技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種無粘連金屬密堆生長石墨烯的方法，所述方法包括步驟：步驟1），在金屬箔片的第一表面沉積氧化物，金屬箔片的第二表面為金屬面，將金屬箔片按氧化物表面朝向金屬面的順序堆疊或者卷起來，形成金屬堆垛或金屬卷；步驟2），采用化學(xué)氣相沉積法于所述金屬堆垛或金屬卷的金屬面上生長石墨烯。本發(fā)明的方法重復(fù)性高、簡單易行，可用于大面積高質(zhì)量石墨烯的規(guī)模批量制備；本發(fā)明通過在金屬箔片背面沉積氧化物的方法，避免了金屬箔片之間的相互粘連，可一次性在CVD設(shè)備腔體中放入大量或大面積的金屬箔片，極大的提高了石墨烯的生長效率。

技術(shù)研發(fā)人員：于廣輝;張燕輝;隋妍萍;陳志鎣;鄧榮軒;葛曉明;梁逸儉;胡詩珂
受保護的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
文檔號碼：201611130948
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.09
技術(shù)公布日：2017.05.31