C上的通孔后，螺紋連接在B-D限位 盲孔2F241的螺紋鑲嵌圈上;⑶螺釘7L穿過氣路底板7C上的通孔后，螺紋連接在B-C限位盲 孔2F231的螺紋鑲嵌圈上;GE螺釘7M穿過氣路底板7C上的通孔后，螺紋連接在B-A限位盲孔 2F211的螺紋鑲嵌圈上；GF螺釘7N穿過氣路底板7C上的通孔后，螺紋連接在B-B限位盲孔 2F221的螺紋鑲嵌圈上;通過螺釘與螺紋鑲嵌圈的配合，實現(xiàn)了將氣路底板7C與底座2的底 面板2E的固定。為了實現(xiàn)對氣源的密封，氣路底板7C的下端面與底座2的氣源腔之間在安裝 時，安裝了密封件7D。
[0096] 參見圖2D所示，底座2的底面板2E上還設有A氣源腔2G、B氣源腔2H、C氣源腔2I、D氣 源腔2J、A氣流通道2D31、B氣流通道2D41、C氣流通道2D51;四個氣源腔（26、2!1、21、21)用于 存儲通過氣流通道(2031、2041、2051)進入的氣體。
[0097] 在本發(fā)明中，A氣塞10D、B氣塞IOE和C氣塞IOF的結構相同，選用江陰市青陽晶體寶 瓶蓋廠生產(chǎn)的塑料氣塞。
[0098]在本發(fā)明中，底座2可以采用非金屬材料加工。如塑料、PC材料、PVC材料、ABS材料 等。
[0099] 內護蓋4
[0100] 內護蓋4上設有AA護板4A、AB護板4B、AC護板4C、AD護板4D、上面板4E;
[0101] AC護板4C上設有AA通孔圓臺4C1和AB通孔圓臺4C2;所述AA通孔圓臺4C1與底座2的 底面板2E的AA支撐柱體2F1對齊，使用螺釘穿過AA通孔圓臺4C1后螺母連接在AA支撐柱體 2F1的螺紋孔中；所述AB通孔圓臺4C2與底座2的底面板2E的AB支撐柱體2F2對齊，使用螺釘 穿過AB通孔圓臺4C2后螺母連接在AB支撐柱體2F2的螺紋孔中。通過AA通孔圓臺4C1與AA支 撐柱體2F1的配合，以及AB通孔圓臺4C2與AB支撐柱體2F2的配合，實現(xiàn)了內護蓋4的一端與 底座2的底面板2E的一端的固定。
[0102] 上面板4E上設有DA矩形孔4E1、DA通孔4E2、DB通孔4E3、DC通孔4E4、DA半圓盲孔 4E5,所述DA半圓盲孔4E5內設有DA通孔圓臺4E51，使用一螺釘穿過DA通孔圓臺4E51的通孔、 PCB板7A上的開口通孔7A-1后連接一螺母，實現(xiàn)內護蓋4的AA護板4A與PCB板7A的固定。DA矩 形孔4E1與上蓋1的上面板IA的矩形孔對齊。DA通孔4E2用于氣動單元裝置7中的GA按鈕73穿 過。DB通孔4E3用于氣動單元裝置7中的GB按鈕74穿過。DC通孔4E4用于氣動單元裝置7中的 GC按鈕75穿過。
[0103] 在本發(fā)明中，為了加強內護蓋4的承載能力，在內護蓋4上設有DA加強筋4F1、DB加 強筋4F2。
[0104] 在本發(fā)明中，內護蓋4可以采用非金屬材料加工。如塑料、PVC材料、ABS材料等。
[0105] 內支架5
[0106] 內支架5上設有EA護板5A、EB護板5B、EC護板5C、ED護板5D、EE護板5E、EF護板5F、EG 護板5G AE護板5E位于ED護板ro的下方。EC護板5C與EF護板5F在同一平面上。EA護板5A與EB 護板5B平行放置。
