圖2是用于說明收容在圖1所示的冷卻槽主體中的深冷處理裝置的結(jié)構(gòu)要素的圖，是透過圖1所示的蓋體，沿A向觀察圖1所示的冷卻槽的俯視圖。
[0044]因此，在圖2中，省略作為第一實(shí)施方式的深冷處理裝置10的結(jié)構(gòu)要素的蓋體36的圖示。
[0045]圖3是用于說明收容在圖1所示的冷卻槽主體中的深冷處理裝置的結(jié)構(gòu)要素的圖，是透過圖1所示的第一側(cè)壁，沿B向觀察圖1所示的冷卻槽的圖。因此，在圖3中，省略作為第一實(shí)施方式的深冷處理裝置10的結(jié)構(gòu)要素的第一側(cè)壁39-1的圖示。
[0046]另外，在圖1至圖3中，對(duì)相同的結(jié)構(gòu)部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記。
[0047]參照?qǐng)D1至圖3，第一實(shí)施方式的深冷處理裝置10具有冷卻槽13、貫通孔14、溫度傳感器16、溫度調(diào)節(jié)計(jì)18、制冷劑供給管道21、制冷劑供給部23、液態(tài)制冷劑導(dǎo)入閥24、整流部件25、攪拌風(fēng)扇27、旋轉(zhuǎn)軸28、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置29和排氣部件31。
[0048]冷卻槽13具有冷卻槽主體35和蓋體36。冷卻槽主體35具有底板38和第一至第四側(cè)壁39-1?39-4 ο
[0049]第一至第四側(cè)壁39-1?39-4被配置為包圍呈矩形的底板38的外周緣。第一至第四側(cè)壁39-1?39-4的下端與底板38成為一體。
[0050]第一及第二側(cè)壁39-1、39-2被相對(duì)配置。第三及第四側(cè)壁39-3、39-4被相對(duì)配置。
[0051]第一及第二側(cè)壁39-1、39-2與分別相鄰的第三及第四側(cè)壁39_3、39_4成為一體。
[0052]蓋體36與第一至第四側(cè)壁39-1?39_4的上端面接觸。由此，在冷卻槽13內(nèi)形成有呈長方體或正方體的內(nèi)部空間(包括被冷卻物載置室43和風(fēng)扇收容室45的空間)。
[0053]冷卻槽13具有被冷卻物載置室43和風(fēng)扇收容室45。被冷卻物載置室43和風(fēng)扇收容室45通過整流部件25而劃分。在被冷卻物載置室43中載置有被冷卻物11。
[0054]貫通孔14被設(shè)置為貫通第二側(cè)壁39_3。貫通孔14被配置在第二側(cè)壁39_3中的、作為位于被冷卻物載置室43的高度H的上半部分的空間且位于被冷卻物11與整流部件25之間的部分。貫通孔14的形狀例如可以是圓柱(參照?qǐng)D4和圖5)，但不限定于此。例如，作為貫通孔14的形狀，還可以使用方柱。
[0055]此外，所謂高度H是指與底板的內(nèi)部空間側(cè)的表面(上表面)和蓋體的內(nèi)部空間側(cè)的表面(下表面)正交的距離，位于被冷卻物載置室43的高度H的上半部分的空間是指冷卻槽的內(nèi)部空間中的、以正交距離從蓋體的下表面到H/2之間的空間。
[0056]溫度傳感器16的前端部16A被配置在風(fēng)扇收容室45內(nèi)。溫度傳感器16與溫度調(diào)節(jié)計(jì)18電連接。溫度傳感器16將與風(fēng)扇收容室45的溫度相關(guān)的數(shù)據(jù)發(fā)送到溫度調(diào)節(jié)計(jì)18中。
[0057]作為溫度傳感器16，例如可使用熱電偶。在這種情況下，前端部16A為溫接點(diǎn)的接合點(diǎn)。
[0058]溫度調(diào)節(jié)計(jì)18被設(shè)置在冷卻槽13的外部。溫度調(diào)節(jié)計(jì)18與溫度傳感器16和液態(tài)制冷劑導(dǎo)入閥24電連接。在溫度調(diào)節(jié)計(jì)18中預(yù)先存儲(chǔ)有與風(fēng)扇收容室45的規(guī)定溫度范圍(例如，-80?一 70°C )相關(guān)的數(shù)據(jù)。
