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      深冷處理裝置的制造方法_4

      文檔序號(hào):9422344閱讀:來源:國知局
      2。
      [0124]整流部件71具有第一板狀部件72-1、第二板狀部件72_2和第三板狀部件72_3。
      [0125]第一板狀部件72-1被配置在攪拌風(fēng)扇27與排氣部件31之間。
      [0126]第一板狀部件72-1被配置為與第一側(cè)壁39-1平行。第一板狀部件72_1具有與攪拌風(fēng)扇27相對的吸入口 48。
      [0127]圖10是沿M向觀察圖9所示的整流部件的第二板狀部件的圖。
      [0128]參照圖9和圖10,第二板狀部件72-2以與第三側(cè)壁39_3平行的方式被配置在冷卻槽13內(nèi),并且被配置在第三側(cè)壁39-3的附近。第二板狀部件72-2的橫向的一端與第一板狀部件72-1成為一體,橫向的另一端與第一側(cè)壁39-1的內(nèi)表面接觸。
      [0129]第二板狀部件72-2具有第一吹出口 74-1和排氣部件插入孔76。第一吹出口 74_1被設(shè)置為貫通第二板狀部件72-2的下部。第一吹出口 74-1具有將風(fēng)扇收容室82的氣氛氣體導(dǎo)入被冷卻物載置室81的功能。
      [0130]圖11是圖9所示的排氣部件、冷卻槽主體的第三側(cè)壁和整流部件的第二板狀部件的N-N向的剖視圖。在圖11中,對與圖9和圖10相同的結(jié)構(gòu)部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記。
      [0131]參照圖9至圖11,排氣部件插入孔76被設(shè)置為貫通第二板狀部件72-2中的、與貫通孔14相對的部分。在排氣部件插入孔76中插入有排氣部件31。
      [0132]參照圖9,第三板狀部件72-3以與第四側(cè)壁39_4平行的方式被配置在冷卻槽13內(nèi),并且被配置在第四側(cè)壁39-4的附近。第三板狀部件72-3的橫向的一端與第一板狀部件72-1成為一體,橫向的另一端與第一側(cè)壁39-1的內(nèi)表面接觸。
      [0133]第三板狀部件72-3具有第二吹出口 74-2。第二吹出口 74_2被設(shè)置為貫通第三板狀部件72-3的下部中的、與第一吹出口 74-1相對的部分。
      [0134]第二吹出口 74-2為與第一吹出口 74-1相同的形狀。
      [0135]第二吹出口 74-2具有與第一吹出口 74-1相同的功能。
      [0136]此外,在圖9和圖10中,作為第一及第二吹出口 74-1、74-2的一例,圖示了在板狀部件72-2和72-3的橫向上延伸的貫通槽,但第一及第二吹出口 74-1、74-2的形狀和數(shù)量并不限定于此。另外,第一及第二吹出口 74-1、74-2的形狀也可以不同。
      [0137]例如,作為第一及第二吹出口 74-1、74-2,也可以在板狀部件72_2和72_3上設(shè)置一列或多列呈圓形或方形的貫通部,還可以使貫通部的大小不同。
      [0138]另外,例如,也可以在板狀部件72-2和72-3的橫向或縱向上配置呈長方形或橢圓形的貫通槽,還可以使貫通槽的大小不同。
      [0139]呈這種結(jié)構(gòu)的第二實(shí)施方式所涉及的深冷處理裝置70能夠得到與第一實(shí)施方式的深冷處理裝置10相同的效果。
      [0140]以上,對本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行了詳細(xì)說明,但本發(fā)明并不限定于上述特定的實(shí)施方式,在權(quán)利要求書中所記載的本發(fā)明的主旨范圍內(nèi)可進(jìn)行各種變型和變更。
      [0141]本發(fā)明可適用于深冷處理裝置,該深冷處理裝置能夠均勻地冷卻被冷卻物,并且能夠削減被冷卻物的冷卻中所使用的液態(tài)制冷劑。
      [0142]附圖標(biāo)記說明
      [0143]10、65、70深冷處理裝置
      [0144]13 冷卻槽
      [0145]14 貫通孔
      [0146]16 溫度傳感器
      [0147]16A前端部
      [0148]18 溫度調(diào)節(jié)計(jì)
      [0149]21 制冷劑供給管道
      [0150]23 制冷劑供給部
      [0151]24 液態(tài)制冷劑導(dǎo)入閥
      [0152]25、71整流部件
      [0153]27 攪拌風(fēng)扇
      [0154]28 旋轉(zhuǎn)軸
      [0155]29 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置
      [0156]31 排氣部件
      [0157]35 冷卻槽主體
      [0158]36 蓋體
      [0159]38 底板
      [0160]38a 上表面
      [0161]39-1 第一側(cè)壁
      [0162]39-2 第二側(cè)壁
      [0163]39-3第三側(cè)壁
      [0164]39-4第四側(cè)壁
      [0165]43、81被冷卻物載置室
      [0166]45、82風(fēng)扇收容室
      [0167]47 板狀部件
