側(cè)的端部被插入到設(shè)置于第三側(cè)壁39-3的貫通孔14中。排氣部件主體55的外徑與貫通孔14的內(nèi)徑相等。
[0089]排氣部件主體55在排氣部件主體55被安裝于貫通孔14的狀態(tài)下，從貫通孔14延伸至被冷卻物載置室43的內(nèi)部，從而另一端部被配置在排氣口配置空間59內(nèi)。
[0090]排氣口配置空間59為被冷卻物載置室43中的、位于上半部分的空間，并且為橫向?qū)挾扰c吸入口 48的橫向最大寬度(在圖3的情況下為吸入口 48的直徑)一致的空間。
[0091]此外，所謂位于上述上半部分的空間是指將蓋體36的下表面36a與底板38的上表面38a正交的距離設(shè)為被冷卻物載置室43的高度H時(shí)的、冷卻槽的內(nèi)部空間中的、以正交距離從蓋體36的下表面36a到H/2的空間。所謂排氣口配置空間59的橫向和吸入口 48的橫向是指與所述高度正交且與所述整流部件25平行的方向。
[0092]另外，所謂排氣口配置空間59的橫向?qū)挾扰c吸入口48的橫向最大寬度(在圖3的情況下為吸入口 48的直徑)一致的空間是指冷卻槽的內(nèi)部空間中的、所述排氣口配置空間的所述寬度的中心與所述吸入口的最大寬度的中心一致且橫向?qū)挾纫恢碌目臻g。
[0093]與排氣部件主體55的延伸方向正交的面的外形并不特別限定，例如可以是圓形或方形等。在圖6中，作為排氣部件主體55的一例，圖示呈圓筒狀(排氣部件主體55的外形為圓形)的配管。
[0094]此外，在圖4中，作為一例，舉例說(shuō)明了使排氣部件主體55插入到貫通孔14中的情況，但也可以使排氣部件主體55的內(nèi)徑與貫通孔14的內(nèi)徑相同，并將排氣部件主體55固定在冷卻槽13上，而不將排氣部件主體55的一部分插入貫通孔14中。
[0095]排氣口 56具有如下功能:在向風(fēng)扇收容室45內(nèi)供給液態(tài)制冷劑以使冷卻槽13內(nèi)的壓力上升時(shí)，經(jīng)由排氣部件主體55，將低溫氣體(液態(tài)制冷劑經(jīng)氣化的物質(zhì))的一部分排出到冷卻槽13的外部，由此進(jìn)行調(diào)整以使冷卻槽13內(nèi)的壓力在規(guī)定的壓力范圍內(nèi)。
[0096]排氣口 56被設(shè)置在排氣部件主體55的、與貫通孔14連接的端的另一端。由此，排氣口 56被配置在從冷卻槽13的第一至第四側(cè)壁39-1?39-4分離的被冷卻物載置室45的內(nèi)部。
[0097]如此，通過(guò)在被冷卻物載置室43中的、作為位于上半部分的空間且橫向?qū)挾扰c吸入口 48的橫向最大寬度(在圖3的情況下為吸入口 48的直徑)一致的排氣口配置空間59配置排氣口 56，從而在被冷卻物載置室43內(nèi)的從側(cè)壁39-1朝向側(cè)壁39-2的方向的中心線上形成低溫氣體流路，并通過(guò)在該流路上配置排氣口 56而使偏流消失，因此能夠均勻地冷卻被冷卻物(換言之，能夠抑制被冷卻物11的質(zhì)量偏差)。
[0098]另外，由于能夠抑制位于第一側(cè)壁39-1、第三側(cè)壁39-3和第四側(cè)壁39-4的附近且并不充分有助于被冷卻物載置室43的冷卻的低溫氣體從排氣口 5排氣，因此能夠削減被冷卻物11的冷卻中所使用的液態(tài)制冷劑。
[0099]即，能夠均勻地冷卻被冷卻物11，并且能夠削減被冷卻物11的冷卻中所使用的液態(tài)制冷劑。
[0100]此外，關(guān)于排氣口 56，優(yōu)選地，排氣口 56的整體被配置在排氣口配置空間59內(nèi)，但即使在排氣口 56的一部分被配置在排氣口配置空間59內(nèi)的情況下也能夠得到相同的效果O
