無機層和第二無機層14g和14i，則水分無法到達第一有機層14f。因此，即使在第二無機層14i產(chǎn)生了針孔，也能夠有效地抑制水分的滲透。
[0151]此外，在本實施方式中，不存在2層以上的無機層直接接觸地層疊的部分。因此，難以發(fā)生由無機層的應力引起的膜剝離，能夠提高有機EL顯示裝置1的可靠性。
[0152]此外，在本實施方式中，第一有機層14f是使用濕法形成的，因此，能夠高精度、容易并且成本低廉地形成該第一有機層14f。此外，能夠?qū)⒌谝挥袡C層14f形成得較厚，由此，能夠更容易地覆蓋位于有機EL元件4上的異物，進一步抑制第一無機層和第二無機層14g和14i的應力施加于有機EL元件4。其結(jié)果，在本實施方式中，能夠提高有機EL顯示裝置1的制造上的成品率。
[0153][第三實施方式]
[0154]圖14是對本發(fā)明的第三實施方式的有機EL顯示裝置進行說明的截面圖。
[0155]在圖中，本實施方式與上述第一實施方式的主要的不同點在于，在有機EL元件側(cè)，設置有與TFT基板相對的對置基板，在TFT基板與對置基板之間，設置有將有機EL元件封入的框狀的作為密封件的密封樹脂。另外，對與上述第一實施方式相同的要素，標注相同的符號，省略其重復說明。
[0156]即，如圖14所示，在本實施方式的有機EL顯示裝置1中，設置有:以與TFT基板2相對的方式設置的對置基板3;和設置在TFT基板2與對置基板3之間的作為密封件的框狀的密封樹脂5，有機EL元件4由上述的TFT基板2、對置基板3和密封樹脂5封入。
[0157]對置基板3例如由玻璃材料構成。此外，密封樹脂5例如由在環(huán)氧樹脂等樹脂中分散有用于規(guī)定TFT基板2與對置基板3之間的間隙的間隔物、和無機顆粒而得到的物質(zhì)構成。此外，在密封樹脂5中，通過分散無機顆粒，能夠使透濕性進一步下降。另外，在圖14中，表示了密封樹脂5形成在密封膜14上的結(jié)構，但是，除了該結(jié)構以外，也可以是在密封樹脂5的內(nèi)側(cè)形成密封膜14，在基底膜6上形成密封樹脂5的結(jié)構。
[0158]此外，在本實施方式的有機EL顯示裝置1中，在對置基板3、密封樹脂5和密封膜13之間的空間封入有不活潑氣體。
[0159]另外，除了該說明以外，也可以設置干燥劑或氧氣吸收劑、或者填充樹脂，來代替不活潑氣體。此外，也可以使該樹脂含有干燥劑或氧氣吸收劑。
[0160]利用以上的結(jié)構，在本實施方式中，能夠得到與上述第一實施方式同樣的作用和效果。此外，在本實施方式中，在有機EL元件4側(cè)設置有與TFT基板2相對的對置基板3，在TFT基板2與對置基板3之間設置有將有機EL元件4封入的框狀的密封樹脂(密封件)5，由此，在本實施方式中，能夠更可靠地防止有機EL元件4的劣化。
[0161]另外，上述實施方式全部是例示而不是限制。本發(fā)明的技術范圍由權利要求書規(guī)定，與記載在其中的技術方案等同的范圍內(nèi)的全部變更也包含在本發(fā)明的技術范圍內(nèi)。
[0162]例如，在上述的說明中，對使用有機EL元件作為電致發(fā)光元件的情況進行了說明，但是本發(fā)明并不限定于此，例如也可以使用具有無機化合物的無機EL元件。
[0163]此外，在上述的說明中，對應用于有機EL顯示裝置的情況進行了說明，但是本發(fā)明并不限定于此，例如也能夠應用于背光源裝置等照明裝置。
[0164]此外，在上述的說明中，對設置有2層有機層和2層或3層無機層的情況進行了說明。然而，本發(fā)明，只要設置有2層以上的有機層和2層以上的無機層作為密封膜，并且在密封膜中，有機層和無機層交替地設置，且2層以上的各有機層形成為該各有機層的端部的膜厚逐漸減小，并且在密封膜中，無機層設置在該密封膜的最上層，并且該最上層的無機層以覆蓋下層的有機層和下層的無機層的各端部的方式設置，就沒有任何限定。例如，也能夠使用由合計6層以上的有機層和無機層構成的密封膜。
