)作的裸片31的識(shí)別位置為基準(zhǔn)而推定下一個(gè)進(jìn)行吸附的裸片(下一個(gè)吸附裸片)31的位置。此時(shí)，參照晶片圖數(shù)據(jù)，從本次的吸附裸片31(a)跳過(guò)不合格裸片A、沒(méi)有裸片31的區(qū)域，將下一個(gè)合格裸片的位置作為下一個(gè)吸附裸片31 (b)。之后，進(jìn)入到步驟104，將所推定的下一個(gè)吸附裸片31 (b)的位置作為目標(biāo)拍攝裸片位置，由相機(jī)42拍攝該下一個(gè)吸附裸片31 (b)，識(shí)別該下一個(gè)吸附裸片31(b)的位置。
[0038]之后，進(jìn)入到步驟105，判定本次的吸附裸片31 (a)與下一個(gè)吸附裸片31 (b)之間的間隔是否為預(yù)定值以上。在此，“預(yù)定值”只要設(shè)定為存在由于裸片31的排列的偏移而錯(cuò)誤地推定下一個(gè)吸附裸片31(b)的位置的可能性的最小的間隔即可。另外，間隔(預(yù)定值)可以以裸片排列間距的數(shù)量(間隔內(nèi)存在的不合格裸片A、沒(méi)有裸片31的部分的數(shù)量)進(jìn)行判斷，也可以以距離(mm)進(jìn)行判斷。若以裸片排列間距的數(shù)量來(lái)判斷該間隔，則不需要換算為距離(mm)，相應(yīng)地，能夠簡(jiǎn)化運(yùn)算處理。
[0039]在上述的步驟105中，若判定為本次的吸附裸片31(a)與下一個(gè)吸附裸片31(b)之間的間隔小于預(yù)定值，則判斷為所推定的下一個(gè)吸附裸片31(b)是正確的下一個(gè)吸附裸片31 (c)，返回到上述步驟102，基于該裸片31 (b)的識(shí)別位置來(lái)確定該裸片31 (b)的頂起位置和吸附位置，在執(zhí)行該裸片31 (b)的頂起動(dòng)作和吸附動(dòng)作后，反復(fù)進(jìn)行上述步驟103?105的處理。
[0040]相對(duì)于此，在上述步驟105中，若判定為本次的吸附裸片31 (a)與下一個(gè)吸附裸片31(b)之間的間隔為預(yù)定值以上，則判斷為存在所推定的下一個(gè)吸附裸片31(b)不是正確的下一個(gè)吸附裸片31(c)的可能性，進(jìn)入到步驟106，參照晶片圖數(shù)據(jù)，從多個(gè)基準(zhǔn)裸片45中選擇最接近所推定的下一個(gè)吸附裸片31 (b)的識(shí)別位置的基準(zhǔn)裸片45之后，進(jìn)入到步驟