      [0168]48 吸入口
      [0169]49-U74-1 第一吹出口
      [0170]49-2、74_2 第二吹出口
      [0171]55排氣部件主體
      [0172]55A 中心
      [0173]56 排氣口
      [0174]56A、56B 端
      [0175]57 排水用孔
      [0176]59 排氣口配置空間
      [0177]72-1第一板狀部件
      [0178]72-2第二板狀部件
      [0179]72-3第三板狀部件
      [0180]76排氣部件插入孔
      [0181]H高度
      [0182]Θ中心角
      【主權(quán)項(xiàng)】
      1.一種深冷處理裝置,其特征在于,具有: 冷卻槽,具有供被冷卻物載置的被冷卻物載置室和與所述被冷卻物載置室連接的風(fēng)扇收容室,并且由冷卻槽主體和蓋體構(gòu)成,其中,所述冷卻槽主體由底板和第一側(cè)壁至第四側(cè)壁構(gòu)成; 整流部件,以劃分所述被冷卻物載置室和所述風(fēng)扇收容室的方式被配置在所述冷卻槽內(nèi),并且具有用于將所述被冷卻物載置室的氣氛氣體導(dǎo)入到所述風(fēng)扇收容室中的吸入口和用于將所述風(fēng)扇收容室的氣氛氣體導(dǎo)入到所述被冷卻物載置室中的吹出口 ; 攪拌風(fēng)扇,以與所述吸入口相對的方式被收容在所述風(fēng)扇收容室中,使供給到所述風(fēng)扇收容室中的液態(tài)制冷劑為霧狀或低溫氣體,并且攪拌所述冷卻槽內(nèi)的氣氛氣體;以及排氣部件,從設(shè)置于所述冷卻槽主體的貫通孔延伸至所述被冷卻物載置室的內(nèi)部,并且具有排氣口, 所述第一側(cè)壁至第四側(cè)壁以包圍所述底板的外周緣的方式配置,并與所述蓋板接觸而形成所述冷卻槽的內(nèi)部空間, 所述排氣口被配置在所述內(nèi)部空間中的、存在于所述被冷卻物載置室的排氣口配置空間中,在將所述底板的所述內(nèi)部空間側(cè)的表面與所述蓋體的所述內(nèi)部空間側(cè)的表面正交的高度設(shè)為H的情況下,所述排氣口配置空間為從所述蓋體的內(nèi)部空間側(cè)的表面起的正交距離為H/2的部分的空間,所述排氣口配置空間的寬度為與所述高度正交且與具有所述吸入口的所述整流部件平行的方向的寬度,所述排氣口配置空間的寬度和與所述高度正交且與具有所述吸入口的所述整流部件平行的方向上的所述吸入口的寬度的最大值一致,所述排氣口配置空間的所述寬度的中心與所述吸入口的所述寬度的中心一致。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的深冷處理裝置,其特征在于, 所述排氣口配置在位于所述被冷卻物與所述整流部件之間的所述排氣口配置空間中。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的深冷處理裝置,其特征在于, 所述排氣部件具有排氣部件主體, 所述排氣部件主體被配置為所述排氣口朝向所述蓋體側(cè)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的深冷處理裝置,其特征在于, 所述排氣部件主體為圓筒狀配管, 在利用與所述排氣部件主體的延伸方向正交的面以通過所述排氣口的方式剖切所述排氣部件的狀態(tài)下,所述排氣口的通過連結(jié)所述排氣口的兩端與所述排氣部件主體的中心而形成的中心角在90度以內(nèi)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的深冷處理裝置,其特征在于, 所述排氣部件具有朝向所述底板側(cè)的排水用孔。6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中的任一項(xiàng)所述的深冷處理裝置,其特征在于, 所述整流部件具有至少一個(gè)板狀部件,所述板狀部件具有均勻的厚度, 所述吸入口和所述吹出口貫通相同的所述板狀部件。7.根據(jù)權(quán)利要求1至5中的任一項(xiàng)所述的深冷處理裝置,其特征在于, 所述整流部件具有與所述攪拌風(fēng)扇面對的第一板狀部件和與所述第一板狀部件正交的第二板狀部件及第三板狀部件,所述吸入口貫通所述第一板狀部件,所述吹出口貫通所述第二板狀部件及第三板狀部件。
      【專利摘要】本發(fā)明的目的在于提供一種深冷處理裝置,該深冷處理裝置能夠均勻地冷卻被冷卻物,并且能夠削減被冷卻物的冷卻中所使用的液態(tài)制冷劑。具有從設(shè)置于構(gòu)成被冷卻物載置室(43)的冷卻槽(13)的貫通孔(14)延伸至被冷卻物載置室(43)的內(nèi)部且具有排氣口(56)的排氣部件(31),排氣口(56)配置在被冷卻物載置室(43)中的、作為位于上半部分的空間且橫向?qū)挾扰c吸入口(48)的橫向最大寬度一致的排氣口配置空間(59)中。
      【IPC分類】F25D3/10, C21D1/18
      【公開號(hào)】CN105143794
      【申請?zhí)枴緾N201480016293
      【發(fā)明人】森公哉, 米倉正浩, 太田英俊
      【申請人】大陽日酸株式會(huì)社
      【公開日】2015年12月9日
      【申請日】2014年3月12日
      【公告號(hào)】WO2014148335A1
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