電致發(fā)光裝置及其制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及具有EL(電致發(fā)光)元件的電致發(fā)光裝置及其制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來(lái)，在各種商品和領(lǐng)域中使用平板顯示器，要求平板顯示器進(jìn)一步大型化、高畫(huà)質(zhì)化、低消耗電力化。
[0003]在這樣的狀況下，具備利用有機(jī)材料的電場(chǎng)發(fā)光(ElectroLuminescence)的有機(jī)EL(電致發(fā)光)元件的有機(jī)EL顯示裝置，作為全固體型且在能夠低電壓驅(qū)動(dòng)、高速響應(yīng)性、自發(fā)光性等方面優(yōu)異的平板顯示器，受到高度關(guān)注。
[0004]例如在有源矩陣方式的有機(jī)EL顯示裝置中，在設(shè)置有TFT(薄膜晶體管)的基板上設(shè)置有薄膜狀的有機(jī)EL元件。在有機(jī)EL元件中，在一對(duì)電極之間層疊有包括發(fā)光層的有機(jī)EL層。TFT與一對(duì)電極中的一個(gè)電極連接。通過(guò)在一對(duì)電極間施加電壓使發(fā)光層發(fā)光來(lái)進(jìn)行圖像顯示。
[0005]此外，已知在上述那樣的以往的有機(jī)EL顯示裝置中，為了防止由水分或氧氣引起的有機(jī)EL元件的劣化，在該有機(jī)EL元件上形成密封膜。此外，提出了在這樣的以往的有機(jī)EL顯示裝置中，使用將無(wú)機(jī)層和有機(jī)層層疊而得到的層疊膜作為上述密封膜。
[0006]具體而言，提出了在上述那樣的以往的有機(jī)EL顯示裝置中，例如如下述專(zhuān)利文獻(xiàn)1中記載的那樣，設(shè)置從該有機(jī)EL顯示裝置的中央部越向邊緣部去，密度和厚度越增大的密封膜。在該以往的有機(jī)EL顯示裝置中，能夠防止側(cè)面方向的水分或氧氣的滲透。
[0007]此外，提出了在以往的有機(jī)EL顯示裝置中，例如如下述專(zhuān)利文獻(xiàn)2中記載的那樣，設(shè)置將有機(jī)層和無(wú)機(jī)層交替地層疊而得到的密封膜，并且在該密封膜中，最上層的有機(jī)層以外的各有機(jī)層形成在比無(wú)機(jī)層窄的區(qū)域。即，在該以往的有機(jī)EL顯示裝置中，與密封玻璃基板緊貼的、上述最上層的有機(jī)層以外的各有機(jī)層，以其端部不露出在外部的方式，由相互層疊的2個(gè)無(wú)機(jī)層覆蓋。在該以往的有機(jī)EL顯示裝置中，能夠防止由露出導(dǎo)致的有機(jī)層的劣化。
[0008]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0009]專(zhuān)利文獻(xiàn)
[0010]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2011-124213號(hào)公報(bào)
[0011]專(zhuān)利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2009-37812號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0012 ]發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0013]然而，在上述那樣的以往的有機(jī)EL顯示裝置(電致發(fā)光裝置)中，存在不能可靠地抑制水分滲透，不能防止有機(jī)EL元件(電致發(fā)光元件)的劣化，可靠性大幅下降的問(wèn)題。
[0014]具體而言，在上述專(zhuān)利文獻(xiàn)1中記載的以往的有機(jī)EL顯示裝置中，以有機(jī)層露出的方式設(shè)置，因此，即使增大該有機(jī)層的密度和厚度，也不能可靠地抑制水分或氧氣滲透。此夕卜，在該以往的有機(jī)EL顯示裝置中，以無(wú)機(jī)層的膜厚在端部逐漸減小的方式設(shè)置，因此，在該無(wú)機(jī)層產(chǎn)生了針孔等缺陷的情況下，水分等容易經(jīng)由該缺陷或有機(jī)層滲透。
[0015]此外，在上述專(zhuān)利文獻(xiàn)2中記載的以往的有機(jī)EL顯示裝置中，多個(gè)無(wú)機(jī)層相互直接接觸地層疊，因此，層疊部分的膜應(yīng)力增高，由于該應(yīng)力，會(huì)產(chǎn)生無(wú)機(jī)層相互剝離、或者無(wú)機(jī)層從基板剝離的問(wèn)題。其結(jié)果，在該以往的有機(jī)EL顯示裝置中，水分等經(jīng)由有機(jī)層滲透，有機(jī)EL顯示裝置的可靠性大幅下降。
[0016]鑒于上述的技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的目的是提供可靠地抑制水分滲透、并且可靠性?xún)?yōu)異的電致發(fā)光裝置及其制造方法。
[0017]用于解決技術(shù)問(wèn)題的手段