[0101]另外，由于在使排氣口56配置在被冷卻物載置室43中的、位于下半部分的空間(是指冷卻槽的內(nèi)部空間中的、以正交距離從底板38的上表面38a到H/2的空間)的情況下，回收可充分有助于被冷卻物載置室43的冷卻的低溫氣體，因此如上述說(shuō)明那樣，排氣口 56有必要配置在被冷卻物載置室43中的、位于上半部分的空間。
[0102]排氣部件主體55在與貫通孔14連接的端的另一端側(cè)具有朝向蓋體側(cè)開(kāi)口的排氣口 56。通過(guò)將排氣口 56朝向蓋體側(cè)設(shè)置，從而沉淀在冷卻槽13下方的溫度更低的低溫氣體以繞進(jìn)排氣部件主體55的方式到達(dá)排氣口 56，因此能夠毫不浪費(fèi)地利用冷熱。例如，在排氣部件主體55的排氣口 56向冷卻槽的側(cè)壁39-1開(kāi)口的情況下，從水平方向送風(fēng)來(lái)的低溫氣體在冷卻槽13內(nèi)循環(huán)之前易于從排氣口 56吸入，因此冷熱產(chǎn)生浪費(fèi)。
[0103]如圖7所示，在利用排氣部件主體55的延伸方向正交的面以通過(guò)排氣口 56的方式剖切排氣部件31的狀態(tài)下，排氣口 56構(gòu)成為通過(guò)連結(jié)排氣口 56的兩端56A、56B與排氣部件主體55的中心而形成的中心角Θ在90度以內(nèi)即可。由于能夠使從排氣口 56吸入的低溫氣體量變?yōu)檫m當(dāng)，因此能夠進(jìn)一步無(wú)浪費(fèi)地利用低溫氣體的冷熱。
[0104]參照?qǐng)D2和圖4，排水用孔57位于與排氣口 56相反的一側(cè)，即位于冷卻槽13的底板側(cè)38，并且被設(shè)置為貫通排氣部件主體55。
[0105]然而，當(dāng)冷卻槽13內(nèi)的溫度為規(guī)定溫度范圍內(nèi)的溫度，停止液態(tài)制冷劑的供給時(shí)，冷卻槽13的外部的大氣經(jīng)由排氣部件主體55 (換言之，排氣部件31)侵入，從而大氣中包含的水分在排氣部件主體55內(nèi)結(jié)露、凍結(jié)，以使排氣部件主體55內(nèi)閉塞。
[0106]因此，通過(guò)在位于排氣口 56下方的排氣部件主體55中設(shè)置排水用孔57，從而能夠抑制水分在排氣部件主體55內(nèi)滯留，因此能夠抑制排氣部件主體55 (換言之，排氣部件31)內(nèi)的閉塞。
[0107]根據(jù)第一實(shí)施方式的深冷處理裝置，設(shè)置從設(shè)置于構(gòu)成被冷卻物載置室43的第三側(cè)壁39-3的貫通孔14延伸至被冷卻物載置室43的內(nèi)部且具有排氣口 56的排氣部件31，并且在作為位于被冷卻物載置室43的上半部分的空間且橫向?qū)挾扰c吸入口 48的橫向最大寬度(在圖3所示的吸入口 48的情況下為直徑)一致的排氣口配置空間59配置排氣口 56，從而即使在從排氣口 56排出低溫氣體(無(wú)助于被冷卻物載置室43的冷卻的低溫氣體)的情況下，也能夠抑制被冷卻物載置室43內(nèi)的氣氛氣體的溫度偏差。
[0108]由此，能夠均勻地冷卻被冷卻物11 (換言之，能夠抑制被冷卻物11的質(zhì)量偏差)。
[0109]另外，由于能夠抑制低溫氣體在充分有助于被冷卻物載置室43的冷卻之前從排氣口 56排出，因此能夠削減被冷卻物11的冷卻中所使用的液態(tài)制冷劑。