[0059]溫度調(diào)節(jié)計(jì)18基于與風(fēng)扇收容室45的規(guī)定溫度范圍(例如，一 80?一 70°C )相關(guān)的數(shù)據(jù)和從溫度傳感器16發(fā)送的數(shù)據(jù)(具體而言，與風(fēng)扇收容室45的實(shí)際測(cè)定的溫度相關(guān)的數(shù)據(jù))，調(diào)節(jié)液態(tài)制冷劑導(dǎo)入閥24的開度(也包括開閉)，以使風(fēng)扇收容室45的溫度為規(guī)定溫度范圍。
[0060]制冷劑供給管道21的一端與配置在冷卻槽13的外部的液態(tài)制冷劑供給源(未圖示)連接，另一端與配置在風(fēng)扇收容室45中的制冷劑供給部23連接。作為液態(tài)制冷劑供給源(未圖示)，例如可使用供給液態(tài)氮來作為液態(tài)制冷劑的供給源。
[0061]制冷劑供給部23被配置在風(fēng)扇收容室45中。制冷劑供給部23用于將通過制冷劑供給管道21輸送來的液態(tài)制冷劑供給到攪拌風(fēng)扇27的側(cè)面。
[0062]液態(tài)制冷劑導(dǎo)入閥24為電磁閥，被設(shè)置在制冷劑供給管道21上。液態(tài)制冷劑導(dǎo)入閥24與溫度調(diào)節(jié)計(jì)18電連接。
[0063]液態(tài)制冷劑導(dǎo)入閥24為用于調(diào)節(jié)向制冷劑供給部23供給液態(tài)制冷劑與否以及調(diào)節(jié)向制冷劑供給部23供給的液態(tài)制冷劑的供給量的閥。
[0064]液態(tài)制冷劑導(dǎo)入閥24在因風(fēng)扇收容室45內(nèi)的溫度上升而風(fēng)扇收容室45內(nèi)的溫度脫離規(guī)定溫度范圍(例如，-80?一 70°C )時(shí)，向風(fēng)扇收容室45內(nèi)供給液態(tài)制冷劑。
[0065]整流部件25以劃分被冷卻物載置室43和風(fēng)扇收容室45的方式被配置在冷卻槽13內(nèi)。
[0066]整流部件25具有板狀部件47、吸入口 48和第一及第二吹出口 49_1、49_2。板狀部件47為厚度均勻的部件。
[0067]板狀部件47的上端部與蓋體36的下表面36a(內(nèi)部空間側(cè)的表面)接觸，板狀部件47的下端面與底板38的上表面38a(內(nèi)部空間側(cè)的表面)接觸。
[0068]另外，板狀部件47的橫向的一個(gè)端面與第三側(cè)壁39-3的內(nèi)表面接觸，板狀部件47的橫向的另一個(gè)端面與第四側(cè)壁39-4的內(nèi)表面接觸。
[0069]吸入口 48被設(shè)置為貫通板狀部件47中的、與收容在風(fēng)扇收容室45中的攪拌風(fēng)扇27相對(duì)的部分(具體而言，板狀部件47的中央部)。
[0070]S卩，吸入口 48和第一及第二吹出口 49-1、49-2被設(shè)置在厚度均勻的同一板狀部件47上。
[0071]特別優(yōu)選地，吸入口 48和第一及第二吹出口 49-1、49-2在板狀部件47的內(nèi)部開口面積不會(huì)減小，而沿厚度方向以一定的面積開口。
[0072]吸入口 48為用于將被冷卻物載置室43的氣氛氣體導(dǎo)入到風(fēng)扇收容室45中的貫通部。
[0073]吸入口 48的形狀例如可設(shè)定為與攪拌風(fēng)扇27的外形27A相同的形狀。吸入口 48的大小被設(shè)定為與攪拌風(fēng)扇27的外形27A大致相等的大小。
[0074]在本發(fā)明中，所謂吸入口 48的大小與攪拌風(fēng)扇27的外形27A大致相等是指吸入口 48的直徑在攪拌風(fēng)扇27的直徑的0.9?1.1倍的范圍內(nèi)。
