壓力。通過使用壓力控制機(jī)構(gòu)11局部地增加模具背側(cè)空間的壓力以大于壓印裝置中的壓力，能夠使模具2的凹陷部(凹處)在與夾件相反側(cè)(基板側(cè))變形為凸形狀。
[0024]使用圖2A至圖2F，對將模具2的圖案轉(zhuǎn)印到基板3以在基板3上形成圖案的壓印處理進(jìn)行說明。首先，如圖2A所示，由涂覆單元6將樹脂26 (壓印材料)涂覆到基板3上。接下來，如圖2B所示，通過使模具2與基板3上的樹脂26接近以使模具2與樹脂26接觸，樹脂26填充模具2的圖案。接下來，如圖2C所示，利用能量束進(jìn)行照射，以固化樹脂26。在固化樹脂26之后，通過加寬模具2與基板3之間的間隔，能夠?qū)⒒?從固化的樹脂26分離(脫離步驟)。如圖2D所示，當(dāng)模具2被脫離時，將模具2的圖案轉(zhuǎn)印到樹脂26。在壓印裝置內(nèi)進(jìn)行圖2A至圖2D的處理。其后，如圖2E所示，利用樹脂26作為掩模來進(jìn)行蝕刻處理，并且如圖2F所示，當(dāng)去除樹脂26時，在基板3中形成圖案。由蝕刻裝置進(jìn)行圖2E的處理，并且由樹脂分離裝置進(jìn)行圖2F的處理。
[0025]圖3示出了模具2。模具2包括熔凝石英、有機(jī)聚合物以及金屬，但是不僅限于這些材料。模具2具有刻入其中央部的凹部32 (凹處)。針對凹部32的厚度，1mm左右是適當(dāng)?shù)摹２痪哂邪疾?2的面被稱為第一面，而具有凹部32的面被稱為第二面。第一圖案單元31形成在第一面的凹部32的中心。第一圖案單元31由第一圖案基單元35和圖案組成，并且第一圖案基單元35被構(gòu)造為厚度約為30 μm。如果在第一圖案單元31中形成用于制造的圖案，則存在例如在微小圖案中形成數(shù)納米或數(shù)十納米的圖案的情況。在這種情況下，從第一圖案凸部34至第一圖案凹形部33的圖案深度被構(gòu)造為從數(shù)十納米至數(shù)百納米左右。第一圖案基單元35配備有由軸上對準(zhǔn)觀測器16使用的模具側(cè)標(biāo)記36。
[0026]涂覆單元6包括能夠針對圖1A中的X、y、z軸平移和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的驅(qū)動單元、噴嘴單元以及用于向噴嘴單元供給樹脂26的樹脂供給單元。通過使用驅(qū)動單元沿X軸驅(qū)動噴嘴單元，涂覆單元6能夠在第一位置20a與第二位置20b之間移動，在所述第一位置處，能夠?qū)渲?6分配到基板3上，所述第二位置位于基板臺4的可移動范圍外，并且在所述第二位置處，能夠向第二樹脂接收單元18進(jìn)行樹脂26的虛擬分配。由用于分配樹脂26的約數(shù)千個分配穴來構(gòu)造涂覆單元6的噴嘴單元。除用于在基板3上的圖案形成的樹脂分配之夕卜，對于涂覆單元6的噴嘴單元而言，還需要進(jìn)行虛擬分配，以防止噴墨的噴嘴單元的堵塞以及維持噴墨分配性能。虛擬分配也可以被稱為初步分配或沖洗。
[0027]第一樹脂接收單元17和第二樹脂接收單元18是用于接收虛擬分配的樹脂26的容器。圖4示出了從圖1A的z軸的視角看到的第一樹脂接收單元17或第二樹脂接收單元18。第一樹脂接收單元17或第二樹脂接收單元18包括從頂面41被壓下約1mm的凹部42，并且針對凹部42執(zhí)行虛擬分配。如果凹部42是不因樹脂成分而劣化的材料，則不特別限制凹部42的材料。第一樹脂接收單元17被構(gòu)造在與保持基板3的位置不同的位置處的基板臺4上，并且基板臺4具有用于第一樹脂接收單元7的樹脂接收單元保持機(jī)構(gòu)(未示出)。樹脂接收單元保持機(jī)構(gòu)可以通過使用機(jī)械結(jié)構(gòu)來保持、通過使用磁力來保持或通過使用粘附來保持。樹脂接收單元保持機(jī)構(gòu)具有用于檢測第一樹脂接收單元17的有/無的傳感器。