[0110]S卩，根據(jù)第一實(shí)施方式的深冷處理裝置10，能夠均勻地冷卻被冷卻物11，并且能夠削減被冷卻物11的冷卻中所使用的液態(tài)制冷劑。
[0111]此外，在第一實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明了在第三側(cè)壁39-3上設(shè)置貫通孔14的情況，但若能夠使排氣口 56配置在位于被冷卻物11與整流部件25之間的排氣口配置空間中，則貫通孔14也可以設(shè)置在構(gòu)成被冷卻物載置室43的冷卻槽13的任一位置。
[0112]具體而言，還可以代替第三側(cè)壁39-3，在第一側(cè)壁39-1、第四側(cè)壁39_4和蓋體36的任一個(gè)上設(shè)置貫通孔14。
[0113]圖8是用于說(shuō)明第一實(shí)施方式的變型例所涉及的深冷處理裝置的圖，是透過(guò)構(gòu)成所述深冷處理裝置的蓋體，俯視觀察所述深冷處理裝置的圖。
[0114]在圖8中，對(duì)與圖2所示的第一實(shí)施方式的深冷處理裝置10相同的結(jié)構(gòu)部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記。另外，在圖8中，為了方便說(shuō)明，省略構(gòu)成第一實(shí)施方式的變型例所涉及的深冷處理裝置的蓋體(圖1所示的蓋體36)的圖示。
[0115]參照?qǐng)D8，第一實(shí)施方式的變型例所涉及的深冷處理裝置65被構(gòu)成為除使貫通孔14和排氣部件31的配設(shè)位置不同之外，與第一實(shí)施方式的深冷處理裝置10相同。
[0116]在第一實(shí)施方式的變型例所涉及的深冷處理裝置65中，在位于第一側(cè)壁39-1附近的第三側(cè)壁39-3上設(shè)置有貫通孔14，以在位于被冷卻物11與第一側(cè)壁39-1之間的排氣口配置空間59配置排氣口 56。
[0117]呈這種結(jié)構(gòu)的第一實(shí)施方式的變型例所涉及的深冷處理裝置65能夠得到與第一實(shí)施方式的深冷處理裝置10相同的效果。
[0118](第二實(shí)施方式)
[0119]圖9是用于說(shuō)明第二實(shí)施方式所涉及的深冷處理裝置的圖，是透過(guò)構(gòu)成所述深冷處理裝置的蓋體，俯視觀察所述深冷處理裝置的圖。
[0120]在圖9中，對(duì)與圖2所示的第一實(shí)施方式的深冷處理裝置10相同的結(jié)構(gòu)部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記。另外，在圖9中，為了方便說(shuō)明，省略構(gòu)成第二實(shí)施方式所涉及的深冷處理裝置70的蓋體(圖1所示的蓋體36)的圖示。
[0121]參照?qǐng)D9，第二實(shí)施方式的深冷處理裝置70被構(gòu)成為除代替構(gòu)成第一實(shí)施方式的深冷處理裝置10的整流部件25和被整流部件25劃分的被冷卻物載置室43及風(fēng)扇收容室45，具有整流部件71和被整流部件71區(qū)分的被冷卻物載置室81及風(fēng)扇收容室82之外，與深冷處理裝置10相同。
[0122]整流部件71在俯視的狀態(tài)下呈3字形。整流部件71的下端面與底板38的上表面38a接觸，上端面與未圖示的蓋體的下表面接觸。
[0123]由此，整流部件71在冷卻槽13內(nèi)劃分被配置在整流部件71的內(nèi)側(cè)且呈長(zhǎng)方體的被冷卻物載置室81和被配置在整流部件71的外側(cè)且俯視時(shí)呈3字形的風(fēng)扇收容室8