[0107] EA護板5A的上端設有EA限位件51A和EB限位件51B。限位件（51A、51B)由限位圓柱 和限位矩形塊構成。
[0108] EB護板5B的上端設有EC限位件51C和ED限位件51D。限位件（51C、51D)由限位圓柱 和限位矩形塊構成。在本發(fā)明中，EA限位件51A與EC限位件51C相對設置，EB限位件51B與ED 限位件51D相對設置。EA限位件51A插入氣動單元裝置7的PCB板7A的GA開口槽-通孔對7A1 中；EB限位件51B插入氣動單元裝置7的PCB板7A的GB開口槽-通孔對7A2中；EC限位件51C插 入氣動單元裝置7的PCB板7A的GC開口槽-通孔對7A3中;ED限位件5ID插入氣動單元裝置7的 PCB板7A的⑶開口槽-通孔對7A4中。通過EA護板5A、EB護板5B上端設置的限位件，與PCB板7A 上設置的開口槽-通孔對相配合，能夠阻止PCB板7A在磁屏蔽密封殼體內的移動。
[0109] EC護板5C的A板面5C-1上設有EA加強筋5C1、EB加強筋5C2和EA隔板5C4JA加強筋 5C1上設有EA通孔5C11，該EA通孔5C11用于C螺釘9C穿過(如圖IC所示）;EB加強筋5C2上設有 EB通孔5C21，該EB通孔5C21用于D螺釘9D穿過(如圖IC所示hEC護板5C的B板面5C-2上設有 EA限位柱5C3，所述EA限位柱5C3置于底座2的B-C限位盲孔2F31中。
[0110] EF護板5F的A板面5F-1上設有EB通孔圓臺5F1，所述EB通孔圓臺5F1的中心是EC通 孔5F2，該EC通孔5F2用于G螺釘9G穿過（如圖IC所示）JF護板5F的B板面5F-2上設有EB限位 柱5F3,所述EB限位柱5F3置于底座2的BG限位盲孔2F5-3中。
[0111] 在本發(fā)明中，內支架5可以采用非金屬材料加工。如塑料、PVC材料、ABS材料等。
[0112] 位移測量裝置6
[0113] 參見圖5、圖5A、圖5B、圖5C、圖5D所示，位移測量裝置6包括有旋轉盤6A、角行程大 齒輪6B、角行程小齒輪6C、主軸6D、彈性組件6E、FA軸承6F、FB軸承6G、軸密封圈6H。角行程大 齒輪6B的大齒輪齒盤內壁上設有內驅動齒6B1A，角行程大齒輪6B的大齒輪外凸圓體6B2的 外壁上設有外驅動齒6B2A。內驅動齒6B1A與外驅動齒6B2A分別與齒輪軸8F上的上從動齒 8F12和下從動齒8F3A嚙合，實現(xiàn)角位移的傳遞。
[0114] 在本發(fā)明中，F(xiàn)A軸承6F與FB軸承6G結構相同。選用嘉興嘉善佳俊無油潤滑軸承廠 生產(chǎn)的滑動軸承。
[0115] 彈性組件6E
[0116] 參見圖5B所示，彈性組件6E包括有FA墊片6E1、FB墊片6E2、FC墊片6Ε3、Π )墊片6E4、 FA碟簧6E6、FB碟簧6E7和FC彈性擋圈6E5JB墊片6E2與FC墊片6E3之間是FC彈性擋圈6E5JA 碟簧6E6的上下分別是FA墊片6E1與FB墊片6E2,且FA碟簧6E6、FA墊片6E1和FB墊片6E2構成 上簧組;所述上簧組套接在主軸6D的FC圓柱段6D3上。FB碟簧6E7的上下分別是FC墊片6E3與 FD墊片6E4，且FB碟簧6E7、FC墊片6E3和FD墊片6E4構成下簧組;所述下簧組套接在主軸6D的 FB圓柱段6D2上，且位于FA軸承6F的上方。
