107，由相機(jī)42拍攝所選擇的基準(zhǔn)裸片45，識別該基準(zhǔn)裸片45的位置。
[0041]之后，進(jìn)入到步驟108，判定該基準(zhǔn)裸片45的識別位置與該下一個吸附裸片31 (b)的識別位置的位置關(guān)系(后者相對于前者的相對位置關(guān)系)，在下一個步驟109中，基于該基準(zhǔn)裸片45的識別位置與該下一個吸附裸片31 (b)的識別位置的位置關(guān)系，來判定該下一個吸附裸片31(b)的識別位置是否為正確的下一個吸附裸片31 (c)的位置。其結(jié)果是，若判定為下一個吸附裸片31(b)的識別位置不是正確的下一個吸附裸片31 (c)的位置，則進(jìn)入到步驟110，以該基準(zhǔn)裸片45的識別位置為基準(zhǔn)，重新推定下一個進(jìn)行吸附的裸片31 (c)的位置，進(jìn)入到步驟111，由相機(jī)42拍攝該裸片31 (c)，識別該裸片31 (c)的位置，返回到上述步驟102，執(zhí)行頂起動作和吸附動作。
[0042]另一方面，在上述步驟109中，若基于該基準(zhǔn)裸片45的識別位置與該下一個吸附裸片31(b)的識別位置的位置關(guān)系而判定為該下一個吸附裸片31(b)的識別位置是正確的下一個吸附裸片31 (c)的位置，則進(jìn)入到步驟111，由相機(jī)42拍攝該裸片31 (c)，識別該裸片31(c)的位置，返回到上述步驟102，執(zhí)行頂起動作和吸附動作。之后，通過反復(fù)進(jìn)行上述的處理，以預(yù)定順序吸附切割片34上的裸片31。之后，在上述步驟103中，若判定為沒有下一個吸附裸片31，則終止本程序。
[0043]另外，在上述步驟106中，從多個基準(zhǔn)裸片45中選擇最接近所推定的下一個吸附裸片31 (b)的識別位置的基準(zhǔn)裸片45，但是也可以從多個基準(zhǔn)裸片45中選擇最接近正確的下一個吸附裸片31 (c)的位置的基準(zhǔn)裸片45。
[0044]在以上說明的本實(shí)施例中，在從進(jìn)行了本次吸附動作的裸片31(a)的位置至下一個吸附裸片31 (b)的位置的間隔為預(yù)定值以上的情況下，由相機(jī)42拍攝接近該下一個吸附裸片31 (b)的基準(zhǔn)裸片45，識別該基準(zhǔn)裸片45的位置，基于該基準(zhǔn)裸片45的識別位置與該下一個吸附裸片31(b)的識別位置的位置關(guān)系來判定該下一個吸附裸片31(b)的識別位置是否為正確的下一個吸附裸片31(c)的位置，所以在以進(jìn)行了本次吸附動作的裸片31(a)的位置為基準(zhǔn)而推定的下一個吸附裸片31(b)是從正確的下一個吸附裸片31 (c)的位置偏移的位置的裸片的情況下，能夠以接近該下一個吸附裸片31 (b)的基準(zhǔn)裸片45的位置為基準(zhǔn)重新推定下一個進(jìn)行吸附的裸片31 (c)的位置。由此，即使因切割片34的不均勻的擴(kuò)展而成為裸片31的排列偏移的狀態(tài)，也能夠以正確的吸附順序吸附合格裸片，能夠消除將不合格裸片A、沒有裸片的區(qū)域錯誤地推定為下一個吸附裸片并進(jìn)行拍攝的不良情況。
[0045]另外，本實(shí)施例的裸片供給裝置11構(gòu)成為由XY移動機(jī)構(gòu)25使吸附頭41和相機(jī)42 一體地沿XY方向移動，但是也可以構(gòu)成為:吸附頭41和相機(jī)42僅沿X方向移動，且晶片托盤32在托盤拉出臺23上沿Y方向移動，從而使作為拍攝對象/吸附對象的裸片31的位置沿XY方向移動。
[0046]除此之外，本發(fā)明也可以適當(dāng)變更裸片供給裝置11的結(jié)構(gòu)、晶片托盤32的結(jié)構(gòu)等，在不脫離要點(diǎn)的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種變更來實(shí)施，這是不言而喻的。
[0047]附圖標(biāo)記說明
[0048]11裸片供給裝置
[0049]22料倉保持部
[0050]23托盤拉出臺
[0051]25 XY移動機(jī)構(gòu)
[0052]28頂起單元
[0053]30晶片張?jiān)O(shè)體
[0054]31 裸片
[0055]31(a) 本次的吸附裸片
[0056]31(b) 所推定的下一個吸附裸片
[0057]31(c) 正確的下一個吸附裸片
[0058]32晶片托盤
[0059]33切割框
[0060]34切割片
[0061]37頂起筒
[0062]39頂起銷
[0063]41吸附頭
[0064]42 相機(jī)
[0065]43 吸嘴
[0066]45基準(zhǔn)裸片