[0028]第二樹脂接收單元18被構(gòu)造在第二樹脂接收單元保持臺25上，并且第二樹脂接收單元保持臺25配備有用于第二樹脂接收單元18的樹脂接收單元保持機(jī)構(gòu)(未示出)。樹脂接收單元保持機(jī)構(gòu)可以通過使用機(jī)械結(jié)構(gòu)保持、通過使用磁力保持、或通過使用粘附保持。樹脂接收單元保持機(jī)構(gòu)具有用于檢測第一樹脂接收單元17的有/無的傳感器。第二樹脂接收單元保持臺25能夠在圖1A的X、y、z軸的平移方向上被驅(qū)動。交換機(jī)構(gòu)19具有能夠在圖1A的X、y、z軸上平移并且繞Z軸旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動單元以及用于保持第一樹脂接收單元17或第二樹脂接收單元18的樹脂接收單元保持機(jī)構(gòu)(未示出)。樹脂接收單元保持機(jī)構(gòu)可以通過使用機(jī)械結(jié)構(gòu)保持、通過使用磁力保持、或通過使用粘附保持。
[0029]存儲單元21具有至少兩個或更多能夠存儲樹脂接收單元的槽。存儲單元21具有用于檢測各槽的樹脂接收單元的有/無的傳感器。能夠從壓印裝置外部訪問存儲單元21，以交換槽中的樹脂接收單元。如果由交換機(jī)構(gòu)19交換第一樹脂接收單元17，則首先將基板臺4驅(qū)動到交換機(jī)構(gòu)19可訪問的交換位置，并且消除基板臺4的樹脂接收單元保持機(jī)構(gòu)的保持。接下來，將交換機(jī)構(gòu)19驅(qū)動到交換機(jī)構(gòu)19能夠保持第一樹脂接收單元17的位置，并且由交換機(jī)構(gòu)19保持第一樹脂接收單元17。接下來，將交換機(jī)構(gòu)19驅(qū)動到交換機(jī)構(gòu)19能夠?qū)⒌谝粯渲邮諉卧?7傳送到樹脂接收單元存儲單元21的位置，并且將第一樹脂接收單元17傳送到存儲單元21的空槽。接下來，將交換機(jī)構(gòu)19驅(qū)動到存儲有待交換的第一樹脂接收單元的存儲單元21的槽，并且由交換機(jī)構(gòu)19保持待交換的第一樹脂接收單元
17。最后，將交換機(jī)構(gòu)19驅(qū)動到基板臺4的樹脂接收單兀保持機(jī)構(gòu)能夠保持弟一樹脂接收單元17的位置，并且由基板臺4的樹脂接收單元保持機(jī)構(gòu)保持第一樹脂接收單元17。用于通過使用交換機(jī)構(gòu)19來交換第一樹脂接收單元17的交換位置與用于通過使用基板交換機(jī)構(gòu)(未示出)來加載或卸載基板3的基板交換位置相同，并且有效地與基板3的交換并行地進(jìn)行第一樹脂接收單元17的交換。即使第一樹脂接收單元17的交換與基板3的交換不能并行地進(jìn)行，也不妨礙本發(fā)明。
[0030]如果通過使用交換機(jī)構(gòu)19交換第二樹脂接收單元18，則首先，消除第二樹脂接收單元保持臺25的樹脂接收單元保持機(jī)構(gòu)的保持。接下來，將交換機(jī)構(gòu)19驅(qū)動到交換機(jī)構(gòu)19能夠保持第二樹脂接收單元18的位置，并且由交換機(jī)構(gòu)19保持第二樹脂接收單元18。接下來，將交換機(jī)構(gòu)19驅(qū)動到交換機(jī)構(gòu)19能夠?qū)⒌诙渲邮諉卧?8傳送到存儲單元21的位置，并且將第二樹脂接收單元18傳送到存儲單元21的空槽。接下來，將交換機(jī)構(gòu)19驅(qū)動到存儲有待交換的第一樹脂接收單元的、存儲單元21的槽，并且由交換機(jī)構(gòu)19保持待交換的第二樹脂接收單元18。最后，將交換機(jī)構(gòu)19驅(qū)動到能夠利用第二樹脂接收單元保持臺25的樹脂接收單元保持機(jī)構(gòu)保持第二樹脂接收單元18的位置，并且由第二樹脂接收單元保持臺25的樹脂接收單元保持機(jī)構(gòu)保持第二樹脂接收單元18。第二樹脂接收單元18的交換可以與通過圖2A至圖2F說明的壓印處理，或基板3的交換并行地執(zhí)行。即使第二樹脂接收單元18的交換與基板3的交換不能并行地進(jìn)行，也不妨礙本發(fā)明。
[0031]在交換樹脂接收單元之后，針對具有未加載的樹脂接收單元的存儲單元21的槽信息被記錄在壓印裝置的存儲器單元中，在壓印裝置的顯示單元上顯示是未使用各槽中的樹脂接收單元，還是使用了各槽中的樹脂接收單元，并且向壓印裝置外部的系統(tǒng)做出通知。如果不存在未使用的樹脂接收單元，則向壓印裝置外部做出針對交換請求的通知。當(dāng)在存儲單元