[0165]此外，在上述的說明中，對在2層以上的各無機層中，其端部的膜厚形成為不逐漸減小的情況進行了說明，但是本發(fā)明并不限定于此，也可以在各無機層中，其端部的膜厚形成為逐漸減小。
[0166]然而，如上述的各實施方式那樣，在2層以上的各無機層中，其端部的膜厚形成為不逐漸減小的情況，在能夠容易地提高密封膜對電致發(fā)光元件的密封性的方面優(yōu)選。此外，在能夠容易地實現(xiàn)無機層的形成、進而電致發(fā)光裝置的制造的簡化的方面也優(yōu)選。
[0167]此外，在上述的說明中，對在2層以上的各有機層中，形成為其有機EL元件(電致發(fā)光元件)上的部分的膜厚實質(zhì)上均勻的情況進行了說明，但是本發(fā)明并不限定于此，也可以在各有機層中，以其電致發(fā)光元件上的部分的膜厚實質(zhì)上不均勻的方式，使該膜厚變化地形成。
[0168]然而，如上述的各實施方式那樣，在2層以上的各有機層中，形成為其電致發(fā)光元件上的部分的膜厚實質(zhì)上均勻的情況，在能夠容易地提高密封膜對電致發(fā)光元件的密封性、并且也能夠防止電致發(fā)光裝置的性能的下降的方面優(yōu)選。此外，在能夠容易地實現(xiàn)有機層的形成、進而電致發(fā)光裝置的制造的簡化的方面也優(yōu)選。
[0169]此外，在上述的說明中，對例如由玻璃材料構成TFT基板(基板)和對置基板的情況進行了說明，但是本發(fā)明并不限定于此，例如也可以使用塑料等柔性材料構成基板或?qū)χ没?。在這樣構成的情況下，能夠容易地構成顯示面形成為曲面形狀的顯示裝置等。此外，在本發(fā)明中，多個無機層沒有相互層疊，因此，即使在使用柔性材料使顯示裝置等彎曲的情況下，也能夠盡可能地防止由彎曲時施加的應力導致的無機層剝離等不良情況的發(fā)生。
[0170]此外，除了上述的說明以外，也可以將上述第一實施方式?第三實施方式的各實施方式適當組合。
[0171]產(chǎn)業(yè)上的可利用性
[0172]本發(fā)明對于可靠地抑制水分滲透、并且可靠性優(yōu)異的電致發(fā)光裝置及其制造方法是有用的。
[0173]符號說明
[0174]1有機EL顯示裝置
[0175]2 TFT基板(基板)
[0176]3對置基板
[0177]4有機EL元件(電致發(fā)光元件)
[0178]5密封樹脂(密封件)
[0179]14密封膜
[°18°]14a第一無機層(下層的無機層)
[0181]14b第一有機層(下層的有機層)
[0182]14bl 中央部
[0183]14b2 端部
[0184]14c第二無機層(下層的無機層)
[0185]14d第二有機層(下層的有機層)
[0186]14dl 中央部
[0187]14d2 端部
[〇188]14e第三無機層(最上層的無機層)
[0189]14f第一有機層(下層的有機層)
[0190]14Π中央部
[0191]14f2 端部
[0192]14g第一無機層(下層的無機層)
[0193]14h第二有機層(下層的有機層)
[0194]14hl 中央部
[0195]14h2 端部
[〇196]14i第二無機層(最上層的無機層)
[0197]Ml (倒錐狀)掩模
[0198]D漸減區(qū)域
【主權項】