[0018]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的電致發(fā)光裝置具備基板和設(shè)置在上述基板上的電致發(fā)光元件，其特征在于:具備將上述電致發(fā)光元件密封的密封膜，在上述密封膜中設(shè)置有2層以上的有機(jī)層和2層以上的無(wú)機(jī)層，并且，在上述密封膜中，上述有機(jī)層和上述無(wú)機(jī)層交替地設(shè)置，上述2層以上的各有機(jī)層形成為該各有機(jī)層的端部的膜厚逐漸減小，在上述密封膜中，上述無(wú)機(jī)層設(shè)置在上述密封膜的最上層，并且，該最上層的無(wú)機(jī)層以覆蓋下層的上述有機(jī)層的端部和下層的上述無(wú)機(jī)層的端部的方式設(shè)置。
[0019]在如上述那樣構(gòu)成的電致發(fā)光裝置中，在上述密封膜中，設(shè)置有2層以上的有機(jī)層和2層以上的無(wú)機(jī)層，并且該有機(jī)層和無(wú)機(jī)層交替地設(shè)置。此外，在2層以上的各有機(jī)層形成為該各有機(jī)層的端部的膜厚逐漸減小。此外，在密封膜中，無(wú)機(jī)層設(shè)置在該密封膜的最上層，并且該最上層的無(wú)機(jī)層以覆蓋下層的有機(jī)層的端部和下層的無(wú)機(jī)層的端部的方式設(shè)置。由此，與上述以往例不同，能夠構(gòu)成可靠地抑制水分滲透、并且可靠性?xún)?yōu)異的電致發(fā)光
目.ο
[0020]此外，在上述電致發(fā)光裝置中，優(yōu)選上述2層以上的各無(wú)機(jī)層形成為該各無(wú)機(jī)層的端部的膜厚不逐漸減小。
[0021 ]在該情況下，能夠容易地提高密封膜對(duì)電致發(fā)光元件的密封性。
[0022]此外，在上述電致發(fā)光裝置中，優(yōu)選在上述2層以上的各有機(jī)層中，該各有機(jī)層的膜厚逐漸減小的漸減區(qū)域設(shè)置在上述基板上的上述電致發(fā)光元件的外側(cè)區(qū)域。
[0023]在該情況下，能夠可靠地防止密封膜的可靠性、進(jìn)而電致發(fā)光裝置的可靠性下降，并且也能夠防止電致發(fā)光裝置的性能下降。
[0024]此外，在上述電致發(fā)光裝置中，優(yōu)選上述2層以上的各有機(jī)層形成為該各有機(jī)層的上述電致發(fā)光元件上的部分的膜厚實(shí)質(zhì)上均勻。
[0025]在該情況下，能夠容易地提高密封膜對(duì)電致發(fā)光元件的密封性，并且也能夠防止電致發(fā)光裝置的性能下降。
[0026]此外，在上述電致發(fā)光裝置中，優(yōu)選在上述電致發(fā)光元件側(cè)設(shè)置有與上述基板相對(duì)的對(duì)置基板，在上述基板與上述對(duì)置基板之間設(shè)置有將上述電致發(fā)光元件封入的框狀的密封件。
[0027]在該情況下，能夠更可靠地防止電致發(fā)光元件的劣化。
[0028]此外，本發(fā)明的電致發(fā)光裝置的制造方法，是具備基板和設(shè)置在上述基板上的電致發(fā)光元件的電致發(fā)光裝置的制造方法，該電致發(fā)光裝置的制造方法的特征在于，具備:在上述電致發(fā)光元件上或在將上述電致發(fā)光元件密封的最下層的無(wú)機(jī)層上，形成端部的膜厚逐漸減小的第一有機(jī)層的工序;在上述第一有機(jī)層上形成中間層的無(wú)機(jī)層的工序;在上述中間層的無(wú)機(jī)層上形成端部的膜厚逐漸減小的第二有機(jī)層工序;和以覆蓋上述無(wú)機(jī)層的端部以及上述第一有機(jī)層和上述第二有機(jī)層的各端部的方式形成最上層的無(wú)機(jī)層的工序。
[0029]在如上述那樣構(gòu)成的電致發(fā)光裝置的制造方法中，設(shè)置有在電致發(fā)光元件上或在將電致發(fā)光元件密封的最下層的無(wú)機(jī)層上形成端部的膜厚逐漸減小的第一有機(jī)層的工序。此外，依次進(jìn)行在第一有機(jī)層上形成中間層的無(wú)機(jī)層的工序、在中間層的無(wú)機(jī)層上形成端部的膜厚逐漸減小的第二有機(jī)層的工序、和以覆蓋無(wú)機(jī)層的端部以及第一有機(jī)層和第二有機(jī)層的各端部的方式形成最上層的無(wú)機(jī)層的工序。由此，與上述以往例不同，能夠構(gòu)成可靠地抑制水分滲透、并且可靠性?xún)?yōu)異的電致發(fā)光裝置。
[0030]此外，在上述電致發(fā)光裝置的制造方法中，上述無(wú)機(jī)層可以使用CVD法或ALD法形成。
[0031 ]在該情況下，能夠高精度并且容易地形成無(wú)機(jī)層。
[0032]此外，在上述電致發(fā)光裝置的制造方法中，上述第一有機(jī)層和上述第二有機(jī)層中的至少上述第二有機(jī)層可以使用蒸鍍法或?yàn)R射法形成。
[0033]在該情況下，能夠高精度并且容易地形成至少第二有機(jī)層。
[0034]此外，在上述電致發(fā)光裝置的制造方法中，在上述電致發(fā)光元件上形成的上述第一有機(jī)層可以使用濕法形成。
