從已知的幾種中選取，比如切斷片，從膜的下方突出一根針頂起的裝置。這樣對(duì) 拾取pick up，放射線的照射就很重要，在拾取pick up之前照射。照射線可以為，α線、β 線、γ線、中性子線、電子線、紫外線等，紫外線最合適。放射線的照射強(qiáng)度，照射時(shí)間不限， 按實(shí)際情況設(shè)定。
[0077] 貼膜工序是指，在硅片背面減薄后，對(duì)產(chǎn)生的新硅片活性面進(jìn)行的非常重要的步 驟，順帶一提，通常貼膜在硅片背面減薄，除碎肩的工序后進(jìn)行，在短時(shí)間內(nèi)，使新產(chǎn)生的硅 片活性面保持不失去活性狀態(tài)下實(shí)施的。貼膜工藝后實(shí)行的切割非常重要。比如，貼膜后 馬上切割，或是貼膜后過一段長時(shí)間再切割也可以，切割后的拾取pick up工藝也很重要， 當(dāng)然貼膜，切割之間，切割和拾取pick up之間，都根據(jù)實(shí)際工藝對(duì)應(yīng)。
[0078] 實(shí)施例1 丙烯酸甲酯：75重量比，2-丙烯酸-2-甲氧基乙酯：10重量比，N-乙烯基吡咯烷酮；10 重量比，以及丙烯酸羥乙酯：5重量比通過常法在乙酸乙酯中聚合，并在含丙烯系溶液中獲 得。
[0079] 接下來，前記的丙烯系聚合含有溶液中，加入20重量比的甲基丙烯酸異氰基乙 酯，然后加入作為催化劑的二月桂酸二丁基錫〇. 08重量比，通過在30° 144小時(shí)的時(shí)間反 應(yīng)，獲得含有側(cè)鎖末端碳素-碳素二重結(jié)合的二重結(jié)合側(cè)鎖導(dǎo)入型丙烯系聚合物。這個(gè)二 重結(jié)合側(cè)鎖導(dǎo)入型丙烯系聚合物，是丙烯系聚合物的側(cè)鎖末端的羥基的90摩爾％，附加甲 基丙烯酸異氰基乙酯的異氰酸酯酯所得。
[0080] 接著，前記二重結(jié)合側(cè)鎖導(dǎo)入型丙烯系聚合物含有溶液A，三（2, 3-二溴丙基）異 氰脲酸酯：50重量比，光重合劑作為商品名的2' -羥基苯乙酮：3重量比，聚異氟爾酮二異 氰酸酯系化合物：3重量比相加，獲得紫外線硬化性丙烯系粘著劑溶液。
[0081] 作為基材，使用單面做放電處理的直鎖狀低密度聚乙烯值薄膜(厚度70 μπι)。
[0082] 基材的放電處理面，涂布前記的紫外線硬化型丙烯系粘著劑溶液，80° 10分鐘 加熱，然后催化，基材上形成作為放射線硬化性粘著劑層的紫外線硬化性粘著劑層(厚度 5 μm)，然后這個(gè)紫外線硬化性粘著劑層的表面貼付離型膜，制成紫外線硬化性切割膜。紫 外線硬化性粘著劑層，重量平均分子在50萬的二重結(jié)合側(cè)鎖導(dǎo)入型丙烯系聚合物，通過聚 異氟爾酮二異氰酸酯系化合物催化構(gòu)成丙烯系聚合物。
[0083] 實(shí)施例2 獲得同實(shí)施例1 一樣的二重結(jié)合側(cè)鎖導(dǎo)入型丙烯系聚合物含有溶液A，4-硝基鄰苯二 胺：50重量比，光重合劑作為商品名的2'-羥基苯乙酮：3重量比，聚異氟爾酮二異氰酸酯 系化合物：3重量比相加，獲得紫外線硬化性丙烯系粘著劑溶液。
[0084] 作為基材，使用單面做放電處理的直鎖狀低密度聚乙烯值薄膜(厚度70 μπι)。
[0085] 前記紫外線硬化性丙烯系粘著劑溶液B以外，同實(shí)施例1同樣方法制作紫外線硬 化性切割膜。
[0086] 實(shí)施例3 獲得同實(shí)施例1 一樣的二重結(jié)合側(cè)鎖導(dǎo)入型丙烯系聚合物含有溶液Α，這個(gè)二重結(jié)合 側(cè)鎖導(dǎo)入型丙烯系聚合物含有溶液Α，季戊四醇三丙烯酸酯以及二異氰酸鹽反應(yīng)所得的紫 外線硬化性低聚物，光重合劑作為商品名的2'-羥基苯乙酮：3重量比，聚異氟爾酮二異氰 酸酯系化合物：3重量比相加，獲得紫外線硬化性丙烯系粘著劑溶液。
[0087] 作為基材，使用同實(shí)施例1 一樣的單面做放電處理的直鎖狀低密度聚乙烯值薄膜 (厚度 70μπι)。
[0088] 然后，除使用前記的紫外線硬化性丙烯系粘著劑溶液c以外，用同實(shí)施例1 一樣制 得紫外線硬化性切割膜。
[0089] 實(shí)施例4丙烯酸甲酯：95重量比，以及丙烯酸：5重量比，乙酸乙酯中用一般方法 聚合，獲得重量平均分子80萬含0丙烯系聚合的溶液。這種丙烯系聚合含有溶液D，季戊四 醇三丙烯酸酯同二異氰酸鹽反應(yīng)和得到的紫外線硬化性低聚物：50重量比，光聚合劑品名 安息香雙甲醚：3重量比，聚異氟爾酮二異氰酸酯系化合物：3重量比相加，獲得紫外線硬化 性丙條系粘著劑洛液。
[0090] 作為基材，使用同實(shí)施例1 一樣的單面做放電處理的直鎖狀低密度聚乙烯值薄膜 (厚度 70μπι)。
[0091] 然后，除使用前記的紫外線硬化性丙烯系粘著劑溶液D以外，用同實(shí)施例1 一樣制 得紫外線硬化性切割膜。
[0092] 評(píng)價(jià)實(shí)施例1~2以及比較例1~2得到的切割膜，根據(jù)下記所述的拾取pick up 性的評(píng)價(jià)方法，粘著力的測(cè)定方法，拾取pick up性，評(píng)價(jià)或測(cè)定粘著力，然后根據(jù)測(cè)定結(jié)果 進(jìn)行的綜合評(píng)價(jià)，評(píng)價(jià)結(jié)果如表一所示