1.一種電致發(fā)光裝置，其具備基板和設置在所述基板上的電致發(fā)光元件，其特征在于: 具備用于將所述電致發(fā)光元件密封的密封膜， 在所述密封膜中設置有2層以上的有機層和2層以上的無機層，并且， 在所述密封膜中，所述有機層和所述無機層交替地設置， 所述2層以上的各有機層形成為該各有機層的端部的膜厚逐漸減小， 在所述密封膜中，所述無機層設置在所述密封膜的最上層，并且，該最上層的無機層以覆蓋下層的所述有機層的端部和下層的所述無機層的端部的方式設置。2.如權利要求1所述的電致發(fā)光裝置，其特征在于: 所述2層以上的各無機層形成為該各無機層的端部的膜厚不逐漸減小。3.如權利要求1或2所述的電致發(fā)光裝置，其特征在于: 在所述2層以上的各有機層中，該各有機層的膜厚逐漸減小的漸減區(qū)域設置在所述基板上的所述電致發(fā)光元件的外側(cè)區(qū)域。4.如權利要求1至3中任一項所述的電致發(fā)光裝置，其特征在于: 所述2層以上的各有機層形成為該各有機層的所述電致發(fā)光元件上的部分的膜厚實質(zhì)上均勻。5.如權利要求1至4中任一項所述的電致發(fā)光裝置，其特征在于: 在所述電致發(fā)光元件側(cè)設置有與所述基板相對的對置基板， 在所述基板與所述對置基板之間設置有將所述電致發(fā)光元件封入的框狀的密封件。6.—種電致發(fā)光裝置的制造方法，該電致發(fā)光裝置具備基板和設置在所述基板上的電致發(fā)光元件，所述電致發(fā)光裝置的制造方法的特征在于，具備: 在所述電致發(fā)光元件上或在將所述電致發(fā)光元件密封的最下層的無機層上，形成端部的膜厚逐漸減小的第一有機層的工序； 在所述第一有機層上形成中間層的無機層的工序； 在所述中間層的無機層上形成端部的膜厚逐漸減小的第二有機層的工序;和以覆蓋所述無機層的端部以及所述第一有機層和所述第二有機層的各端部的方式形成最上層的無機層的工序。7.如權利要求6所述的電致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于: 所述無機層使用CVD法或ALD法形成。8.如權利要求6或7所述的電致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于: 所述第一有機層和所述第二有機層中的至少所述第二有機層使用蒸鍍法或濺射法形成。9.如權利要求6至8中任一項所述的電致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于: 在所述電致發(fā)光元件上形成的所述第一有機層使用濕法形成。10.如權利要求6至8中任一項所述的電致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于: 在形成所述最上層的無機層以外的所述無機層以及所述第一有機層和所述第二有機層的工序中，使用倒錐狀的掩模。
【專利摘要】在具備有機EL元件(電致發(fā)光元件)(4)的有機EL顯示裝置(電致發(fā)光裝置)(1)中，具備將有機EL元件(4)密封的密封膜(14)，在密封膜(14)中，依次設置有第一無機層(14a)、第一有機層(14b)、第二無機層(14c)、第二有機層(14d)和第三無機層(最上層的無機層)(14e)。此外，第一有機層和第二有機層的各有機層(14b、14d)形成為其端部(14b2、14d2)的膜厚從其中央部(14b1、14d1)的膜厚逐漸減小。此外，第三無機層(14e)以覆蓋第一無機層(14a)、第一有機層(14b)、第二無機層(14c)和第二有機層(14d)的各端部的方式設置。
【IPC分類】H01L51/50, H05B33/10, H05B33/04
【公開號】CN105493627
【申請?zhí)枴緾N201480047069
【發(fā)明人】園田通, 平瀬剛, 岡本哲也, 妹尾亨
【申請人】夏普株式會社
【公開日】2016年4月13日
【申請日】2014年7月9日
【公告號】US20160204374, WO2015029608A1