21中進行對未使用的樹脂接收單元的交換時，從壓印裝置外部接收關(guān)于交換的槽信息，并且更新壓印裝置的存儲器單元和顯示單元的信息。
[0032]圖5示出了基板交換機構(gòu)51。能夠在上/下朝向上驅(qū)動基板交換機構(gòu)51，并且基板交換機構(gòu)51由能夠被驅(qū)動為在水平方向上伸縮和旋轉(zhuǎn)的第一臂53a和第二臂53b，以及能夠在水平方向上旋轉(zhuǎn)的基板輸送手52組成。保持多個基板3的基板載體56相對于第一基板裝卸機構(gòu)55a和第二基板裝卸機構(gòu)55b被加載/卸載?；遢斔褪?2能夠相對于被安裝在第一基板裝卸機構(gòu)55a或第二基板裝卸機構(gòu)55b上的基板載體56的任意槽、或者基板存儲單元54或基板臺4的任意槽，一次一個地加載或卸載基板3。基板輸送手52在其上表面上配備有粘附機構(gòu)，并且能夠粘附到基板3?；宕鎯卧?4配備有一個或更多個槽，并且能夠存儲一個或更多個、能夠在其上進行虛擬分配的虛擬基板。
[0033]虛擬基板可由硅、塑料、砷化鎵、碲化汞形成，也可以由它們的復(fù)合材料形成。虛擬基板具有與制造使用的基板3類似的、能夠放置在基板臺4上的形狀。虛擬基板上可以預(yù)先旋轉(zhuǎn)涂覆有包括用于降低上表面上的表面能的添加劑的、用于調(diào)整的復(fù)合液。
[0034]接下來將討論虛擬分配。關(guān)于第一虛擬分配，首先，驅(qū)動基板臺4使得第一樹脂接收單元17被布置在涂覆單元6的下側(cè)。接下來，從涂覆單元6僅進行預(yù)定次數(shù)的虛擬分配。接下來，驅(qū)動基板臺4使得虛擬分配到第一樹脂接收單元17上的樹脂26被布置在第一照射單元5b的下側(cè)。接下來，驅(qū)動切換機構(gòu)5d使得照射被導(dǎo)向第一照射單元5b。最后，驅(qū)動照射單元5的遮板(未示出)，并且固化虛擬分配到第一樹脂接收單元17上的樹脂26。如果虛擬分配區(qū)域比照射區(qū)域?qū)挘瑒t向第一虛擬分配區(qū)域43和第二虛擬分配區(qū)域44 一起進行虛擬分配。其后，可以驅(qū)動基板臺4以曝光并固化第一虛擬分配區(qū)域43，然后可以驅(qū)動基板臺4以照射并固化第二虛擬分配區(qū)域44?？梢詫Φ谝惶摂M分配區(qū)域43進行虛擬分配之后，驅(qū)動基板臺4以照射并固化第一虛擬分配區(qū)域43，然后對第二虛擬分配區(qū)域44進行虛擬分配之后，驅(qū)動基板臺4以照射并固化第二虛擬分配區(qū)域44。針對虛擬分配區(qū)域的分割數(shù)和照射的次數(shù)不限于2，可以大于2。此外，分割的虛擬分配區(qū)域之間沒有必要具有互相排他關(guān)系。
[0035]關(guān)于第二虛擬分配，首先，驅(qū)動涂覆單元6使得第二樹脂接收單元18被布置在涂覆單元6的下側(cè)。接下來，從涂覆單元6進行僅指定次數(shù)的虛擬分配。接下來，驅(qū)動第二樹脂接收單元保持臺25使得第二樹脂接收單元18被布置在第二照射單元5c的下側(cè)。接下來，驅(qū)動切換機構(gòu)5d以使能量束被導(dǎo)向第二照射單元5c。最后，驅(qū)動照射單元5的遮板(未示出)，并且固化虛擬分配到第二樹脂接收單元18上的樹脂26。當虛擬分配區(qū)域比照射區(qū)域?qū)挄r，進行與前述的、與第一虛擬分配的處理相同的處理。
[0036]針對第三虛擬分配，首先，將虛擬基板從基板存儲單元54加載到基板臺4。接下來，驅(qū)動基板臺4使得虛擬基板被布置在涂覆單元6的下側(cè)。接下來，從涂覆單元6進行僅指定次數(shù)的虛擬分配。接下來，驅(qū)動基板臺4使得虛擬分配到虛擬基板上的樹脂26被布置在第一照射單元5b的下側(cè)。接下來，驅(qū)動切換機構(gòu)5d使得照射被導(dǎo)向第一照射單元5c。接下來，驅(qū)動照射單元5的遮板(未示出)，并且固化虛擬分配到虛擬基板上的樹脂26。最后，將虛擬基板從基板臺4卸載到基板存儲單元54。在虛擬分配區(qū)域比照射區(qū)域?qū)挼那闆r下，進行與前述的、與第一虛擬分配的處理類似的處理。
