壓印裝置、壓印方法及物品制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及壓印裝置、壓印方法以及物品制造方法。
【背景技術】
[0002]壓印技術是能夠轉印具有納米級尺寸的微細圖案的技術。該技術實際上用作用于磁存儲介質或半導體設備的批量生產(chǎn)的光刻技術。在壓印技術中，通過使用模具在諸如硅晶片、玻璃板等的基板上形成微細圖案，在所述模具中，通過使用諸如電子束描繪裝置等的裝置形成微細圖案。通過利用樹脂涂覆基板的上面來形成微細圖案，然后，在使樹脂與模具的圖案接觸的狀態(tài)下固化樹脂。針對涂覆到基板上的樹脂，為了增強使樹脂與圖案接觸時的填充性，以數(shù)皮升(picolitre)的液滴來將樹脂涂覆(供給)到基板上。
[0003]例如，在通過噴墨方法的樹脂涂覆方式中，除對于在基板上的圖案形成的樹脂分配之外，還有必要進行虛擬分配，以防止噴墨噴嘴堵塞，并且維持噴墨分配性能。虛擬分配也被稱為初步分配或沖洗。然而，如果皮升單位的微小液滴未被固化而被殘留，則會揮發(fā)，并且結果是揮發(fā)成分粘附到壓印裝置中的部件上。例如，如果樹脂的揮發(fā)成分粘附到壓印裝置中的基板或掩模上，則在形成微細圖案時會變成圖案缺陷的誘因。
[0004]日本特開2014-41861號公報提出了在噴墨附近配設有排氣機構以將在壓印裝置中發(fā)生的樹脂的揮發(fā)成分排出到壓印裝置外部的壓印裝置。
[0005]在日本特開2014-41861號公報中提出的配設排氣機構的方法中，仍然留有問題，即，存在未被完全排出的樹脂的揮發(fā)成分會泄漏到壓印裝置之內，并且會發(fā)生圖案缺陷的可能性。

【發(fā)明內容】

[0006]本發(fā)明提供了一種壓印裝置，該壓印裝置防止樹脂的虛擬分配粘附到裝置中的部件上。
[0007]本發(fā)明在其第一方面提供了一種壓印裝置，所述壓印裝置用于通過使用模具在基板上形成壓印材料的圖案，所述壓印裝置包括:基板臺，其被構造為保持所述基板；分配單元，其被構造為將所述壓印材料分配在所述基板上；照射單元，其被構造為照射固化所述壓印材料的能量束；接收單元，其被構造為接收從所述分配單元虛擬分配的壓印材料；以及控制器，其被構造為使所述虛擬分配的壓印材料被來自所述照射單元的能量束照射，而不使所述虛擬分配的壓印材料與所述模具接觸。
[0008]本發(fā)明在其第二方面提供了一種物品制造方法，所述物品制造方法使用由第一方面指定的壓印裝置。
[0009]本發(fā)明在其第三方面提供一種了壓印方法，所述壓印方法通過使壓印材料與模具接觸在基板上形成壓印材料的圖案，所述壓印方法包括:將所述壓印材料虛擬分配到不同于形成有所述圖案的所述基板的接收單元上；在所述虛擬分配之后在所述基板上形成所述壓印材料的所述圖案；以及在所述圖案形成之前，固化所述虛擬分配的壓印材料，而不使所述虛擬分配的壓印材料與所述模具接觸。
[0010]本發(fā)明在其第四方面提供了一種壓印裝置，所述壓印裝置用于通過使用模具在基板上形成壓印材料的圖案，所述壓印裝置包括:分配單元，其被構造為將所述壓印材料分配在所述基板上；接收單元，其不同于形成有圖案的所述基板，并且被構造為接收從所述分配單元虛擬分配的所述壓印材料；以及固化單元，其被構造為固化分配到所述接收單元上的所述壓印材料，而不使分配到所述接收單元上的所述壓印材料與所述模具接觸。