[0117] 旋轉盤6A
[0118] 參見圖5、圖5A、圖5B、圖5E、圖5F所示，旋轉盤6A的中心處設有FA中心通孔6A2，所 述FA中心通孔6A2內設有FA凸圓臺6A21和FB凸圓臺6A22; FA凸圓臺6A21與FB凸圓臺6A22之 間是FA環(huán)形凹槽6A23。旋轉盤6A的上盤面板6A1上設有FA減重凹槽6A11、FA沉頭腔6A12。該 FA沉頭腔6A12用于放置FA彈性擋圈61。旋轉盤6A的下盤面板6A3的外緣上設有上齒6A31，上 齒6A31與角行程大齒輪6B的下齒6B3嚙合，所述上齒6A31與所述下齒6B3的嚙合是為了實現(xiàn) 旋轉盤6A與角行程大齒輪6B之間的齒固定。旋轉盤6A的下方設有FA圓臺6A4、FA錐圓臺6A5， FA圓臺6A4的外壁與下盤面板6A3之間設有FA加強筋6A6，F(xiàn)A圓臺6A4的內壁與FA錐圓臺6A5 的外壁之間設有FB加強筋6A7。所述FB加強筋6A7之間是FB減重凹槽6A8。
[0119]角行程大齒輪6B
[0120] 參見圖5、圖5A、圖5B、圖5G、圖5H、圖51、圖5J所示，角行程大齒輪6B為一體成型結 構體。角行程大齒輪6B的中間是FB中心通孔6B8，所述FB中心通孔6B8用于主軸6D的一端穿 過；角行程大齒輪6B的一端是大齒輪齒盤6B1，該大齒輪齒盤6B1的內壁上設有內驅動齒 6B1A(該內驅動齒6B1A與齒輪軸8F上的上從動齒8F12嚙合），角行程大齒輪6B的另一端是大 齒輪外凸圓體6B2，該大齒輪外凸圓體6B2上設有外驅動齒6B2A。所述大齒輪齒盤6B1的外緣 上設有外齒形6B1-1，該外齒形6B1-1的設計方便了角行程大齒輪6B的安裝，同時也方便調 節(jié)角行程大齒輪6B上的驅動齒（6B1A、6B2A)與齒輪軸8F上的從動齒（8F12、8F3A，如圖4B所 示)嚙合。
[0121] 角行程大齒輪6B的A板面6B-1從外向里設有下齒6B3、第一凹腔6B4、第二凹腔6B5、 第三凹腔6B6、第四凹腔6B7;所述第三凹腔6B6用于放置旋轉盤6A的FA圓臺6A4;所述第二凹 腔6B5為錐形凹腔;所述第二凹腔6B5用于過渡旋轉盤6A的FA圓臺6A4安裝，實現(xiàn)FA圓臺6A4 在第三凹腔6B6內的運動不被干涉;所述第四凹腔6B7用于放置旋轉盤6A的FA錐圓臺6A5。
[0122] 角行程大齒輪6B的B板面6B-2從外向里設有第七凹腔6B10、大齒輪外凸圓體6B2、 第六凹腔6B9、大齒輪內凸圓體6B14;所述大齒輪內凸圓體6B14上均勻分布有FA錐凸塊 6B11、FB錐凸塊6B12、FC錐凸塊6B13,所述三個錐凸塊(6B11、6B12、6B13)分別置于與角行程 小齒輪6C的小齒輪內凸圓體6C6上，且通過FA傾斜凸塊6C61、FB傾斜凸塊6C62、FC傾斜凸塊 6C63進行圓周內的限位。所述大齒輪外凸圓體6B2的內壁上設有內凸塊6B22，且內凸塊6B22 上設有盲孔6B21，該盲孔6B21內內安裝有螺紋鑲嵌圈。所述內凸塊6B22置于弧形孔6C21中。 弧形孔6C21與內凸塊6B22的配合，實現(xiàn)了角行程大齒輪6B與角行程小齒輪6C的初始位置安 裝。
[0123] 角行程小齒輪6C<