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      透明導(dǎo)電膜制造方法及其結(jié)構(gòu)與流程

      文檔序號(hào):12473304閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種透明導(dǎo)電膜制造方法,其特征在于,其包括有下列步驟:

      提供一基板、一導(dǎo)電膜材料、一網(wǎng)印膜板以及一金屬導(dǎo)電漿料,該網(wǎng)印膜板具有預(yù)定形狀之一開口;

      將該導(dǎo)電膜材料位于該基板上;

      將該網(wǎng)印膜板位于該導(dǎo)電膜材料上;

      液化該金屬導(dǎo)電漿料,且將液化的該金屬導(dǎo)電漿料置入該開口;

      移除該網(wǎng)印膜板;

      烘烤該導(dǎo)電膜材料以及該金屬導(dǎo)電漿料以形成一導(dǎo)電膜層以及一金屬導(dǎo)電層;

      將未位于該金屬導(dǎo)電層的該導(dǎo)電膜層圖案化。

      2.如權(quán)利要求1所述的透明導(dǎo)電膜制造方法,其特征在于,該金屬導(dǎo)電漿料藉由形成該氧化銦錫層的退火溫度加以固化形成該金屬導(dǎo)電層。

      3.如權(quán)利要求1所述的透明導(dǎo)電膜制造方法,其特征在于,藉由黃光制程將未位于該金屬導(dǎo)電層中的該導(dǎo)電膜層圖案化。

      4.一種透明導(dǎo)電膜結(jié)構(gòu),其特征在于,其包括有:

      一基板,其為樹脂聚合物材料所制成;

      一導(dǎo)電膜層,其位于該基板之一側(cè)面上,該氧化銦錫層包括有一圖案區(qū)域以及一承載區(qū)域;以及

      一金屬導(dǎo)電層,其位于該承載區(qū)域上,該金屬導(dǎo)電層與該導(dǎo)電膜層交界處外緣具有一蝕刻口。

      5.如權(quán)利要求4所述的透明導(dǎo)電膜結(jié)構(gòu),其特征在于,該蝕刻口與該金屬導(dǎo)電層具有一夾角,該夾角為0度至45度之間。

      6.如權(quán)利要求4所述的透明導(dǎo)電膜結(jié)構(gòu),其特征在于,該蝕刻口位于該金屬導(dǎo)電層的尺寸為0至15奈米之間。

      7.如權(quán)利要求4所述的透明導(dǎo)電膜結(jié)構(gòu),其特征在于,該金屬導(dǎo)電層位于該承載區(qū)域上的厚度尺寸為1至5微米之間。

      8.如權(quán)利要求4所述的透明導(dǎo)電膜結(jié)構(gòu),其特征在于,該導(dǎo)電膜層為氧化銦錫、奈米銀線、聚乙烯二氧噻吩或奈米碳管所制成。

      9.如權(quán)利要求4所述的透明導(dǎo)電膜結(jié)構(gòu),其特征在于,該金屬導(dǎo)電層為印刷銀漿、雷射銀漿、感光型銀漿或銅漿所制成。

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