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種活性面貼付用切割膜，其特征在于：包括基材，在所述基材至少一面設(shè)有放射 線硬化性粘著劑層，所述放射線硬化性粘著劑層包括重量平均分子量在50萬以上的丙 烯系聚合物和/或從碳素-碳素二重結(jié)合基的氰脲酸酯系化合物中選取一種放射線聚 合性化合物，作為膠帶粘著劑層化合物成分的丙烯，烷基脂，占切割膜總體質(zhì)量的60 %以 上，且聚合性方面作為使用含羥基單體經(jīng)聚合后得到的丙烯酸聚合物，側(cè)鎖部分羥基以 10/100~100/100,同與其反應(yīng)的官能基和含有碳素-碳素二重結(jié)合基反應(yīng)，向聚合物導(dǎo)入 碳素-碳素二重化合物，重量平均分子量在50萬以上的二重結(jié)合側(cè)鎖導(dǎo)入型丙烯系聚合 物，和碳素-碳素二重結(jié)合基的氰脲酸酯系化合物，以及從碳素-碳素二重結(jié)合基的氰脲酸 酯系化合物中選取一種放射線聚合性化合物（B)，丙烯系聚合物（A)，按100的重量比率，放 射線聚合性化合物（B)從5~150的重量比例，按此比例為特征的活性面貼付切割膜。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的活性面貼付用切割膜，其特征在于：所述的反射線聚合性化 合物的分子中，含有碳素-碳素二重結(jié)合基2~12個(gè)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的活性面貼付用切割膜，其特征在于：所述的放射線聚合性化 合物碳素-碳素二重結(jié)合基，從乙烯基，芳基，丙烯基，以及甲基丙烯基中選取一種。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的活性面貼付用切割膜，其特征在于：丙烯系聚合物（A)的重量 平均分子量在80萬至300萬。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的活性面貼付用切割膜，其特征在于：所述的放射線硬化層粘 著劑層為單層的形態(tài)或多層的形態(tài)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的活性面貼付用切割膜，其特征在于：丙稀系聚合物（A)，碳 素-碳素二重結(jié)合，側(cè)鎖，主鎖中以及主鎖末端存在的丙稀系聚合物，加入放射線硬化性單 體和低聚物的低分子量成分，切割膜在活性面貼附后，通過放射線照射。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的活性面貼付用切割膜，其特征在于：丙烯系聚合物（A)包括丙 烯酸甲酯，丙烯酸乙酯、丙烯酸羥丙酯、丙烯酸異丙酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸異丁酯、正庚基 丙烯酸酯、丙烯酸辛酯、丙烯酸癸酯、丙烯酸十二酯、丙烯酸十三酯、丙烯酸十四酯、十五基 丙烯酸酯、丙烯酸十六酯、丙烯酸十七烷基、丙烯酸十八酯、丙烯酸酯、丙烯酸環(huán)己酯等，丙 烯酸苯酯、芳基丙烯酸酯。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的活性面貼付用切割膜，其特征在于：所述的放射線硬化性粘 著劑層設(shè)有離型膜保護(hù)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的活性面貼付用切割膜，其特征在于：基材的厚度為30至 200 ym〇
10. -種切割后被加工物拾取的方法，其特征在于：對(duì)于被加工物的活性面，在權(quán)利要 求1至9任一所述的活性面貼付用切割膜貼付后切割，對(duì)形成的切割片進(jìn)行拾取。
【專利摘要】本發(fā)明一種活性面貼付用切割膜，包括基材，在所述基材至少一面設(shè)有放射線硬化性粘著劑層，所述放射線硬化性粘著劑層包括丙烯系聚合物和/或從碳素-碳素二重結(jié)合基的氰脲酸酯系化合物中選取一種放射線聚合性化合物，聚合性方面作為使用含羥基單體經(jīng)聚合后得到的丙烯酸聚合物，側(cè)鎖部分羥基以10/100~100/100，同與其反應(yīng)的官能基和含有碳素-碳素二重結(jié)合基反應(yīng)，向聚合物導(dǎo)入碳素-碳素二重化合物，重量平均分子量在50萬以上的二重結(jié)合側(cè)鎖導(dǎo)入型丙烯系聚合物，和碳素-碳素二重結(jié)合基的氰脲酸酯系化合物，以及從碳素-碳素二重結(jié)合基的氰脲酸酯系化合物中選取一種放射線聚合性化合物（B）。
【IPC分類】C09J7-02
【公開號(hào)】CN104861887
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510130747
【發(fā)明人】徐晶驥
【申請(qǐng)人】上海東煦電子科技有限公司
【公開日】2015年8月26日
【申請(qǐng)日】2015年3月25日