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種裸片供給裝置，具備:晶片張?jiān)O(shè)體，張?jiān)O(shè)有切割片，所述切割片粘貼有以分割為多個裸片的方式被切割的晶片且能夠伸縮；和頂起機(jī)構(gòu)，使配置于所述切割片的下方的頂起銷上下移動，在使吸嘴下降而吸附并拾取所述切割片上的裸片時，所述裸片供給裝置利用所述頂起銷將該切割片中的要吸附的裸片的粘貼部分頂起，將該裸片吸附于該吸嘴而從該切割片進(jìn)行拾取， 所述裸片供給裝置的特征在于，具備: 吸附順序確定單元，確定所述切割片上的裸片的吸附順序； 相機(jī)，拍攝所述切割片上的裸片； 圖像處理單元，處理由所述相機(jī)拍攝的裸片的圖像而識別該裸片的位置； 下一個吸附裸片位置推定單元，以由所述圖像處理單元識別出的裸片的識別位置為基準(zhǔn)來推定下一個要進(jìn)行吸附的裸片的位置，以下將所述下一個要進(jìn)行吸附的裸片稱作“下一個吸附裸片”； 控制單元，每當(dāng)進(jìn)行吸附動作時，將由所述下一個吸附裸片位置推定單元所推定的下一個吸附裸片的位置作為目標(biāo)拍攝裸片位置而利用所述相機(jī)拍攝該下一個吸附裸片，由所述圖像處理單元識別該下一個吸附裸片的位置，執(zhí)行裸片的頂起動作和吸附動作；及 在所述切割片上的裸片的排列中以預(yù)定配置設(shè)置的能夠進(jìn)行圖像識別的多個基準(zhǔn)裸片， 在從進(jìn)行了本次吸附動作的裸片的位置到由所述下一個吸附裸片位置推定單元所推定的下一個吸附裸片的位置的間隔為預(yù)定值以上的情況下，所述控制單元在識別所述下一個吸附裸片的位置的基礎(chǔ)上，從所述多個基準(zhǔn)裸片中選擇接近該下一個吸附裸片的所述基準(zhǔn)裸片，利用所述相機(jī)拍攝該基準(zhǔn)裸片而識別該基準(zhǔn)裸片的位置，并基于該基準(zhǔn)裸片的識別位置與該下一個吸附裸片的識別位置的位置關(guān)系來判定該下一個吸附裸片的識別位置是否為正確的下一個吸附裸片的位置，在判定為該下一個吸附裸片的識別位置是正確的下一個吸附裸片的位置的情況下，基于該下一個吸附裸片的識別位置執(zhí)行頂起動作和吸附動作，在判定為該下一個吸附裸片的識別位置不是正確的下一個吸附裸片的位置的情況下，以所述基準(zhǔn)裸片的識別位置為基準(zhǔn)重新推定下一個進(jìn)行吸附的裸片的位置，利用所述相機(jī)拍攝該裸片而識別該裸片的位置，并執(zhí)行頂起動作和吸附動作。
2.如權(quán)利要求1所述的裸片供給裝置，其特征在于， 具備存儲單元，所述存儲單元存儲表示所述切割片上的各位置的裸片是否合格和所述基準(zhǔn)裸片的位置的晶片圖數(shù)據(jù)， 所述下一個吸附裸片位置推定單元參照所述晶片圖數(shù)據(jù)并以由所述圖像處理單元識別出的裸片的識別位置為基準(zhǔn)，來校正下一個要進(jìn)行吸附的合格裸片的位置并求算下一個吸附裸片的位置， 在從進(jìn)行了本次吸附動作的裸片的位置到由所述下一個吸附裸片位置推定單元所推定的下一個吸附裸片的位置的間隔為預(yù)定值以上的情況下，所述控制單元參照所述晶片圖數(shù)據(jù)而從所述多個基準(zhǔn)裸片中選擇接近所述下一個吸附裸片的所述基準(zhǔn)裸片。
3.如權(quán)利要求1或2所述的裸片供給裝置，其中， 所述控制單元以裸片排列間距的數(shù)量來判斷從進(jìn)行了本次吸附動作的裸片的位置到由所述下一個吸附裸片位置推定單元所推定的下一個吸附裸片的位置的間隔。
【專利摘要】本發(fā)明在切割片(34)上的裸片(31)的排列中以預(yù)定間隔配置能夠進(jìn)行圖像識別的多個基準(zhǔn)裸片(45)，在從進(jìn)行了本次吸附動作的裸片(31(a))的位置到所推定的下一個吸附裸片(31(b))的位置的間隔為預(yù)定值以上的情況下，在識別下一個吸附裸片(31(b))的位置的基礎(chǔ)上，還從多個基準(zhǔn)裸片(45)中選擇接近下一個吸附裸片(31(b))的基準(zhǔn)裸片(45)，通過由相機(jī)(42)拍攝基準(zhǔn)裸片(45)來識別基準(zhǔn)裸片(45)的位置，基于基準(zhǔn)裸片(45)的識別位置與下一個吸附裸片(31(b))的識別位置的位置關(guān)系來判定下一個吸附裸片(31(b))的識別位置是否為正確的下一個吸附裸片(31(c))的位置，在判定為下一個吸附裸片(31(b))的識別位置不是正確的下一個吸附裸片(31(c))的位置的情況下，以基準(zhǔn)裸片(45)的識別位置為基準(zhǔn)重新推定下一個要進(jìn)行吸附的裸片(31(c))的位置，通過由相機(jī)(42)拍攝裸片(31(c))來識別裸片(31(c))的位置，執(zhí)行頂起動作和吸附動作。
【IPC分類】H01L21-68, H05K13-02
【公開號】CN104871659
【申請?zhí)枴緾N201280077900
【發(fā)明人】柘植邦明, 貴島達(dá)也, 山下義哲
【申請人】富士機(jī)械制造株式會社
【公開日】2015年8月26日
【申請日】2012年12月20日
【公告號】WO2014097463A1