[0075]第一吹出口 49-1貫通位于吸入口 48與第三側(cè)壁39_3之間的板狀部件47。作為第一吹出口 49-1，例如可以是在從底板38朝向蓋體36的方向上延伸的貫通槽(狹縫)。
[0076]第二吹出口 49-2貫通位于吸入口 48與第四側(cè)壁39_4之間的板狀部件47。第二吹出口 49-2為與第一吹出口 49-1相同的形狀。在將側(cè)壁39-3設(shè)定在右側(cè)，并將側(cè)壁39-4設(shè)定在左側(cè)的情況下，整流部件25為左右對(duì)稱的形狀。
[0077]第一及第二吹出口 49-1、49_2用于將風(fēng)扇收容室45的氣氛氣體導(dǎo)入到被冷卻物載置室43中。
[0078]此外，在圖3中，作為第一及第二吹出口 49-1、49-2的一例，圖示了在板狀部件47的上下方向上延伸的貫通槽，但第一及第二吹出口 49-1、49-2的形狀和數(shù)量并不限定于此。另外，第一及第二吹出口 49-1、49-2的形狀也可以不同。
[0079]例如，作為第一及第二吹出口 49-1、49_2，也可以在板狀部件47上設(shè)置一列或多列呈圓形或方形的貫通部，并且還可以使所述貫通部的大小不同。
[0080]另外，例如，還可以在板狀部件47的橫向或縱向上配置呈長方形或橢圓形的貫通槽，也可以使所述貫通槽的大小不同。
[0081]攪拌風(fēng)扇27以與吸入口 48相對(duì)的方式被配置在風(fēng)扇收容室45中。攪拌風(fēng)扇27與貫通第二側(cè)壁39-2的旋轉(zhuǎn)軸的一端連接。由此，攪拌風(fēng)扇27以可旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)被配置在風(fēng)扇收容室45中。作為攪拌風(fēng)扇27，例如可使用多葉片風(fēng)扇。
[0082]攪拌風(fēng)扇27使從攪拌風(fēng)扇27的側(cè)方供給來的液態(tài)制冷劑為霧狀或低溫氣體，并且攪拌冷卻槽13內(nèi)的氣氛氣體。
[0083]由此，經(jīng)由吸入口 48吸入的被冷卻物載置室43的氣氛氣體向攪拌風(fēng)扇27的后側(cè)方擴(kuò)散，并且風(fēng)扇收容室45的氣氛氣體經(jīng)由第一及第二吹出口 49-1、49-2被導(dǎo)入到被冷卻物載置室43中。
[0084]旋轉(zhuǎn)軸28貫通第二側(cè)壁39-2。旋轉(zhuǎn)軸28的一端與攪拌風(fēng)扇27連接，設(shè)置在冷卻槽13的外部的另一端與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置29連接。
[0085]旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置29被設(shè)置在冷卻槽13的外部。旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置29經(jīng)由旋轉(zhuǎn)軸28，使攪拌風(fēng)扇27旋轉(zhuǎn)。作為旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置29，例如可使用電動(dòng)機(jī)。
[0086]圖4是圖2所示的排氣部件和冷卻槽主體的第三側(cè)壁的C-C向的剖視圖。圖5是沿D向觀察圖4所示的貫通孔和位于貫通孔的周圍的第三側(cè)壁的圖。圖6是沿E向觀察圖4所示的排氣部件的圖。此外，在圖5中，省略圖4所示的排氣部件的圖示。
[0087]參照?qǐng)D2至圖4和圖6，排氣部件31具有排氣部件主體55、排氣口 56和排水用孔57。
[0088]排氣部件主體55為呈筒狀的部件，且一端為開放端。排氣部件主體55的開放端