1.一種指向和隔振一體化多維并聯(lián)平臺(tái),其特征在于,包括:
上平臺(tái)、下平臺(tái)、六根驅(qū)動(dòng)支腿;
所述六根驅(qū)動(dòng)支腿中相鄰兩個(gè)驅(qū)動(dòng)支腿相互垂直,所述六根驅(qū)動(dòng)支腿按照Stewart平臺(tái)形式安裝;六根所述驅(qū)動(dòng)支腿的結(jié)構(gòu)相同,均包括:殼體;位于所述殼體內(nèi)部的音圈電機(jī),所述音圈電機(jī)為所述驅(qū)動(dòng)支腿的動(dòng)力源;位移傳感器,用于測(cè)量所述驅(qū)動(dòng)支腿的軸向位移,并將所述軸向位移反饋至控制系統(tǒng),以使所述控制系統(tǒng)控制所述上平臺(tái)的位姿,實(shí)現(xiàn)精確指向;
設(shè)置在所述上平臺(tái)朝向所述下平臺(tái)的表面上的六個(gè)加速度傳感器,所述加速度傳感器設(shè)置在所述驅(qū)動(dòng)支腿的上方,且與所述驅(qū)動(dòng)支腿一一對(duì)應(yīng)設(shè)置,所述加速度傳感器用于測(cè)量所述驅(qū)動(dòng)支腿的運(yùn)動(dòng)加速度,并將所述運(yùn)動(dòng)加速度反饋至所述控制系統(tǒng),以使所述控制系統(tǒng)控制所述音圈電機(jī)運(yùn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)振動(dòng)隔離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的指向和隔振一體化多維并聯(lián)平臺(tái),其特征在于,每個(gè)所述驅(qū)動(dòng)支腿與所述上平臺(tái)通過(guò)兩個(gè)柔性鉸鏈連接,且所述兩個(gè)柔性鉸鏈通過(guò)連接桿連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的指向和隔振一體化多維并聯(lián)平臺(tái),其特征在于,所述柔性鉸鏈為圓柱體結(jié)構(gòu),且沿垂直于所述圓柱體的軸線的兩個(gè)相對(duì)的方向上,在所述圓柱體上具有相互反向的活動(dòng)間隙。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的指向和隔振一體化多維并聯(lián)平臺(tái),其特征在于,每個(gè)所述驅(qū)動(dòng)支腿的殼體與所述下平臺(tái)固定連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的指向和隔振一體化多維并聯(lián)平臺(tái),其特征在于,所述位移傳感器為光柵尺。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的指向和隔振一體化多維并聯(lián)平臺(tái),其特征在于,所述光柵尺包括光柵尺板和光柵尺本體,所述光柵尺設(shè)置在所述驅(qū)動(dòng)支腿的殼體上,所述光柵尺板設(shè)置在所述驅(qū)動(dòng)支腿的殼體內(nèi)的腔體內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的指向和隔振一體化多維并聯(lián)平臺(tái),其特征在于,還包括限位裝置,所述限位裝置包括限位動(dòng)板和限位定板,所述限位動(dòng)板與所述上平臺(tái)固定連接,所述限位定板與所述下平臺(tái)固定連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的指向和隔振一體化多維并聯(lián)平臺(tái),其特征在于,所述限位裝置內(nèi)部為腔體結(jié)構(gòu),所述指向和隔振一體化多維并聯(lián)平臺(tái)還包括氣浮裝置,所述氣浮裝置設(shè)置在所述限位裝置的腔體結(jié)構(gòu)內(nèi)。
9.一種指向和隔振一體化系統(tǒng),其特征在于,包括權(quán)利要求1-8任意一項(xiàng)所述的指向和隔振一體化多維并聯(lián)平臺(tái)和控制系統(tǒng),所述控制系統(tǒng)與所述指向和隔振一體化多維并聯(lián)平臺(tái)的加速度傳感器和位移傳感器相連,并根據(jù)所述加速度傳感器測(cè)量得到的驅(qū)動(dòng)支腿的運(yùn)動(dòng)加速度,控制所述驅(qū)動(dòng)支腿內(nèi)的音圈電機(jī)運(yùn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)振動(dòng)隔離,以及根據(jù)所述位移傳感器測(cè)量得到的所述驅(qū)動(dòng)支腿的軸向位移,控制所述指向和隔振一體化多維并聯(lián)平臺(tái)的上平臺(tái)的位姿,實(shí)現(xiàn)精確指向。