[0011]本發(fā)明在其第五方面提供了一種壓印方法，所述壓印方法通過使用模具在基板上形成壓印材料的圖案，所述壓印方法包括:將所述壓印材料虛擬分配到不同于形成有所述圖案的所述基板的接收單元上；以及固化虛擬分配到所述接收單元上的所述壓印材料。
[0012]通過以下參照附圖對示例性實施例的描述，本發(fā)明的其他特征將變得清楚。
【附圖說明】
[0013]圖1A和圖1B是示出根據(jù)本發(fā)明的壓印裝置的圖。
[0014]圖2A至圖2F是示出壓印處理的圖。
[0015]圖3是示出模具的圖。
[0016]圖4是示出樹脂接收單元的圖。
[0017]圖5是示出基板輸送機構的圖。
[0018]圖6是示出根據(jù)本發(fā)明的壓印處理的序列的圖。
【具體實施方式】
[0019][壓印裝置]
[0020]圖1A示出了根據(jù)本發(fā)明的通過使基板上的樹脂與模具接觸而在基板上形成圖案的壓印裝置的實施例。壓印裝置首先將基板3保持在基板臺4的基板保持單元8中。軸外對準觀測器7檢測基板上配設的標記(未示出)和基板臺側標記15，并且獲得基板臺4和基板3的位置偏差量及形狀偏差量。軸上對準觀測器16檢測模具側標記36和基板臺側標記15，并且獲得基板臺4和模具2的位置偏差量及形狀偏差量。校正機構(未示出)校正位置偏差和形狀偏差。針對各投射，壓印裝置進行針對位置偏差和形狀偏差的校正處理，還進行形成圖案的壓印處理，以在基板3上的多個投射區(qū)域中形成圖案。在壓印處理中，通過涂覆單元(分配單元)6從噴墨噴嘴向對象投射區(qū)域涂覆(分配)光固化樹脂26。接下來，通過沿Z軸驅動保持模具2的噴墨頭1，使對象投射區(qū)域上的樹脂26與模具2的圖案接觸，并且樹脂26填充圖案。在該狀態(tài)下，照射單元5照射作為紫外線等的能量束，以固化樹脂26并將圖案轉印到基板3上。根據(jù)本實施例，光固化樹脂被用作樹脂26。通過照射光來固化光固化樹脂。因此，照射單元5照射光以固化光固化樹脂。如果紫外線固化樹脂被用于樹脂26，則能夠使用紫外線作為能量束。能量束不限于紫外線，還可以根據(jù)樹脂26的類型適當?shù)卮_定。
[0021]照射單元5包括單一能量束源5a、第一照射單元5b和第二照射單元5c。第一照射單元5b向由基板臺4保持的基板3照射能量束。第二照射單元5c向后述的第二樹脂接收單元18照射能量束。切換機構5d在導向第一照射單元5b的路徑與導向第二照射單元5c的路徑之間，切換由能量束源5a生成的能量束的路徑。
[0022]基板保持單元8包括基板粘附機構和基板保持夾件。基板保持夾件由一個或多個區(qū)域組成，并且基板粘附機構被構造在各區(qū)域上。照相機14能夠從模具保持單元10側拍攝形成有圖案的模具的第一圖案單元31，以記錄樹脂26填充在模具2與基板3之間的處理。由照相機14記錄的圖像被存儲在存儲器單元(未示出)中。針對模具側標記36與基板側標記之間、以及模具側標記36與基板臺側標記15之間的相對位置的測量，可以使用諸如在日本特開2008-509825號公報中公開的光位置檢測器。特別是，由于能夠以簡單的光學系統(tǒng)實現(xiàn)高測量精度，因此使用由兩者產(chǎn)生的莫爾信號的測量方法是有用的。因為無需高精度光學系統(tǒng)也能夠進行莫爾信號的檢測，所以能夠采用具有低分辨力(小數(shù)值孔徑)的觀測器，并且因此能夠構造多個觀測器。由此，能夠構造例如同時測量投射的四個角的標記的構成。
[0023]圖1B示出了壓印頭。噴墨頭1通過以模具保持單元10粘附模具2，來保持模具
2。壓力控制機構11能夠調整由密封玻璃12和模具背側包圍的模具背側空間的