[0035]在該情況下，能夠高精度、容易并且成本低廉地形成第一有機(jī)層。
[0036]此外，在上述電致發(fā)光裝置的制造方法中，在形成上述最上層的無(wú)機(jī)層以外的上述無(wú)機(jī)層以及上述第一有機(jī)層和上述第二有機(jī)層的工序中，使用倒錐狀的掩模。
[0037]在該情況下，能夠?qū)崿F(xiàn)制造工序的簡(jiǎn)化和制造時(shí)間的縮短。
[0038]發(fā)明效果
[0039]根據(jù)本發(fā)明，能夠提供可靠地抑制水分滲透、并且可靠性?xún)?yōu)異的電致發(fā)光裝置及其制造方法。
【附圖說(shuō)明】
[0040]圖1是對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的有機(jī)EL顯示裝置進(jìn)行說(shuō)明的截面圖。
[0041]圖2是對(duì)圖1所示的密封膜的具體結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明的截面圖。
[0042]圖3是表示上述密封膜的端部的放大截面圖。
[0043]圖4是上述有機(jī)EL顯示裝置的俯視圖。
[0044]圖5是對(duì)在上述有機(jī)EL顯示裝置的制造工序中使用的掩模進(jìn)行說(shuō)明的圖，圖5的
(a)是表示在最上層的無(wú)機(jī)層以外的無(wú)機(jī)層和有機(jī)層的形成工序中使用的第一掩模的平面圖，圖5的(b)是表示在最上層的無(wú)機(jī)層的形成工序中使用的第二掩模的平面圖。
[0045]圖6是對(duì)上述有機(jī)EL顯不裝置的主要制造工序進(jìn)彳丁說(shuō)明的圖，圖6的(a)?圖6的
(b)對(duì)一連串的主要制造工序進(jìn)彳丁說(shuō)明。
[0046]圖7是對(duì)上述有機(jī)EL顯示裝置的主要制造工序進(jìn)行說(shuō)明的圖，圖7的(a)?圖7的
(b)對(duì)接著圖6的(b)所不的工序之后進(jìn)彳丁的一連串的主要制造工序進(jìn)彳丁說(shuō)明。
[0047]圖8是對(duì)上述密封膜的具體效果進(jìn)行說(shuō)明的圖，圖8的(a)是對(duì)第一比較例中的具體問(wèn)題進(jìn)行說(shuō)明的圖，圖8的(b)是對(duì)第二比較例中的具體問(wèn)題進(jìn)行說(shuō)明的圖，圖8的(c)是對(duì)上述密封膜的具體效果進(jìn)行說(shuō)明的圖。
[0048]圖9是對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的有機(jī)EL顯示裝置中的密封膜的具體結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明的截面圖。
[0049]圖10是表示圖9所示的密封膜的端部的放大截面圖。
[0050]圖11是對(duì)圖9所不的有機(jī)EL顯不裝置的主要制造工序進(jìn)彳丁說(shuō)明的圖，圖11的(a)?圖11的(b)對(duì)一連串的主要制造工序進(jìn)彳丁說(shuō)明。
[0051 ]圖12是對(duì)圖9所不的有機(jī)EL顯不裝置的主要制造工序進(jìn)彳丁說(shuō)明的圖，圖12的(a)?圖12的(b)對(duì)接著圖11(b)所示的工序之后進(jìn)行的一連串的主要制造工序進(jìn)行說(shuō)明。
[0052]圖13是對(duì)圖9所示的密封膜的具體效果進(jìn)行說(shuō)明的圖，圖13的(a)是對(duì)第三比較例中的具體問(wèn)題進(jìn)行說(shuō)明的圖，圖13的(b)是對(duì)第四比較例中的具體問(wèn)題進(jìn)行說(shuō)明的圖，圖13的(c)是對(duì)圖9所示的密封膜的具體效果進(jìn)行說(shuō)明的圖。
[0053]圖14是對(duì)本發(fā)明的第三實(shí)施方式的有機(jī)EL顯示裝置進(jìn)行說(shuō)明的截面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0054]以下，參照附圖，對(duì)表示本發(fā)明的電致發(fā)光裝置及其制造方法的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。另外，在以下的說(shuō)明中，以將本發(fā)明應(yīng)用于有機(jī)EL顯示裝置的情況為例進(jìn)行說(shuō)明。此外，各圖中的構(gòu)成部件的尺寸并沒(méi)有忠實(shí)地表示實(shí)際的構(gòu)成部件的尺寸和各構(gòu)成部件的尺寸比率等。
[0055][第一實(shí)施方式]
[0056]圖1是對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的有機(jī)EL顯示裝置進(jìn)行說(shuō)明的截面圖。在圖1中，本實(shí)施方式的有機(jī)EL顯示裝置1具備作為基板的TFT基板2和設(shè)置在該TFT基板2