[0037]通過圖6，將討論在根據(jù)本發(fā)明的壓印處理中的虛擬分配?？刂破?0在步驟S5的制造壓印步驟中，針對被輸送到基板臺4的基板3，進行通過圖2A至圖2F說明的壓印處理?？刂破?0僅進行與基板3的數(shù)量相同次數(shù)的壓印處理。在步驟S1的基板循環(huán)中，控制器60在步驟S2中確定是否需要虛擬分配。在步驟S2中，控制器60基于接下來討論的第一確定準則或第二確定準則，來確定是否需要虛擬分配。在進行壓印處理之前，指定要使用第一確定準則或第二確定準則中的哪一個。按照第一確定準則，如果經(jīng)過了用于虛擬分配的預(yù)定間隔，則控制器60確定進行下一虛擬分配。按照第二確定準則，在對象基板上的圖案的形成完成的時間點、從前一虛擬分配起的間隔，將超過預(yù)定間隔的情況下，控制器60確定在對象基板上圖案形成之前進行下一虛擬分配。基于加載、壓印以及卸載用于制造的基板的處理時間，在執(zhí)行壓印處理之前，確定并指定對用于制造的基板進行處理所需的間隔。
[0038]在步驟S3中，控制器60執(zhí)行前述的第一至第三虛擬分配。用于選擇虛擬分配的方法如下。在第一樹脂接收單元17和第二樹脂接收單元18被構(gòu)造在壓印裝置內(nèi)的情況下，如果涂覆單元6處在第一位置20a，則進行第一虛擬分配；如果涂覆單元6處在第二位置20b，則進行第二虛擬分配。如果第一樹脂接收單元17被構(gòu)造在壓印裝置內(nèi)并且第二樹脂接收單元18未被構(gòu)造在壓印裝置內(nèi)，則進行第一虛擬分配。如果第一樹脂接收單元17未被構(gòu)造在壓印裝置內(nèi)并且第二樹脂接收單元18被構(gòu)造在壓印裝置內(nèi)，則進行第二虛擬分配。其他情況，進行第三虛擬分配。與是第一至第三虛擬分配中的哪一個無關(guān)，控制器60將關(guān)于針對第一樹脂接收單元17、第二樹脂接收單元18以及虛擬基板中的各個，能夠進行虛擬分配的區(qū)域和虛擬分配的次數(shù)的信息，記錄在壓印裝置的存儲器單元中。控制器60從樹脂接收單元或虛擬基板中能夠進行虛擬分配的區(qū)域中，確定使用虛擬分配的區(qū)域，并控制涂覆單元6與第一樹脂接收單元17或第二樹脂接收單元18或虛擬基板的相對位置。在進行虛擬分配之后，控制器60在從能夠進行虛擬分配的區(qū)域中排除用于虛擬分配的區(qū)域之后，更新能夠進行虛擬分配的區(qū)域，并將該區(qū)域記錄在存儲器單元。控制器60還更新虛擬分配時刻和虛擬分配次數(shù)，并將虛擬分配時刻和虛擬分配次數(shù)記錄在存儲器單元中。
[0039]如果在第一樹脂接收單元17中能夠進行虛擬分配的區(qū)域不多于基準區(qū)域，或者如果對第一樹脂接收單元17的虛擬分配的次數(shù)大于或等于基準次數(shù)，則控制器60確定需要交換第一樹脂接收單元。如果確定需要第一樹脂接收單元17的交換，則控制器60通過使用交換機構(gòu)19來交換第一樹脂接收單元17。如果針對第二樹脂接收單元18能夠進行虛擬分配的區(qū)域不多于基準區(qū)域，或者如果對第二樹脂接收單元18的虛擬分配的次數(shù)大于或等于基準次數(shù)，則控制器60確定需要交換第二樹脂接收單元。如果確定需要第二樹脂接收單元18的交換，則控制器60通過使用交換機構(gòu)19來交換第二樹脂接收單元18。如果針對虛擬基板能夠進行虛擬分配的區(qū)域不多于基準區(qū)域，或者如果對虛擬基板的虛擬分配的次數(shù)大于或等于基準次數(shù)，則控制器60確定需要交換虛擬基板。如果確定需要虛擬基板的交換，則控制器60將交換基板存儲單元54中的虛擬基板的請求通知給壓印裝置外部。
[0040]在步驟S4中，控制器60使用基板交換機構(gòu)以將基板載體中的基板3加載到基板保持單元8。在步驟S5中，控制器60使用通過制造配方指定的條件，來進行通過圖2